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1. 发明授权

KR101195085B1 접합 기판 제조 장치 및 접합 기판 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR101195085B1
公开(公告)日：2012-10-29
申请号：KR1020107006124
申请日：2008-11-05
申请人： 가부시키가이샤 아루박
发明人： 사토세이치 , 야하기미츠루 , 미나미히로후미 , 무샤가즈히로 , 유야마준페이 , 무라타마사오 , 미야타다카히로 , 나카무라규죠
IPC分类号： H01L21/67 , G02F1/13
CPC分类号： H01L21/67092 , B32B37/10 , B65G49/061 , B65G49/064 , B65G2249/02 , B65G2249/045
摘要： 상부기판과 하부기판을 위치맞춤하면서 접합하여 접합 기판을 제조하는 접합 기판 제조 장치로서, 상기 하부기판을 안착하는 베이스부; 이 베이스부에 설치된 지지봉; 이 지지봉을 따라 상하 이동 가능하면서 상기 상부기판을 유지 가능한 상부 가압부재;를 포함하고, 상기 상부 가압부재를 하강시킴으로써, 상기 상부 가압부재에 유지된 상기 상부기판과 상기 베이스부에 안착된 상기 하부기판이 접합되는 것을 특징으로 한다.

2. 发明授权

KR101192683B1 접합 기판 제조 장치 및 접합 기판 제조 방법 有权
标题翻译：键合衬底制造设备和用于制造键合衬底的方法
公开(公告)号：KR101192683B1
公开(公告)日：2012-10-19
申请号：KR1020107008156
申请日：2008-11-12
申请人： 가부시키가이샤 아루박
发明人： 사토세이치 , 야하기미츠루 , 미나미히로후미 , 무샤가즈히로 , 유야마준페이 , 무라타마사오 , 미야타다카히로 , 나카무라규죠
IPC分类号： B29C65/00 , B30B15/00 , B65G49/06 , G02F1/13
CPC分类号： B65G49/064 , B32B37/1018 , B32B38/1833 , B32B2038/1891 , B32B2457/202 , B65G49/061 , B65G2249/02 , B65G2249/045 , H01L21/67092
摘要： 상부기판과 하부기판을 위치맞춤하고 접합하여 접합 기판을 제조하는 접합 기판 제조 장치로서, 상기 하부기판을 지지하는 베이스부; 상기 베이스부로부터 세워서 설치된 제1 지지봉; 상기 제1 지지봉을 따라 상하 이동 가능하고, 상기 상부기판을 유지 가능한 상부 가압부재; 상기 상부 가압부재로부터 독립하여 상하 이동 가능한 상부 챔버부재 및 하부 챔버부재를 포함하는 접합 처리실;을 구비하고, 상기 상부 가압부재가 이동함으로써 상기 접합 처리실의 내부에서 상기 상부기판과 상기 하부기판을 접합 가능하며, 상기 상부 챔버부재 및 상기 하부 챔버부재가 서로 당접하는 방향 또는 이격하는 방향으로 동시에 이동 가능한 것을 특징으로 하는 접합 기판 제조 장치.
摘要翻译： 1.一种键合衬底制造设备，用于对齐和键合上衬底和下衬底以产生键合衬底，包括：支撑下衬底的基底部分; 从基部竖立安装的第一支撑杆; 上部按压部件，其能够沿着第一支撑杆上下移动并能够保持上部基板; 并且，接合处理室包括上部腔室部件和与上部按压部件独立地上下移动的下部腔室部件，其中，上部和下部按压部件移动，使得上部基板和下部基板能够在接合处理室中接合并且，上部腔室部件和下部腔室部件同时可以在上部腔室部件和下部腔室部件彼此接触的方向上或沿远离上部腔室部件和下部腔室部件的方向移动。

