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    • 3. 发明公开
    • 고체 촬상 장치
    • 固态成像装置
    • KR1020150020011A
    • 2015-02-25
    • KR1020140022006
    • 2014-02-25
    • 가부시끼가이샤 도시바
    • 우에노소이치로
    • H01L27/146
    • H01L27/14621
    • 본 발명의 일 실시 형태에 따르면, 수광부를 갖는 반도체 기판, 컬러 필터층 및 선택 반사층을 갖는 고체 촬상 장치가 제공된다. 상기 컬러 필터층은 상기 반도체 기판의 제1 주면 상에 형성되고, 소정의 파장 대역의 광을 투과시키는 투과 대역을 갖고, 상기 투과 대역 외의 광을 흡수하는 컬러 필터부를 포함하고, 상기 선택 반사층은 상기 컬러 필터부에 접하도록 상기 반도체 기판의 상기 제1 주면과 상기 컬러 필터층 사이에 형성되고, 상기 선택 반사층은 상기 투과 대역 내의 광에 대하여 상기 컬러 필터부와 실질적으로 동일한 굴절률을 가짐과 함께, 상기 투과 대역 외의 광에 대하여 상기 컬러 필터부와 실질적으로 다른 굴절률을 갖는다.
    • 根据本发明的实施例,提供了一种固态成像装置,其具有具有光接收部分,滤色器层和选择反射层的半导体基板。 滤色器层包括形成在半导体基板的第一主表面上的滤色器部分,具有透射预定波长范围的光并且不吸收不在透射范围内的光的透射范围。 选择反射层形成在半导体衬底的第一主表面和滤色器层之间,以与滤色器部分接触。 选择反射层在透射范围的光线上实际上具有与滤色器部分相同的折射率,并且在其余透射范围的光线上实际上也具有与滤色器部分不同的反射指数。