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1. 发明授权

KR100514771B1 기판조립 방법 및 장치 失效
标题翻译：装配基板的方法和装置
公开(公告)号：KR100514771B1
公开(公告)日：2005-09-14
申请号：KR1020040111000
申请日：2004-12-23
申请人： 가부시키가이샤 히다치 인더스트리즈
发明人： 나카야마유키노리 , 야와타사토시 , 이마이즈미기요시 , 나이토마사미 , 사이토마사유키
IPC分类号： G02F1/13
摘要： 본 발명은 테이블상에 배치되는 기판을 향하는 테이블 바로 위의 카운터기판을 유지하는 가압판을 포함하는 기판을 조립하는 장치에 있어서, 상기 가압판은 복수의 흡인흡착영역을 개별적으로 제어할 수 있게 하는 흡인흡착수단 및 복수의 정전기적 흡착영역을 개별적으로 제어하게 하는 정전흡착기구; 대기압하에서 진공상태로 유지되는 상기 카운터기판의 전체면; 상기 카운터기판의 한 쌍의 대변의 중간부가 진공챔버내의 흡인흡착력이 감소할 때 주위부보다 더 높은 위치에 기계적으로 유지될 수 있도록 제공되는 기판유지메카니즘을 포함한다.

2. 发明公开

KR1020020081543A 기판접합방법 및 접합장치 失效
标题翻译：用于匹配衬底的方法和装置
公开(公告)号：KR1020020081543A
公开(公告)日：2002-10-28
申请号：KR1020020010530
申请日：2002-02-27
申请人： 가부시키가이샤 히다치 인더스트리즈
发明人： 야와타사토시 , 이마이즈미기요시 , 사이토마사유키 , 나카야마유키노리 , 무라야마다카오 , 히라이아키라
IPC分类号： G02F1/13
摘要： PURPOSE: A method and device for matching substrates are provided to accurately and reliably match two substrate in a short time, even for a large substrate. CONSTITUTION: When two substrates(33,34) are matched together with mechanical pressurizing force in a vacuum chamber, pressurization mechanisms(16) which pressurize the vicinities of four corner parts of the square substrates are respectively provided, the gap between the substrates is observed after pressurizing the vicinities with the predetermined pressurizing force, and the vicinities are pressurized after adjusting the pressurizing force of each pressurization mechanism based on the observation.
摘要翻译：目的：提供一种用于匹配基板的方法和装置，用于在短时间内即使对于大的基板精确可靠地匹配两个基板。构成：当两个基板（33,34）在真空室中与机械加压力匹配在一起时，分别提供加压方形基板四个角部附近的加压机构（16），观察基板之间的间隙在以预定的加压力对附近进行加压之后，基于该观察来调整各加压机构的加压力，附近被加压。

3. 发明公开

KR1020010098697A 기판접합장치 失效
标题翻译：基材贴合装置
公开(公告)号：KR1020010098697A
公开(公告)日：2001-11-08
申请号：KR1020010020744
申请日：2001-04-18
申请人： 가부시키가이샤 히다치 인더스트리즈
发明人： 히라이아키라 , 야와타사토시 , 이마이즈미기요시 , 사이토마사유키 , 엔도마사토모 , 나카야마유키노리 , 나이토마사미 , 무라야마다카오
IPC分类号： G02F1/13
摘要： 본 발명은 접합해야 할 기판끼리를 각각 상하에 유지하여 대향시켜 위치결정을 행함과 동시에 간격을 좁혀 적어도 어느 하나의 기판에 설치한 접착제에 의해 진공중에서 양 기판을 접합하는 기판접합장치로서, 진공챔버내에 상면 또는 하면에 양 기판의 한쪽을 착탈 자유롭게 고정시키는 제 1 테이블과, 하면 또는 상면에 양 기판의 다른쪽을 착탈 자유롭게 고정시키는 제 2 테이블을 각각의 기판을 고정시키는 상면 및 하면이 대향하도록 구비하고, 양 테이블의 한쪽은 탄성체를 거쳐 진공챔버와 기밀하게 이동 가능하게 결합되어 있고, 또한 상기 한쪽의 테이블은 탄성체로 구획된 진공챔버의 대기측에 진공챔버에 대하여 적어도 수평방향으로 이동하는 구동수단을 구비함과 동시에, 다른쪽의 테이블은 적어도 기판끼리의 대향한 간격을 좁히는 구동수 단을 구비하고 있다.