3. 发明公开

KR1020100057653A 접합 기판 제조 장치 및 접합 기판 제조 방법 有权
标题翻译：接合基板制造设备和接合基板制造方法
公开(公告)号：KR1020100057653A
公开(公告)日：2010-05-31
申请号：KR1020107006124
申请日：2008-11-05
申请人： 가부시키가이샤 아루박
发明人： 사토세이치 , 야하기미츠루 , 미나미히로후미 , 무샤가즈히로 , 유야마준페이 , 무라타마사오 , 미야타다카히로 , 나카무라규죠
IPC分类号： H01L21/67 , G02F1/13
CPC分类号： H01L21/67092 , B32B37/10 , B65G49/061 , B65G49/064 , B65G2249/02 , B65G2249/045
摘要： Disclosed is a bonding substrate manufacturing apparatus for manufacturing a bonding substrate by bonding an upper substrate and a lower substrate while aligning the upper and the lower substrates with each other. The apparatus is provided with a base section for placing the lower substrate, a supporting bar arranged upright on the base section, and an upper pressurizing member which can vertically move along the supporting bar and hold the upper substrate. The upper substrate held by the upper pressurizing member and the lower substrate placed on the base section are bonded to each other by bringing down the upper pressurizing member.
摘要翻译：公开了一种用于通过在使上基板和下基板彼此对准的同时接合上基板和下基板来制造接合基板的接合基板制造装置。该装置设有用于放置下基板的基部，直立设置在基部上的支撑杆，以及能够沿着支撑杆垂直移动并保持上基板的上加压构件。由上加压构件保持的上基板和位于基部上的下基板通过下压上加压构件而彼此接合。

4. 发明授权

KR100876318B1 진공배기장치 및 진공배기장치의 운전방법 有权
标题翻译：空值
公开(公告)号：KR100876318B1
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：KR1020047002269
申请日：2002-09-05
申请人： 가부시키가이샤 아루박
发明人： 시바야마코우지 , 야마시타유우이치 , 야하기미츠루 , 타시마타카히코 , 아이카와준이치 , 타나카토모나리 , 칸케유키오 , 후카우라유우지
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： F04C23/001 , F04C2220/12 , F16K15/042
摘要： 다단 루트형 드라이 진공펌프로 되는 주펌프(20)의 본체(21) 내에는, 모터(22)에 의해 회전 구동되는 한쌍의 로터 R
l , R
2 , R
3 , R
4 , R
5 및 R
6 이 각각 마련되어 있다. 또, 본체(21)의 좌단 상벽부에는 로터 R
l 의 로터실에 이어지는 흡입구(23)가 마련되어 있고, 최후단의 로터 R
6 의 로터실의 토출측에 이어지는 토출부(24)에는 사이렌서(26)를 갖춘 배기배관(25)이 접속되고, 더욱 배관(27)을 통해 역지밸브(28)에 접속되어 있다. 이 역지밸브(28)는 대기측으로의 방향을 순방향으로 하고 있다. 그리고 또한, 토출부(24) 또는 중간단의 토출부(24')에는 주펌프(20) 보다도 배기용량이 작은 보조펌프(30)가 접속되어 있다. 모터(22)를 구동하면, 각 로터 R
l 내지 R
6 의 회전에 따라 배기되는 가스가 각각의 로터실로부터 순차적으로 하류측으로 이송되고, 흡입구(23)에 접속한 진공처리실이 배기된다. 최후단의 토출부(24)는 보조펌프(30)의 구동에 따라 감압으로 배기된다. 따라서, 최후단의 로터 R
6 또는 중간단의 로터 R
5 에 의한 배기작용의 부담은 경감된다. 즉, 모터(22)의 소비전력은 종래보다 대폭적으로 작게 할 수 있다.
진공배기장치, 진공펌프
摘要翻译：转子对（R 1，R 2，R 3，R 3，R 4，R 5，由主电动机22旋转地驱动的电动机和/或副电动机）设置在包括多级罗茨干式真空泵的主泵（20）的主体（21）中。在主体（21）的左端部的上壁部设置有与转子R 1 1的转子室连通的吸入口（23）。与最终级上的转子R 6C的转子室的输送侧连通的输送部分（24）联接到排气管（25），并且设置有消声器（26），并且进一步通过管道（27）联接到止回阀（28）。止回阀（28）具有朝向大气侧的向前方向。输送部分（24）或侧中间段的输送部分（24'）联接到排气容量小于主泵（20）的排放能力的辅助泵（30）。当电动机（22）被驱动时，通过转子（R SUB1〜6S）的旋转排出的气体顺序地从转子室输送到下游侧，并且联接到吸入口（23）的真空处理室被排出。通过驱动辅助泵（30）将最终级上的输送部分（24）排出，压力降低。因此，中间级上的末级或转子（R 5 S 5）上的转子（R 6 S）的排气作用的负担减轻，并且功率与现有技术相比，马达（22）的消耗可以显着降低。

