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1. 发明授权

KR102188568B1 인공지능 기반의 디스플레이 패널 검사방법 有权
公开(公告)号：KR102188568B1
公开(公告)日：2020-12-09
申请号：KR20190087843
申请日：2019-07-19
申请人： DE&T CO LTD
发明人： KYUNGHA LEE , JINSUNG KIM
IPC分类号： G01N21/88 , G01N21/95 , G06N20/00 , G06T7/00 , G09G3/00 , H01L51/00 , H01L51/56
摘要： OLED(Organic Light Emitting Diodes)와같은디스플레이장치의패널제조공정상에서전자동인공지능기반의비전검사(vision examination)와비전검사에서이미지로검사불가능한 invisible 영역과극소결함에대해전기적검사를병행수행하여디스플레이패널의검사에정확성을도모할수 있도록한 인공지능기반의디스플레이패널검사방법에관한것으로서, 디스플레이패널검사운영콘솔에서비전검사기를통해검사이미지를획득하고, 전기검사기를이용하여검사대상 TFT 패널의픽셀단위출력파형을검출하고, 검출한출력파형을전처리하여전기검사파형을획득하며, 획득한검사이미지및 전기검사파형을인공지능학습알고리즘인딥 러닝알고리즘으로분석하여불량유무를판정하고, 불량발생시, 불량유형및 불량발생공정을판정한후, 판정한불량유형및 불량발생공정의복구를위한조치정보를자동으로생성하여, 비전검사에서검출하지못하는 invisible 영역과극소결함을정확하게검출할수 있게된다.

2. 发明公开

KR20100044446A The reticle transfer robot of the exposure equipment 审中-公开
标题翻译：接触设备的转移机器人
公开(公告)号：KR20100044446A
公开(公告)日：2010-04-30
申请号：KR20080103585
申请日：2008-10-22
申请人： DE & T CO LTD
发明人： SONG WANG KYU , HAN SEUNG KI
IPC分类号： B25J9/02 , B25J9/00
摘要： PURPOSE: A reticle transfer robot of an exposure device is provided to prevent exposure operation from being stopped due to vibration by preventing vibration generated during conveying reticles from being transferred to a light exposing unit. CONSTITUTION: A reticle transfer robot of an exposure device comprises a movable part, a gripper(41), and a positioning aligning unit(43). The movable part is moved in X, Y, Z-axis direction, and a rotational direction. The moving part transfers reticle(1) loaded in a cassette of a light exposure device to a wheel. A gripper for fixing the reticle is installed at the upper end of the movable part. The positioning aligning unit is integrated with one side of the gripper. The positioning aligning unit aligns the location of the reticle placed on the wheel.
摘要翻译：目的：提供一种曝光装置的掩模传送机器人，以防止曝光操作由于振动而被阻止，因为防止在将光栅传送到曝光单元时产生的振动。构成：曝光装置的标线传送机器人包括可移动部分，夹持器（41）和定位对准单元（43）。可移动部分在X，Y，Z轴方向和旋转方向上移动。移动部件将装载在曝光装置的盒中的掩模版（1）传送到车轮。用于固定光罩的夹具安装在可移动部件的上端。定位对准单元与夹具的一侧结合。定位对准单元对准放置在车轮上的掩模版的位置。

3. 发明公开

KR20200133942A 전극 노칭 장치 审中-公开
公开(公告)号：KR20200133942A
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：KR20190059256
申请日：2019-05-21
申请人： DE&T CO LTD
发明人： BAE SUNG MIN , KIM KAEU WAN , YUN KWANG CHEON , GUN WOO PARK , SEUNG WOO HAN , MAN HEE HAN , KIM KYUNG SOO , SONG NAM LIM
IPC分类号： B23K26/38 , B23K26/042 , B23K26/064 , H01M4/04
摘要： 본발명은레이저와노칭대상이되는전극필름을펀칭을이용한전극제조장치와다른수직이동방식으로배치하여레이저에의한노칭이효율적으로이루어질수 있도록한 전극노칭장치에관한것이다. 본발명에따른전극노칭장치는레이저발생부; 상기레이저발생부로부터출력되는레이저를조사하여전극필름의일부분을절삭하는스캐너; 상기레이저발생부와상기스캐너사이에배치되어상기레이저전달경로를형성하는광학거울, 빔덤프및 빔익스팬더중 어느하나이상을포함하는광학부재; 및상기전극필름을상기스캐너의초점위치에서지지하는지지부;를포함하여구성되는것을특징으로한다.

