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1. 发明公开

KR1020150110372A 기판 처리 장치 및 레지스트 박리 장치 审中-实审
标题翻译：基板加工装置和耐腐蚀装置
公开(公告)号：KR1020150110372A
公开(公告)日：2015-10-02
申请号：KR1020150038104
申请日：2015-03-19
申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
发明人： 고바야시겐이치 , 세키모토마사히코 , 요코야마도시오 , 아카자와겐이치 , 구라시나게이이치 , 미츠야다카시
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： H01L21/67057 , B25J11/0095 , H01L21/67034 , H01L21/67173 , H01L21/67276 , H01L21/68721 , H01L21/68742
摘要： 본발명은, 약액분위기가처리조의주위로확산되는것을억제한다. 본발명에따른기판처리장치는, 기판홀더에보유지지된기판을수납하고, 상기기판을처리하기위한처리조와, 기판홀더를지지하고, 기판홀더를처리조에수납, 및처리조로부터취출하도록구성된리프터와, 리프터에의해처리조로부터취출된기판홀더의주위를덮도록구성된커버를갖는다.
摘要翻译：本发明抑制处理槽周围的化学溶液气氛的扩散。根据本发明，一种基板处理装置包括：处理槽，用于存储基板保持器中存储和支撑的基板; 升降器，其构造成支撑所述基板保持器，将所述基板保持件存储在所述处理槽中，并从所述处理槽取出所述基板保持件; 以及盖，其构造成覆盖由所述提升器从所述处理槽取出的所述基板保持器周围。

2. 发明公开

KR1020170032173A 반전기 및 기판 연마 장치 审中-实审
标题翻译：静电和基材抛光设备
公开(公告)号：KR1020170032173A
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：KR1020160109177
申请日：2016-08-26
申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
发明人： 아카자와겐이치 , 고바야시겐이치 , 야자와아키히로 , 호시나마나오
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/304 , H01L21/306 , H01L21/67 , H01L21/02
CPC分类号： B24B41/005 , B08B3/02 , B08B11/02 , B24B9/00 , H01L21/67051 , H01L21/67219 , H01L21/68707
摘要： [과제] 기판을상하반전시키는소형반전기및 그러한반전기를갖는기판연마장치를제공하는것. [해결수단] 기판(W)을상하반전시키는반전기(100)으로서, 기판(W)을배치하기위한제1 아암쌍(21a)과, 상기제1 아암쌍(21a)과상호대향하는제2 아암쌍(21b)으로서, 해당제2 아암쌍(21b)이폐쇄되면상기제1 아암쌍(21a) 위에배치된기판(W)을파지하도록개폐가능하게구성된제2 아암쌍(21b)과, 상기제2 아암쌍(21b)을개폐시키는개폐기구(23)와, 상기아암쌍들의내측에설정되어상기제1 아암쌍(21a) 및상기제2 아암쌍(21b)의연장방향으로뻗은사전에정해진축선(2l) 주위로상기제1 아암쌍(21a) 및상기제2 아암쌍(21b)을회전시킴으로써상기기판(W)을상하반전시키는회전기구(22)를구비하는반전기(100)가제공된다.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种小型且高度可逆的基板抛光装置和具有这种反转装置的基板抛光装置。一种用于垂直翻转基板（W）的电抗器（100），包括：第一臂对（21a），用于设置基板（W）和第二臂对对（21B）为，当第一臂对所述第二臂对被配置成打开和关闭，以便放置在顶部（21a）的把手的基板（W）的第二臂对（21B）被关闭（图21B），并且其中所述和开闭机构23用于打开和关闭所述第二臂对（21B），设置在所述第一臂对（21a）和所述第二臂对的臂对（21B）轴上伸出的预先确定的内侧坚决纵向以及通过使第一对臂21a和第二对臂21b围绕第二对臂21旋转而垂直翻转基板W的旋转机构22 。

