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    • 1. 发明授权
    • 펨 기능을 구비한 평판디스플레이 리페어 장치
    • 具有光子发射显微镜容量的显示器维修设备
    • KR101358884B1
    • 2014-02-06
    • KR1020110092548
    • 2011-09-14
    • (주)에이앤아이
    • 오병준전동철이규호김규석강면구엄성하오동훈전재웅고정현
    • G02F1/13H01S3/00
    • 본 발명은 펨 기능을 구비한 평판디스플레이 리페어 장치 및 오토 리페어 방법에 관한 것으로, 마이크로프로세서로 이루어진 제어부; 평판디스플레이에 생긴 1㎛~2㎛ 크기의 미소 결함을 포톤 대역 검출방식으로 검출하여 검출신호를 제어부로 전송하는 펨장치부; 제어부의 제어신호에 따라 레이저 빔을 미소 결함 부위에 조사하여 암점화시키는 방식으로 수선하는 리페어장치부; 레이저 빔과 광학처리를 위한 부재들이 배열된 공통부; 평판디스플레이의 영상이나 레이저 가공 영상을 실시간 취득하여 제어부로 전송하는 비젼부;가 하나의 유닛으로 이루어져 광학계를 구성하는 펨 기능을 구비한 평판디스플레이 리페어 장치에 있어서; 상기 공통부는 평판디스플레이 하부에서 상부를 향해 광을 조사하는 제3조명부, 평판디스플레이의 상부에 배치되는 렌즈부(대물렌즈), 렌즈부의 렌즈를 변환시키는 렌즈변환부, 렌즈변환부 상부에 배치되어 광을 분리시키는 제4스플리터, 제4스플리터의 상부에 배치되어 광을 분리시키는 제3스플리터, 제3스플리터에 수직접속되어 렌즈부의 촛점을 조절하는 초점조절부, 초점조절부에 연결되고 평판디스플레이의 영상을 볼 수 있도록 광원을 제공하면서 광량 손실을 줄이는 제2조명부, 제3스플리터의 상부에 배치되는 튜브렌즈, 튜브렌즈의 상부에 배치되어 광을 분리시키는 제2스플리터로 구성되고; 상기 리페어장치부는 제2스플리터의 상부에 배치되어 레이저 빔의 모양을 결정하는 마스크, 마스크의 상부에 배치되어 레이저 빔의 크기를 가변시키는 슬릿, 슬릿 상부에 배치되어 광을 분리하는 제1스플리터, 제1스플리터를 통해 평판디스플레이로 광을 조사하는 제1조명부, 제1스플리터에 직교되게 접속되어 레이저 빔의 단면을 고르게 형성하는 빔형성장치, 빔형성장치에 연결되어 레이저 빔의 출력을 조절하는 빔조절장치, 빔조절장치에 연결되어 레이저 빔을 발진하는 레이저발진기로 구성되며; 상기 펨장치부는 제4스플리터에 접속되어 제4스플리터에 의해 분기된 평판디스플레이의 포톤을 결상하는 결상렌즈, 결상된 상을 수직반사시키는 제2미러, 반사된 상 중에서 일정 대역의 포톤만 검출하도록 필터링하는 제2대역필터, 제2대역필터를 통과한 포톤의 검출시간과 영역을 조절하는 조리개, 조리개를 거친 포톤을 검출하여 제어부로 전송하는 검출기로 구성되고; 상기 비젼부는 제2스플리터에 접속되어 제2스플리터를 통해 분기된 영상 중 불필요한 파장대역을 필터링하는 제1대역필터, 제1대역필터를 통해 필터링된 영상을 수직 반사하는 제1미러, 반사된 영상을 촬영에 필요한 배율로 변환하는 배율변환부, 변환된 배율의 영상을 촬상하고 촬상된 신호를 제어부로 전송하는 카메라로 구성되는 것을 특징으로 하는 펨 기능을 구비한 평판디스플레이 리페어 장치를 제공한다.
      본 발명에 따르면, 평판디스플레이 검사 및 리페어 장비에 펨장치를 구현하여 하나의 통합된 시스템 형태의 광학계를 구현함으로써 기존 일반 광학현미경으로는 검출할 수 없었던 1㎛-2㎛ 크기의 미세 불량까지 검출가능하고, 오토 리페어도 용이하여 효율적인 검출능력과 수율 향상에 기여하는 효과를 얻을 수 있다.
    • 5. 发明公开
    • 레이저 3차원 측정기를 이용한 COF 외관검사방법
    • 使用激光三维测量机检查COF外观的方法
    • KR1020110117797A
    • 2011-10-28
    • KR1020100037227
    • 2010-04-22
    • (주)에이앤아이
    • 오병준김규석강면구
    • G01N21/89G01B11/30B65H43/04
    • 본 발명은 레이저 3차원 측정기를 이용한 COF 외관검사방법에 관한 것으로, COF의 외관을 검사하는 방법에 있어서; 상기 COF가 검사대의 고정플레이트상에 고정된 안내롤과, 상기 안내롤 양측에 구비된 텐션롤을 경유하여 팽팽하게 걸린 상태로 이송되게 하여 곡면 피팅을 극소화시키는 제1단계와; 상기 제1단계 후 적어도 하나 이상의 레이저를 통해 안내롤을 거쳐가는 COF에 수직하게 레이저빔을 조사하여 라인 스캔하는 제2단계와; 상기 제2단계에서 라인 스캔된 정보를 적어도 하나 이상의 카메라로 촬상하고 이를 컴퓨터로 전송하여 분석하는 제3단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 레이저 3차원 측정기를 이용한 COF 외관검사방법을 제공한다.