4. 发明授权

KR100473031B1 기판접합방법 및 접합장치 失效
标题翻译：基材粘合方法和粘合装置
公开(公告)号：KR100473031B1
公开(公告)日：2005-03-10
申请号：KR1020020030736
申请日：2002-05-31
申请人： 가부시키가이샤 히다치 인더스트리즈
发明人： 이마이즈미기요시 , 야와타사토시 , 나카야마유키노리 , 사이토마사유키 , 엔도마사토모 , 히라이아키라
IPC分类号： G02F1/1333
摘要： 본 발명은, 접착제(37) 및 가고정용접착제(53)가 제공되는 2개의 기판(33, 34)이 감압된 상태에서 정전기적으로 흡착되고, 진공챔버(15)내에서 위치설정되며, 기판 사이의 거리를 감소시켜 1차가압되는 것을 특징으로 하는 기판접합방법 및 장치에 관한 것이다. 감압된 상태로 진공챔버(15)내에서 1차가압되는 기판(33, 34)의 가고정용접착제(53)는 압력 및 자외선을 동시에 가함으로써 경화된다. 이들 기판(33, 34)은 상기 진공챔버(15)내에 대기압을 다시 얻음으로써 제공되는 압력에 의하여 서로 접합된다.
이것은 이송시, 상부기판 및 하부기판의 변위를 피하고, 가고정용접착제에 근접한 위치에서도 기판 사이에 소정의 거리를 확보하게 하여, 이에 의하여, 불량품이 생산되는 것을 방지한다.

5. 发明授权

KR100360833B1 기판의 조립장치 失效
标题翻译：基板组装装置
公开(公告)号：KR100360833B1
公开(公告)日：2002-11-13
申请号：KR1020000015984
申请日：2000-03-29
申请人： 가부시키가이샤 히다치 인더스트리즈
发明人： 야와타사토시 , 이마이즈미기요시 , 사이토마사유키 , 가와스미유키히로 , 미시나하루오 , 히라이아키라
IPC分类号： G02F1/13
摘要： 본 발명은 기판사이즈가 대형화, 박판화하여도 진공중에서 높은 정밀도로 같은 정도의 기판끼리를 접합하는 것이 가능한 기판의 조립방법 및 그 장치를 제공하는 것이다.
이를 위하여 본 발명에서는 가압판으로부터 상 기판에 정전흡착력을 작용시켜 가압판에 상 기판을 유지시켜 진공중에서 접합을 행한다. 또한 상 기판을 가압판에 흡인흡착력으로 유지시켜 감압을 진행하는 과정에서 흡인흡착력이 없어졌을 때 낙하여 가압판으로부터 약간 떨어진 정도의 위치에 받아내어진 상 기판에 정전흡착력을 작용시키고, 다시 가압판에 상 기판을 유지시켜 진공중에서 접합을 행한다.