4. 发明授权

KR102188565B1 디스플레이 패널 검사장치 有权
公开(公告)号：KR102188565B1
公开(公告)日：2020-12-09
申请号：KR20190117575
申请日：2019-09-24
申请人： DE&T CO LTD
发明人： CHOI MOON GI , KIM SUK HAN , HAN SEUNG WOO , YOON GYEONG MIN , CHEON YUN KWANG
IPC分类号： G01R31/28 , G01R1/067 , G01R3/00 , G09G3/00
摘要： 본발명은베이스; 상기베이스의상부에구비되고, 디스플레이패널이안착되며, 상기디스플레이패널을상기베이스에서이송시키는스테이지유닛; 상기스테이지유닛의이동경로상부에구비되고, 상기디스플레이패널의불량을검출하는제 1 프로브유닛; 상기제 1 프로브유닛뒤에이어서구비되고, 상기디스플레이패널의불량을검출하는제 2 프로브유닛; 상기스테이지유닛과상기제 1 프로브유닛사이에구비되어, 상기스테이지유닛이이송되어올 때상기디스플레이패널을인식하여상기디스플레이패널과상기제 1 프로브유닛과의위치를정렬하기위한카메라유닛; 상기제 2 프로브유닛뒤에구비되어, 상기제 1, 2 프로브유닛에공급할프로브가적재된카세트유닛; 및상기제 2 프로브유닛과상기카세트유닛사이에구비되어, 상기카세트유닛에적제된프로브를상기제 1, 2 프로브유닛으로이송시키는프로브교체유닛; 을포함하는디스플레이패널검사장치를제공한다. 본발명의디스플레이패널검사장치에의하면단일패널에다양한크기의셀을구성하여디스플레이패널을교체하지않고한번에테스트를수행할수 있는효과가있다. 또한프로브를교체할때, 로봇팔이적용되어프로브교체를신속하고정확하게할 수있는효과가있다. 따라서디스플레이패널의생산성및 수율이높아지는효과가발휘된다.

5. 发明授权

KR102188448B1 디스플레이 패널 테스트 장치 有权
公开(公告)号：KR102188448B1
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：KR20190112678
申请日：2019-09-11
申请人： DE&T CO LTD , WITHMEMS CO LTD
发明人： KYUNGHA LEE , DONG CHUN SHIN , KYUNG HO KIM , SEUNG GUN BACK , TAE SUN KIM
IPC分类号： G09G3/00 , G01R1/067 , G01R31/28
摘要： 본발명은디스플레이패널을테스트하는장치에있어서: 지그(21)에로딩된다수의패널을베이스(23)에서신호기(25)로연결하는본체(20); 상기베이스(23)에각 패널과대응하는프로브부(36)를갖추고, CPU(31)를기반으로입출력신호를중계하는메인보드(30); 및상기메인보드(30)에각 패널과대응하도록연결되고, 패널의오픈ㆍ쇼트를검사하는 OS검사모듈(40);을포함하여이루어지는것을특징으로한다. 이에따라, 양산현장의일련의공정으로다수의패널을테스트하는과정에서비정상접촉에의한에러가유발되어도정상화유도로공정의흐름을유지하여전반적인생력화의효율성을향상하는효과가있다.

6. 发明授权

KR102181983B1 레이저 노칭 장치 有权
公开(公告)号：KR102181983B1
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：KR20190099055
申请日：2019-08-13
申请人： DE&T CO LTD
发明人： KIM KAEU WAN , YUN KWANG CHEON , GUN WOO PARK , KIM KYUNG SOO , LIM SEUNG GYUN , SONG NAM LIM
IPC分类号： B23K26/142 , B23K26/38 , B23K37/047
摘要： 본발명은본 발명은전극필름를가공하기위한레이저노칭장치에관한것으로써, 프레임에설치된레이저발생부; 상기레이저발생부에서출력된레이저를상기프레임에서연직상방으로전달경로를형성하는레이저전달부; 상기레이저전달부에서전달받은레이저를전극필름에조사하는스캐너; 상기스캐너에서조사된레이저로전극필름의일부분이절삭되는가공부; 및상기프레임에설치되어상기가공부가상기스캐너의레이저조사위치에오도록지지하는지지부; 를포함하고, 상기가공부는상기전극필름을지지하면서상기전극필름의이송속도에맞추어회전하는드럼; 및상기레이저로전극필름의절삭이수행되되, 상기드럼의일측에구성되는제 1 타겟부및 상기드럼의타측에구성되는제 2 타겟부; 를포함하고상기제 1, 2 타겟부는상기드럼과별도의주기로회전하는레이저노칭장치를제공한다.

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