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1. 发明授权

KR101974232B1 제해 기능 부가 진공 펌프 有权
公开(公告)号：KR101974232B1
公开(公告)日：2019-04-30
申请号：KR1020140035972
申请日：2014-03-27
申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
发明人： 가와무라고타로 , 시노하라도요지 , 스기우라데츠로 , 아라이히데오 , 나카자와도시하루 , 이시카와게이이치 , 가시와기세이지 , 스즈키야스히코 , 교타니다카시
IPC分类号： F04B19/04 , F04B37/16 , F04B39/00

2. 发明授权

KR101597008B1 배기 시스템 有权
标题翻译：排气系统
公开(公告)号：KR101597008B1
公开(公告)日：2016-02-23
申请号：KR1020137005264
申请日：2011-07-25
申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
发明人： 시노하라도요지 , 가와무라고오타로 , 나카자와도시하루
IPC分类号： H01L21/67 , B01D53/00 , F04B37/14 , F04B49/06 , B01D53/78 , F24F7/00
CPC分类号： F24F7/00 , B01D53/005 , B01D53/78 , B01D2258/0216 , F04B37/14 , F04B49/06 , F04B2201/1201
摘要： 배기시스템(2)이반도체디바이스, 액정패널, LED 또는태양전지를제조하기위한제조장치(1)의챔버를배기하기위해사용된다. 배기시스템(2)은챔버를배기하기위한진공펌프장치(3), 챔버로부터배출된배기가스를처리하기위한배기가스처리장치(5) 및진공펌프장치(3) 및/또는배기가스처리장치(5)를제어하기위한제어기(6)를포함한다. 제조장치(1)의작동프로세스, 제조장치(1)에공급된가스의종류및 가스의유량이진공펌프장치(3) 및/또는배기가스처리장치(5)를제어하기위해제어기(6) 내에입력된다.
摘要翻译：排气系统（2）用于对用于制造半导体器件，液晶面板，LED或太阳能电池的制造设备（1）的室进行抽真空。排气系统（2）包括用于抽空室的真空泵装置（3），用于处理从室排出的排气的废气处理装置（5），以及用于控制真空泵装置的控制器（6） 3）和/或废气处理装置（5）。制造设备（1）的操作过程信息，以及供应给制造设备（1）的气体的种类和气体的流量被输入到控制器（6）中以控制真空泵设备（3）和 /或废气处理装置（5）。

3. 发明公开

KR1020140118898A 제해 기능 부가 진공 펌프 审中-实审
标题翻译：具有吸音功能的真空泵
公开(公告)号：KR1020140118898A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：KR1020140035972
申请日：2014-03-27
申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
发明人： 가와무라고타로 , 시노하라도요지 , 스기우라데츠로 , 아라이히데오 , 나카자와도시하루 , 이시카와게이이치 , 가시와기세이지 , 스즈키야스히코 , 교타니다카시
IPC分类号： F04B19/04 , F04B37/16 , F04B39/00
CPC分类号： F23J13/00 , B01D53/68 , B01D53/76 , B01D2251/102 , B01D2257/204 , B01D2257/553 , B01D2258/0216 , F04B37/14 , F04C25/02 , F04C2220/30 , F23G5/32 , F23G7/065 , F23J2219/00 , F23J2900/01007 , F23L17/00
摘要： An objective of the present invention is to provide a vacuum pump having an abatement function. According to the present invention, an amount of air that is sufficient to sufficiently dilute exhaust gas and fuel is supplied in vortex and combusted so that powder as it is can be discharged without any treatment byproduct melting or attachment into an abatement section. In the vacuum pump (1) according to the present invention, the abatement section (10) is disposed at an air discharge port of the vacuum pump (1) so as to treat the exhaust gas discharged from the vacuum pump (1) for zero harm. In the abatement section (10), an exhaust gas introduction port for target exhaust gas introduction is formed on one end portion side of a cylindrical body (11) and a gas outlet for treated gas discharge is formed on the other end portion side, a plurality of fuel nozzles (16) for fuel injection are disposed in a circumferential wall of the cylindrical body (11), a plurality of air nozzles (15) are disposed in the circumferential wall of the cylindrical body so that the air is injected to form a vortex along an inner circumferential surface of the circumferential wall, and the air nozzles (15) are arranged in a plurality of steps at a gap in an axial direction of the cylindrical body.
摘要翻译：本发明的目的是提供一种具有减轻功能的真空泵。根据本发明，充分稀释废气和燃料的空气量被涡旋供给并燃烧，从而可以排出粉末，而不会将任何处理的副产品熔化或附着到减排部分。在根据本发明的真空泵（1）中，减排部（10）设置在真空泵（1）的排气口处，以将从真空泵（1）排出的废气处理为零危害。在减排部（10）中，在圆筒体（11）的一个端部侧形成有用于目标废气引入的排气导入口，在另一端部侧形成有处理气体排出用气体出口燃料喷射用燃料喷嘴16配置在圆筒体11的圆周壁上，多个空气喷嘴15被设置在圆筒体的周壁上，从而喷射空气形成沿着周壁的内周面的涡流，以及空气喷嘴（15）沿圆筒体的轴向的间隙以多个台阶布置。