      본 발명은 레이저 3차원 측정방식을 통해 기존에 검사하기 어려웠던 마이크로 크기의 찍힘 불량, 구겨짐 불량, 부서짐 불량 등을 쉽고 정확하게 검출할 수 있고, 이를 통해 제품의 품질 향상 및 생산 효율 향상을 달성하는 효과를 제공한다.
    • 6. 发明授权
    • 레이저 3차원 측정기를 이용한 COF 외관검사방법
    • 使用激光三维测量机检查COF外观的方法
    • KR101183179B1
    • 2012-09-14
    • KR1020100037227
    • 2010-04-22
    • (주)에이앤아이
    • 오병준김규석강면구
    • G01N21/89G01B11/30B65H43/04
    • 본 발명은 레이저 3차원 측정기를 이용한 COF 외관검사방법에 관한 것으로, COF의 외관을 검사하는 방법에 있어서; 상기 COF가 검사대의 고정플레이트상에 고정된 안내롤과, 상기 안내롤 양측에 구비된 텐션롤을 경유하여 팽팽하게 걸린 상태로 이송되게 하여 곡면 피팅을 극소화시키는 제1단계와; 상기 제1단계 후 적어도 하나 이상의 레이저를 통해 안내롤을 거쳐가는 COF에 수직하게 레이저빔을 조사하여 라인 스캔하는 제2단계와; 상기 제2단계에서 라인 스캔된 정보를 적어도 하나 이상의 카메라로 촬상하고 이를 컴퓨터로 전송하여 분석하는 제3단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 레이저 3차원 측정기를 이용한 COF 외관검사방법을 제공한다.
      본 발명은 레이저 3차원 측정방식을 통해 기존에 검사하기 어려웠던 마이크로 크기의 찍힘 불량, 구겨짐 불량, 부서짐 불량 등을 쉽고 정확하게 검출할 수 있고, 이를 통해 제품의 품질 향상 및 생산 효율 향상을 달성하는 효과를 제공한다.
    • 7. 发明公开
    • 레이저 3차원 측정기를 이용한 플렉시블 인쇄회로기판의 외관검사장치
    • 使用激光三维测量机检查FPCB外观的装置
    • KR1020110116369A
    • 2011-10-26
    • KR1020100035745
    • 2010-04-19
    • (주)에이앤아이
    • 오병준전동철이철희강면구
    • H05K13/08G01B11/24
    • 본 발명은 레이저 3차원 측정기를 이용한 플렉시블 인쇄회로기판의 외관검사장치에 관한 것으로, FPCB의 외관을 검사하는 장치에 있어서; 사각박스 형상의 하우징과; 상기 하우징의 일측에 설치되고, FPCB를 풀어주는 FPCB로더와; 상기 FPCB로더의 하측에 간격을 두고 설치되며, 상기 FPCB로더로부터 FPCB가 풀려 나올 때 벗겨지는 보호필름을 감는 보호필름언로더와; 상기 하우징의 타측에 설치되고, 검사완료된 FPCB를 감는 FPCB언로더와; 상기 FPCB언로더의 하측에 간격을 두고 설치되며, 상기 FPCB가 FPCB언로더로 감길 때 보호필름을 풀어 FPCB의 일측면에 밀착되게 하고 그 상태로 감기도록 안내하는 보호필름로더와; 상기 FPCB로더와 FPCB언로더 사이에 배치되고, FPCB가 인입되는 쪽으로부터 카메라 촬상 및 촬상된 사진을 디스플레이하는 2D모니터를 포함하는 2D검사부, 2D검사부를 거친 FPCB를 이송시키는 다수의 안내롤, 레이저와 카메라를 통해 FPCB 표면을 라인 스캔함과 동시에 촬상하고 촬상된 사진을 판독하여 디스플레이하는 3D모니터를 포함하는 3D검사부로 이루어진 검사대와; 상기 검사대에서 검사한 FPCB가 불량일 경우 재검사 후 불량처리를 위해 구멍을 뚫는 리뷰/펀치부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 레이저 3차원 측정기를 이용한 플렉시블 인쇄회로기판의 외관검사장치를 제공한다.
      본 발명은 2D와 3D 검사를 한 장치에서 효율적으로 수행할 수 있도록 레이아웃이 설계되어 검사 효율성을 증대시키고, 레이저 3차원 측정방식을 통해 기존에 검사하기 어려웠던 마이크로 크기의 찍힘 불량, 구겨짐 불량 등을 쉽고 정확하게 검출할 수 있으며, 이를 통해 제품의 품질 향상 및 생산 효율 향상을 달성하는 효과를 제공한다.