5. 发明授权

KR101246800B1 접합기판 제조장치 및 접합기판 제조방법 有权
标题翻译：接合基板的制造装置和接合基板的制造方法
公开(公告)号：KR101246800B1
公开(公告)日：2013-03-26
申请号：KR1020107008841
申请日：2008-11-05
申请人： 가부시키가이샤 아루박
发明人： 사토세이치 , 야하기미츠루 , 미나미히로후미 , 무샤가즈히로 , 유야마준페이 , 무라타마사오 , 미야타다카히로 , 나카무라규죠
IPC分类号： G02F1/1339 , G02F1/13
CPC分类号： H01L21/67092 , B32B37/10 , B65G49/061 , B65G49/064 , B65G2249/02 , B65G2249/045 , G02F1/1303
摘要： 상측 기판과 하측 기판의 위치맞춤을 행하면서 접합하여 접합기판을 제조하는 접합기판 제조장치로서, 상기 하측 기판을 놓아 두는 안착 테이블과; 이 안착 테이블을 이동시키는 이동 기구와; 이 이동 기구가 설치된 베이스부와; 이 베이스부에 세워진 지지봉과; 이 지지봉을 따라 상하 이동 가능하고 또한 상기 상측 기판을 보유지지할 수 있는 상측 가압부재;를 구비하고, 상기 상측 가압부재를 하강시킴으로써 상기 상측 가압부재에 보유지지된 상기 상측 기판과 상기 안착 테이블에 놓인 상기 하측 기판이 접합된다.

6. 发明公开

KR1020120011889A 태양 전지의 제조 방법 및 태양 전지의 제조 장치 无效
标题翻译：太阳能电池制造方法和太阳能电池制造设备
公开(公告)号：KR1020120011889A
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：KR1020117029776
申请日：2009-06-18
申请人： 가부시키가이샤 아루박
发明人： 야마무로가즈히로 , 사토세이치 , 야하기미츠루 , 유야마준페이 , 나카무라규조
IPC分类号： H01L31/04 , G01R27/08 , G01N21/88 , H01L31/18
CPC分类号： H01L31/03921 , H01L31/186 , Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要： 이 태양 전지의 제조 방법은, 복수의 구획 소자(21, 21s)를 포함하고, 서로 인접하는 상기 구획 소자(21, 21s)끼리 전기적으로 접속된 광전변환체(12)를 형성하며, 상기 광전변환체(12) 중에서 구조 결함(R, A1, A2, A3)을 가지는 상기 구획 소자(21s)를 특정하고, 서로 인접하는 상기 구획 소자(21, 21s)끼리 간에 복수 장소의 저항값을 측정하여 얻어지는 저항값의 분포에 기초하여 상기 구획 소자 내(21s)에서 상기 구조 결함이 존재하는 영역(Z)을 좁히고, 이 좁혀진 상기 구조 결함이 존재하는 상기 영역(Z) 내를 화상 촬상부(24)에 의해 촬상하여 얻어진 화상으로부터 상기 구조 결함의 위치를 정확하게 특정함으로써, 상기 구획 소자(21s) 내에서 상기 구조 결함이 존재하는 부위를 한정하고, 상기 구조 결함이 존재하는 부위에 레이저 광선을 조사하여 상기 구조 결함을 � �거한다.

7. 发明公开

KR1020100060001A 접합기판 제조장치 및 접합기판 제조방법 有权
标题翻译：接合基板制造设备和接合基板制造方法
公开(公告)号：KR1020100060001A
公开(公告)日：2010-06-04
申请号：KR1020107008841
申请日：2008-11-05
申请人： 가부시키가이샤 아루박
发明人： 사토세이치 , 야하기미츠루 , 미나미히로후미 , 무샤가즈히로 , 유야마준페이 , 무라타마사오 , 미야타다카히로 , 나카무라규죠
IPC分类号： G02F1/1339 , G02F1/13
CPC分类号： H01L21/67092 , B32B37/10 , B65G49/061 , B65G49/064 , B65G2249/02 , B65G2249/045 , G02F1/1303
摘要： Disclosed is a bonding substrate manufacturing apparatus for manufacturing a bonding substrate by bonding an upper substrate and a lower substrate while aligning the upper and the lower substrates with each other. The apparatus is provided with a placing table for placing the lower substrate, a moving mechanism for moving the placing table, a base section whereupon the moving mechanism is arranged, a supporting bar arranged upright on the base section, and an upper pressurizing member which can vertically move along the supporting bar and hold the upper substrate. The upper substrate held by the upper pressurizing member and the lower substrate placed on the placing table are bonded to each other by bringing down the upper pressurizing member.
摘要翻译：公开了一种用于通过在使上基板和下基板彼此对准的同时接合上基板和下基板来制造接合基板的接合基板制造装置。该装置设置有用于放置下基板的放置台，用于移动放置台的移动机构，配置有移动机构的基部，竖直地设置在基部上的支撑杆，以及能够沿着支撑杆垂直移动并且保持上基板。由上加压构件保持的上基板和放置在载置台上的下基板通过下压上加压构件而彼此接合。