4. 发明授权

KR101955738B1 제해 기능을 갖는 진공 펌프 有权
公开(公告)号：KR101955738B1
公开(公告)日：2019-03-07
申请号：KR1020140035987
申请日：2014-03-27
申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
发明人： 가와무라고타로 , 시노하라도요지 , 스기우라데츠로 , 아라이히데오 , 교타니다카시 , 나카자와도시하루 , 이시카와게이이치 , 가시와기세이지 , 스즈키야스히코
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/324

5. 发明公开

KR1020050044309A 배기 가스 처리 방법 및 장치 有权
标题翻译：用于处理排气的方法和装置
公开(公告)号：KR1020050044309A
公开(公告)日：2005-05-12
申请号：KR1020047000640
申请日：2002-11-29
申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
发明人： 시노하라도요지 , 모리요이치 , 스즈키야스히코 , 아오노히로시 , 시라오유지
IPC分类号： B01D53/34 , B01D53/68 , B01D53/86 , F23G7/06
CPC分类号： F23J15/08 , B01D53/1456 , B01D53/62 , B01D53/68 , B01D53/70 , B01D53/864 , B01D53/8659 , F23G7/063 , F23J15/006 , F23J2215/301 , F23J2215/40 , F23J2219/10 , F23J2219/30 , F23J2219/40 , F23J2219/60 , Y02A50/2341
摘要： An apparatus for treating an exhaust gas has a pre-treatment section (1) for removing at least one of a powdery component, a water-soluble component and a hydrolytic component from the exhaust gas containing at least one of a fluorine compound and CO, and a heating oxidative decomposing section (2) for performing heating oxidative decomposition of the at least one of the fluorine compound and CO to detoxify the exhaust gas. The apparatus has a post-treatment section (4) for post-treating an acid gas such as HF which has been produced by the heating oxidative decomposition.
摘要翻译：废气处理装置具有从含有氟化合物和CO中的至少一种的排气中去除粉末成分，水溶性成分和水解成分中的至少一种的预处理部（1）和用于对氟化合物和CO 2中的至少一种进行加热氧化分解以对废气进行解毒的加热氧化分解部（2）。该装置具有用于后处理通过加热氧化分解产生的诸如HF的酸性气体的后处理部分（4）。

6. 发明公开

KR1020010060338A 플루오르-함유 화합물을 함유하는 배출가스의 처리방법 및처리장치 有权
标题翻译：用于处理含有含氟化合物的废气的方法和装置
公开(公告)号：KR1020010060338A
公开(公告)日：2001-07-06
申请号：KR1020000068291
申请日：2000-11-17
申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
发明人： 모리요이치 , 교타니다카시 , 시노하라도요지
IPC分类号： B01D53/70
CPC分类号： B01D53/70 , B01D53/685 , B01D53/8659 , B01D53/8662 , B01D2257/204 , B01D2257/2066 , Y02C20/30
摘要： PURPOSE: To provide a waste gas treating method high in decomposition ratio, effective for a long period and capable of removing an oxidizing gas, an acidic gas and CO at the same time and a device therefor. CONSTITUTION: The treating device for the waste gas containing the fluorine- containing compound has a solid material treating device 1 for separating a solid material from the waste gas containing the fluorine-containing compound, an adding means for adding H2 and/or H2O or H2 and/or H2O and O2 as a decomposition assistant gas into the waste gas from the solid material treating device, a heating decomposition device 3 for heating and decomposing the waste gas, into which the decomposition assistant gas is added, and packed with γ-alumina 2 heated to 600-900deg.C, an acidic gas treating device 5 for removing the acidic gas from the waste gas from the decomposed waste gas by heating and passages for successively connecting the devices and the treating device is preferably provided with an air ejector 7 having a function to control the pressure in the device.
摘要翻译：目的：提供高分解率的废气处理方法，其长期有效并且能够同时除去氧化性气体，酸性气体和CO，以及其装置。构成：含有含氟化合物的废气处理装置具有用于从含有含氟化合物的废气中分离固体物质的固体物质处理装置1，加入H 2和/或H 2 O或H 2的添加装置和/或作为分解辅助气体的H 2 O和O 2从固体材料处理装置中排出的废气中，加入和分解添加了分解助剂气体的废气的加热分解装置3，并装入γ-氧化铝 2加热至600-900℃，用于通过加热和分解的废气从废气中除去酸性气体的酸性气体处理装置5，用于连续地连接装置和处理装置，优选地设置有空气喷射器7 具有控制装置中的压力的功能。

