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    • 7. 发明公开
    • 발광소자의 제조 방법
    • KR20180070489A
    • 2018-06-26
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    • NICHIA CORP
    • KITAHAMA SHUNINOUE YOSHIKINAGAMINE KAZUHIRONARITA JUNYA
    • H01L33/00H01L33/14H01L33/62
    • [과제] 리크전류의발생을경감한발광소자의제조방법을제공한다. [해결수단] 기판과, n형불순물을포함한 n측질화물반도체층과, p형불순물을포함한 p측질화물반도체층을, 하방으로부터상방을향하여순서대로가지는반도체웨이퍼를준비하는공정과, 상기기판에레이저광을조사함으로써, 상기기판에가공변질부를형성하는공정과, 상기기판에가공변질부가형성된상기반도체웨이퍼를분할함으로써, 복수의발광소자를얻는공정을포함하는발광소자의제조방법에있어서, 상기반도체웨이퍼를준비하는공정과상기기판에가공변질부를형성하는공정과의사이에, 상기 p측질화물반도체층의상면에있어서의, 상기복수의발광소자가되는영역의경계를포함한영역에보호층을형성하는공정과, 상기반도체웨이퍼를어닐함으로써, 상기보호층이형성되어있지않은영역에있어상기 p측질화물반도체층을저저항화하는공정을순서대로포함하는것을특징으로하는발광소자의제조방법.