6. 发明公开

KR1020010020690A 기판의 조립장치 失效
标题翻译：装配基板及其装置的方法
公开(公告)号：KR1020010020690A
公开(公告)日：2001-03-15
申请号：KR1020000015984
申请日：2000-03-29
申请人： 가부시키가이샤 히다치 인더스트리즈
发明人： 야와타사토시 , 이마이즈미기요시 , 사이토마사유키 , 가와스미유키히로 , 미시나하루오 , 히라이아키라
IPC分类号： G02F1/13
摘要： PURPOSE: An apparatus is provided to match marks to each other with high accuracy and to bond substrates to each other by moving one vacuum chamber unit with respect to the other to position the substrates to each other and narrowing the opposite spacing thereof, thereby bonding the substrates to each other. CONSTITUTION: A substrate bonding section(S2) is composed of the structure that an upper chamber unit(21) and a pressurizing plate(27) therein can respectively independently move vertically. Namely, the upper chamber unit(21) has a housing(30) containing a linear bushing and a vacuum seal and is moved in a vertical Z-axis direction by the shaft of a cylinder(22) fixed to a frame(3). When the upper chamber unit(21) descends, a flange of the upper chamber unit(21) comes into contact with an O-ring(44) arranged around a lower chamber(10) and mates therewith, thereby attaining the state that the units function as a vacuum chamber. As a result, the alignment marks disposed at the respective substrates may be aligned to each other with the high accuracy and the substrates are rapidly bonded to each other.
摘要翻译：目的：提供一种设备，以高精度相互匹配标记，并且通过相对于另一个真空室单元移动一个真空室单元并将基板彼此定位并使其相对的间隔变窄，从而将基板彼此接合，从而将底物彼此。构成：基板接合部（S2）由上部室单元（21）和加压板（27）分别独立地垂直移动的结构构成。也就是说，上室单元（21）具有包含线性衬套和真空密封件的壳体（30），并且通过固定到框架（3）的气缸（22）的轴在垂直Z轴方向上移动。当上室单元（21）下降时，上室单元（21）的凸缘与设置在下室（10）周围的O形环（44）接触并与其配合，从而达到单元作为真空室。结果，设置在各个基板上的对准标记可以高精度地彼此对准，并且基板彼此快速地接合。

7. 发明授权

KR100384253B1 기판의 조립장치 失效
标题翻译： 기판의조립장치
公开(公告)号：KR100384253B1
公开(公告)日：2003-05-16
申请号：KR1020000074503
申请日：2000-12-08
申请人： 가부시키가이샤 히다치 인더스트리즈
发明人： 이마이즈미기요시 , 야와타사토시 , 사이토마사유키 , 히라이아키라
IPC分类号： G02F1/13
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and a device for substrate assembling by which upper and lower substrates can be stuck together in a vacuum even when they are in the same shape. SOLUTION: The two substrates to be stuck together are set opposite to each other and stuck with adhesive provided on one of the substrates; and both substrates are stuck together by holding the substrates in a vacuum vertically and opposite to each other and dropping the upper substrate on the lower substrate by releasing the upper substrate from a held state.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于衬底组装的方法和装置，通过该方法和装置，即使在上下衬底处于相同形状的情况下，上下衬底也可以在真空中粘合在一起。解决方案：将两个要粘贴在一起的基板彼此相对设置，并用设置在其中一个基板上的粘合剂粘合; 通过将基板保持在垂直且彼此相对的真空中并且通过从保持状态中释放上基板而将上基板下降到下基板上来将两个基板粘合在一起。