7. 发明公开

KR1020170125963A 배출 가스 처리 장치 审中-实审
标题翻译：废气处理装置
公开(公告)号：KR1020170125963A
公开(公告)日：2017-11-15
申请号：KR1020177028866
申请日：2015-11-06
申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
发明人： 미야자키가즈토모 , 고마이데츠오 , 시노하라도요지 , 가시와기세이지
IPC分类号： F23G7/06 , F23G5/32 , F23L1/00 , F23C3/00
CPC分类号： F23G7/065 , B01D2251/102 , B01D2257/20 , B01D2258/0216 , F01N3/24 , F23C3/00 , F23G7/06 , F23L1/00 , F23M5/08
摘要： 본발명은반도체디바이스, 액정, LED 등을제조하는제조장치등으로부터배출되는배출가스를연소처리하여무해화하는배출가스처리장치에관한것이다. 배출가스처리장치는, 처리가스를연소처리하여무해화하는배출가스처리장치에있어서, 처리가스를연소하는원통형의연소실(1)은, 연료와지연성가스와처리가스를각각연소실(1)의내주면의접선방향을향하여불어넣는연료용노즐(3A)과지연성가스용노즐(3B)과처리가스용노즐(3C)을구비하고, 연료용노즐(3A)과지연성가스용노즐(3B)과처리가스용노즐(3C)은, 연소실(1)의축선에직교하는동일평면상에위치하고있다.
摘要翻译：废气处理装置技术领域本发明涉及对从半导体装置，液晶，LED的制造装置等排出的废气进行燃烧并使废气无害化的废气处理装置。废气处理装置包括用于燃烧处理气体的圆柱形燃烧室（1），其中燃料，延迟气体和处理气体被引入到燃烧室（1）的内周表面中，沿着喷嘴3B和软气体用喷嘴3B的切线方向喷吹的软质可燃气体用喷嘴3B和处理气体用喷嘴3C，喷嘴3C位于与燃烧室1的轴线正交的同一平面上。

8. 发明公开

KR1020150000428A 배출 가스 처리 장치 审中-实审
标题翻译：排气加工装置
公开(公告)号：KR1020150000428A
公开(公告)日：2015-01-02
申请号：KR1020140076426
申请日：2014-06-23
申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
发明人： 호소타니가즈마사 , 가시와기마코토 , 시노하라도요지 , 가와무라고타로
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/324 , H01L21/302
CPC分类号： F02C7/08 , B01D53/005 , B01D53/18 , B01D53/70 , B01D53/78 , B01D2252/103 , B01D2257/2045 , B01D2257/2047 , B01D2257/2066 , B01D2257/553 , B01D2258/0216 , F23G7/065 , F23J15/04 , F23J2219/40 , F28C3/06 , F28D1/0213 , F28D1/05316 , F28D7/082 , F28D7/16 , Y02P80/156
摘要： 본 발명은, 배출 가스 처리 장치의 설치 스페이스를 저감하는 것을 목적으로 한다.
배출 가스 처리 장치는, 열에너지를 이용하여 배출 가스를 처리하는 배출 가스 처리부로서, 처리된 배출 가스를, 액체를 사용하여 냉각시키는 배출 가스 처리부와, 액체를 순환액으로서 순환로 내를 순환시키는 순환부와, 순환액을 냉각시키기 위한 열교환 튜브로서, 열교환 튜브의 내부에 흐르는 냉각액과, 열교환 튜브의 외부에 흐르는 순환액의 사이에서 열교환을 행하는 열교환 튜브와, 순환액을 저류하는 순환액 저류부를 구비한다. 열교환 튜브는, 순환액 저류부의 내부의 적어도 일부에 확보된 열교환 튜브 설치 공간에 배치된다.
摘要翻译：本发明的目的是减少废气处理装置的安装空间。废气处理装置包括：废气处理单元，其使用热能处理排气并使用液体冷却经处理的气体;循环单元，其使作为循环溶液的循环路径中的液体循环;热交换管，在流过热交换单元的冷却溶液与流过热交换管外的循环液之间进行热交换，使循环溶液冷却;以及循环溶液存储单元，其循环循环溶液。热交换管配置在热交换管的安装空间中，该空间被固定在至少一部分循环液储存单元上。