8. 发明授权

KR101183698B1 태양전지의 제조 방법 및 태양전지의 제조 장치 有权
标题翻译：太阳能电池制造方法和太阳能电池制造装置
公开(公告)号：KR101183698B1
公开(公告)日：2012-09-18
申请号：KR1020107016958
申请日：2009-03-27
申请人： 가부시키가이샤 아루박
发明人： 야마무로가즈히로 , 사토세이치 , 야하기미츠루 , 유야마준페이 , 나카무라규죠
IPC分类号： H02S50/10
CPC分类号： H01L31/208 , H01L31/046 , H02S50/10 , Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要： 이 태양전지의 제조 방법은 복수의 구획 소자(21,21s)를 포함하고, 서로 인접한 상기 구획 소자(21,21s)끼리 전기적으로 접속된 광전 변환체(12)를 형성하고, 상기 광전 변환체(12) 중 구조 결함을 가진 구획 소자(21s)를 특정하고, 서로 인접한 구획 소자(21,21s)끼리의 사이에서 복수 개소의 저항값을 측정하여 얻어지는 저항값의 분포로부터 결함 부위를 특정함으로써 상기 구획 소자(21s)안에서 상기 구조 결함(R, A1, A2, A3)이 존재하는 부위를 한정하고, 상기 구조 결함(R, A1, A2, A3)이 존재하는 부위에 바이어스 전압을 인가하여 상기 구조 결함(R, A1, A2, A3)을 제거한다.

9. 发明授权

KR101177090B1 접합 기판 제조 장치 및 접합 기판 제조 방법 有权
标题翻译：接合基板的制造装置和接合基板的制造方法
公开(公告)号：KR101177090B1
公开(公告)日：2012-08-24
申请号：KR1020107006857
申请日：2008-11-06
申请人： 가부시키가이샤 아루박
发明人： 사토세이치 , 야하기미츠루 , 미나미히로후미 , 무샤가즈히로 , 유야마준페이 , 무라타마사오 , 미야타다카히로 , 나카무라규죠
IPC分类号： G02F1/1339 , G02F1/13
CPC分类号： B65G49/064 , B32B37/10 , B32B38/1858 , B65G49/061 , B65G2249/02 , B65G2249/045 , G02F1/1303 , H01L21/67092
摘要： 본 발명의 접합 기판 제조 장치는, 상부기판과 하부기판을 위치맞춤하면서 접합하여 접합 기판을 제조하는 접합 기판 제조 장치로서, 상기 하부기판을 지지하는 베이스부; 상하 이동 가능하게 구성되고, 상기 베이스부와 함께 접합 처리실을형성하는 챔버 부재; 상기 베이스부에 세워진 지지봉; 상기 지지봉을 따라 상기 챔버 부재로부터 독립하여 상하 이동 가능하면서 상기 상부기판을 보유지지 가능한 상부 가압부재를 포함하고, 상기 상부 가압부재가 이동함으로써 상기 접합 처리실의 내부에서 상부기판과 상기 하부기판이 접합된다.

10. 发明授权

KR101119236B1 베인의 제조방법 有权
标题翻译：制造叶片的方法
公开(公告)号：KR101119236B1
公开(公告)日：2012-03-20
申请号：KR1020090013106
申请日：2009-02-17
申请人： 가부시키가이샤 아루박
发明人： 다나카도모나리 , 야하기미츠루 , 시바야마고지 , 나카무라다카시 , 후카우라유지
IPC分类号： F04C15/00 , F04C29/00 , C08J5/16
CPC分类号： B29C71/0009 , B29C71/02 , B29C2035/043 , B29C2071/0018 , B29C2791/006 , B29K2101/10 , B29K2105/24 , B29L2031/08 , F04C18/3441 , F04C2230/90 , F05C2225/00 , Y10T29/49245 , Y10T29/49336
摘要： 이 베인의 제조방법은 오일 회전 진공 펌프에 사용되는, 적어도 일부가 수지 재료로 구성된 베인의 제조방법으로서, 상기 베인을 최종 형상으로 마무리하는 최종 가공 공정 전에, 상기 오일 회전 진공 펌프에 사용되는 오일에 감압 환경에서 상기 베인을 침지시키는 오일 함침 공정을 갖는다.

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