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    • 10. 发明授权
    • 능동형 제진장치
    • 主动隔振装置
    • KR100583075B1
    • 2006-05-25
    • KR1020050077725
    • 2005-08-24
    • 정종택이용만
    • 정종택이용만
    • F16F15/02
    • 본 발명은 반도체장비나 정밀측정장비 등과 같은 피제진대상물의 진동을 제거하는 제진장치에 관한 것으로, 특히 피제진대상물(W)을 얹어 지지하는 제진테이블(20)을 베이스플레이트(10)위에 적어도 4개의 레벨조절기구(30)로써 수평으로 설치하고, 상기 제진테이블(20)과 베이스플레이트(10)의 사이에는 적어도 6개 이상의 제진액츄에이터(50A-50F)를 설치하고, 진동제어부(43)는 진동감지센서(40)에서 검출한 제진테이블(20)의 진동에 대응하는 진동제어신호를 복수개의 제진액츄에이터(50A-50F)에 제공하여 이들 제진액츄에이터(50A-50F)가 진동에 대응하는 추력을 제진테이블(20)에 작용시킴으로써 제진테이블의 6자유도의 진동을 효과적으로 제거한다.
      능동형 제진, 보이스코일모터, 레벨조절
    • 更具体地说,本发明涉及用于去除诸如半导体设备,精密测量设备等的待阻尼物体的振动的减振装置,并且更具体地涉及减振台(20) 至少六个振动抑制致动器50A至50F安装在减振台20与底板10之间,并且振动控制单元43设置有振动 传感器40中,在多个在防振在这些阻尼致动器(50A-50F)设置在振动振动隔离致动器(​​50A-50F)的检测与对应于一个防振台20的振动的振动控制信号的力 通过有效地作用于工作台20,有效地去除了振动阻尼表的六个自由度的振动。