9. 发明公开

KR1020140015245A 배기 시스템 有权
标题翻译：排气系统
公开(公告)号：KR1020140015245A
公开(公告)日：2014-02-06
申请号：KR1020137005264
申请日：2011-07-25
申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
发明人： 시노하라도요지 , 가와무라고오타로 , 나카자와도시하루
IPC分类号： H01L21/67 , B01D53/00 , F04B37/14 , F04B49/06 , B01D53/78 , F24F7/00
CPC分类号： F24F7/00 , B01D53/005 , B01D53/78 , B01D2258/0216 , F04B37/14 , F04B49/06 , F04B2201/1201 , H01L21/67253
摘要： 배기 시스템(2)이 반도체 디바이스, 액정 패널, LED 또는 태양 전지를 제조하기 위한 제조 장치(1)의 챔버를 배기하기 위해 사용된다. 배기 시스템(2)은 챔버를 배기하기 위한 진공 펌프 장치(3), 챔버로부터 배출된 배기 가스를 처리하기 위한 배기 가스 처리 장치(5) 및 진공 펌프 장치(3) 및/또는 배기 가스 처리 장치(5)를 제어하기 위한 제어기(6)를 포함한다. 제조 장치(1)의 작동 프로세스, 제조 장치(1)에 공급된 가스의 종류 및 가스의 유량이 진공 펌프 장치(3) 및/또는 배기 가스 처리 장치(5)를 제어하기 위해 제어기(6) 내에 입력된다.
摘要翻译：排气系统（2）用于对用于制造半导体器件，液晶面板，LED或太阳能电池的制造设备（1）的室进行抽真空。排气系统（2）包括用于抽空室的真空泵装置（3），用于处理从室排出的废气的废气处理装置（5），以及用于控制真空泵装置的控制器（6） 3）和/或废气处理装置（5）。制造设备（1）的操作过程信息，以及供给制造设备（1）的气体的种类和气体的流量被输入到控制器（6）中以控制真空泵设备（3）和 /或废气处理装置（5）。

10. 发明公开

KR1020150048058A 열교환기용 유로의 접속 장치 审中-实审
标题翻译：用于换热器的流量通道连接装置
公开(公告)号：KR1020150048058A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：KR1020140144197
申请日：2014-10-23
申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
发明人： 호소타니가즈마사 , 시노하라도요지
IPC分类号： F28F9/10 , F28F9/14 , F28F21/06
CPC分类号： F28F21/00 , F16L13/02 , F28D7/16 , F28F9/00 , F28F9/0246 , F28F21/062 , F28F21/067 , F28F2230/00
摘要： 열교환기용유로의접속장치는, 원기둥형의보스로서, 수지제의열교환튜브의일단을일방측으로부터삽입하기위한복수의관통구멍이형성된수지제의보스와, 원통형의본체부를갖는수지제의커플러로서, 그본체부가보스중의일방측과반대의타방측의부위를내부에수용하도록된 것인수지제의커플러와, 보스와본체부사이를시일하는제1 시일구조및 제2 시일구조를구비한다. 본체부에는, 제1 시일구조와제2 시일구조사이에, 본체부의내부와외부를연통시키는연통구멍이형성되어있다.
摘要翻译：用于热交换器的流路连接装置包括：由具有圆筒形状的树脂材料形成的凸台，具有多个通孔，以允许由一侧插入由树脂材料制成的热交换器管的一端 ; 以及由树脂材料制成并且具有形成为圆柱形状的主体部分的联接器。主体部分被配置为接受与一侧相对的另一侧的凸台的一部分。连接装置还包括密封凸台和主体部分之间的空间的第一和第二密封结构。主体部分具有形成在第一和第二密封结构之间的空间中的连通孔，以在主体部分的内部和外部之间连通。

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