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    • 유체 펌프
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    • 소형 저배이고 펌프 능력이 높은 유체 펌프(101)를 구성한다. 유체 펌프(101)는 액츄에이터(40)와 금속판에 의한 평면부(51)로 구성되어 있다. 액츄에이터(40)는 원판 형상의 진동판(41)에 원판 형상의 압전소자(42)가 부착된 것이다. 직사각형파 또는 정현파 형상의 구동 전압이 인가됨으로써 액츄에이터(40)는 중심부에서 주변부에 걸쳐서 굴곡 진동한다. 액츄에이터(40)는 그 주변부가 구속되어 있지 않다. 액츄에이터(40)는 평면부(51)에 근접 대향한 상태로 굴곡 진동한다. 평면부(51) 중 액츄에이터(40)와 대향하는 액츄에이터 대향영역의 중심 또는 중심 부근에는 중심 통기구멍(52)이 배치되어 있다.
    • 由此构成小型且泵容量低的流体泵101。 流体泵101由致动器40和由金属板制成的平面部分51构成。 致动器40通过将盘形压电元件42附接到盘形隔膜41而形成。 通过施加矩形波或正弦波的驱动电压,致动器40从中心部分向外围部分灵活地振动。 致动器40的外围不受约束。 致动器40在与平坦表面部分51紧密相对的状态下弯曲和振动。 中央通气孔52配置在平面部51的与致动器40对置的致动器相对区域的中心附近。