3. 发明公开

KR1020170095123A 기판 유지 모듈, 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 审中-实审
标题翻译：基板保持模块，基板处理装置及基板处理方法
公开(公告)号：KR1020170095123A
公开(公告)日：2017-08-22
申请号：KR1020170013687
申请日：2017-01-31
申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
发明人： 야자와아키히로 , 고바야시겐이치 , 아카자와겐이치
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/677 , H01L21/683 , H01L21/687 , H01L21/67 , H01L21/02
CPC分类号： H01L21/67051 , B08B1/00 , B08B11/02 , H01L21/67219 , H01L21/67259 , H01L21/68728
摘要： 본발명은, 액세스자유도가높은기판유지모듈을제공하는것을목적으로한다. 반송로봇에의해반송되는기판을수납가능한기판유지모듈이제공된다. 이러한기판유지모듈은, 기판을유지하기위한유지기구를갖는대좌와, 상기대좌를덮기위한커버와, 상기커버를상기대좌로부터멀어지도록이동시키는이동기구를갖는다.
摘要翻译：本发明的一个目的是提供一种具有高度进入自由度的基板保持模块。提供了一种基板保持模块，该基板保持模块能够保持由运送机器人承载的基板。这种基板保持模块具有基座，该基座具有用于保持基板的保持机构，用于覆盖基座的盖以及用于使盖从基座移开的移动机构。

4. 发明公开

KR1020160026724A 린스조 및 해당 린스조를 사용한 기판 세정 방법 审中-实审
标题翻译：使用这种冲洗浴的冲洗浴和衬底清洁方法
公开(公告)号：KR1020160026724A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：KR1020150119371
申请日：2015-08-25
申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
发明人： 세키모토마사히코 , 요코야마도시오 , 고바야시겐이치 , 아카자와겐이치
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/67
CPC分类号： B08B3/048 , H01L21/67057
摘要： 린스액의배출구조를간소화할수 있는린스조를제공한다. 린스조는, 린스액을저류하기위한내조(1)와, 내조(1)를월류한린스액을받는오버플로우조(2)와, 내조(1)의저부에형성된드레인구멍(1b)을막기위한마개(25)와, 마개(25)가드레인구멍(1b)을막는폐색위치와, 마개(25)가드레인구멍(1b)으로부터이격된개방위치사이에서마개(25)를이동시키는액추에이터(26)와, 내조(1)에린스액을공급하는린스액공급관(10)과, 오버플로우조(2)의저부에접속된드레인관(3)을구비한다. 드레인구멍(1b)은, 내조(1)의내부와오버플로우조(2)의내부를연통한다.
摘要翻译：本发明提供一种简化冲洗液排放结构的冲洗浴。冲洗浴包括：存储冲洗液的内浴（1）; 接收溢出内浴（1）的冲洗液的溢流槽（2）; 阻塞形成在内槽（1）的底部的排水孔（1b）的止动件（25）; 致动器（26）将止动器（25）移动到止动器（25）阻挡排水孔（b）的阻塞位置和止动件（25）与排放孔（1b）间隔开的打开位置之间; 向所述内浴（1）供应所述冲洗液的冲洗液供给管（10）; 以及连接到溢流槽（2）的底部的排水管（3）。排水孔（1b）连接内浴（1）的内部和溢流槽（2）的内部。

5. 发明公开

KR1020150110303A 기판 처리 장치 및 기판 반송 방법 审中-实审
标题翻译：基板加工设备和基板传输方法
公开(公告)号：KR1020150110303A
公开(公告)日：2015-10-02
申请号：KR1020150011931
申请日：2015-01-26
申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
发明人： 요코야마도시오 , 세키모토마사히코 , 고바야시겐이치 , 아카자와겐이치 , 미츠야다카시 , 구라시나게이이치
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67718 , H01L21/67086 , H01L21/67751 , H01L21/68707 , H01L21/67715 , H01L21/67742
摘要： 기판홀더의반송시의대기시간을해소하여, 기판처리의스루풋을향상시킨다. 본발명에관한기판처리장치는, 기판홀더를파지하는파지부와, 파지부에파지된기판홀더를반송하는반송부를구비하는반송기와, 기판홀더에보유지지된기판을기판의면내방향이연직방향을향하도록수납하고, 기판을처리하기위한처리조를갖는다. 파지부는, 기판의면내방향이수평방향을향한상태로상기기판홀더를파지하도록구성된다. 반송부는, 상기기판의면내방향이수평방향을향한상태로, 상기기판홀더를상기처리조의상방을반송하도록구성된다.
摘要翻译：本发明涉及一种基板处理装置。本发明是通过消除转移衬底保持器的等待时间来增加处理衬底的通过量。所述基板处理装置包括：转印装置，包括保持所述基板保持件的保持单元，以及转印单元，其传送由所述保持单元保持的所述基板保持件; 以及处理基板，存储由基板保持器保持和支撑的基板，以使基板的板方向处于垂直方向。保持单元将基板保持器保持在基板的板方向处于水平方向的状态。转印单元在基板的板方向处于水平方向的状态下将基板保持件传送到处理室的上部。

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