8. 发明公开

KR1020020091828A 기판접합방법 및 접합장치 失效
标题翻译：用于焊接基板的方法和装置
公开(公告)号：KR1020020091828A
公开(公告)日：2002-12-06
申请号：KR1020020030736
申请日：2002-05-31
申请人： 가부시키가이샤 히다치 인더스트리즈
发明人： 이마이즈미기요시 , 야와타사토시 , 나카야마유키노리 , 사이토마사유키 , 엔도마사토모 , 히라이아키라
IPC分类号： G02F1/1333
CPC分类号： G02F1/133308 , B05D3/061 , B23K20/02 , G02F1/1339 , G02F2202/28
摘要： PURPOSE: A method and a device for soldering a substrate are provided to surely hold the substrate without damaging the substrate or an electrostatic chuck in vacuum. CONSTITUTION: Two substrates(33,34) are arranged to face with each other, and at least one of those substrates is applied with solder paste and is positioned in a chamber(15) in a decompressed state. Then, the substrate is pressurized so as to solder. The substrates are held by applying suction and absorption forces until the chamber is turned into a prescribed decompressed state. When the prescribed decompressed state is obtained, the substrates are held by applying a voltage to a desired pair of electrodes corresponding to the size of the substrate among the respective electrodes of a bi-polar electrostatic chuck having a plurality of pairs of electrodes arranged in the chamber. Thereby, the defects are prevented by preventing the displacement of the substrates and securing the certain distance between the substrates near a temporary fixing glue.
摘要翻译：目的：提供一种用于焊接基板的方法和装置，以确保保持基板，而不会在真空中损坏基板或静电卡盘。构成：将两个基板（33,34）彼此相对地布置，并且至少一个基板被涂覆有焊膏并且被定位在处于减压状态的室（15）中。然后，将基板加压以便焊接。通过施加吸力和吸力来保持基板，直到室变成规定的减压状态。当获得规定的减压状态时，通过向具有多个电极对配置的双极静电卡盘的各个电极中的与基板的尺寸相对应的期望的一对电极施加电压来保持基板，室。因此，通过防止基板的位移并且在临时固定胶附近确保基板之间的一定距离来防止缺陷。

9. 发明授权

KR100489855B1 기판접합방법 및 접합장치 失效
标题翻译：基板组装方法和组装装置
公开(公告)号：KR100489855B1
公开(公告)日：2005-05-17
申请号：KR1020020010530
申请日：2002-02-27
申请人： 가부시키가이샤 히다치 인더스트리즈
发明人： 야와타사토시 , 이마이즈미기요시 , 사이토마사유키 , 나카야마유키노리 , 무라야마다카오 , 히라이아키라
IPC分类号： G02F1/13
摘要： 종래의 접합장치로서는, 기판의 면적이 큰 경우, 진공상태에서 두 기판을 소정의 클리어런스로 또한 단시간내에 적절하게 적층시키는 것이 곤란하였다. 따라서, 본 접합장치는 두 기판이 기계적인 압력을 가하여 접합될 때, 하나의 직사각형 기판의 네 모서리 부근에 압력을 가하기 위한 가압기구를 제공하고, 소정의 압력이 가해진 후에 상기 기판 사이의 클리어런스를 관측하며, 관측된 결과에 따라 각 가압기구의 가압력을 조정함으로써 기판-대-기판 클리어런스가 거의 균일하게 확보되는 것을 실현하였다.

10. 发明授权

KR100478991B1 기판조립방법 및 장치 有权
标题翻译：用于组装衬底的方法和设备
公开(公告)号：KR100478991B1
公开(公告)日：2005-03-30
申请号：KR1020020007075
申请日：2002-02-07
申请人： 가부시키가이샤 히다치 인더스트리즈
发明人： 나카야마유키노리 , 야와타사토시 , 이마이즈미기요시 , 나이토마사미 , 사이토마사유키
IPC分类号： G02F1/13
摘要： 본 발명은 테이블상에 배치되는 기판을 향하는 테이블 바로 위의 카운터기판을 유지하는 가압판을 포함하는 기판을 조립하는 장치에 있어서, 상기 가압판은 복수의 진공유지영역을 개별적으로 제어할 수 있게 하는 진공유지수단 및 복수의 정전기적 유지지역을 개별적으로 제어하게 하는 정전기적 유지수단; 대기압하에서 진공상태로 유지되는 상기 카운터기판의 전체면; 상기 카운터기판의 한 쌍의 대변의 중간부가 진공챔버내의 진공유지력이 감소할 때 주위부보다 더 높은 위치에 기계적으로 유지될 수 있도록 제공되는 기판유지메카니즘을 포함한다.

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