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1. 发明授权

KR101725243B1 증착장치 및 증착장치에 제품을 인입 및 인출하는 방법 有权
公开(公告)号：KR101725243B1
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：KR1020150097968
申请日：2015-07-09
申请人： 주식회사 셀코스
发明人： 백우성 , 이상문 , 김승태
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/677 , H01L21/205
摘要： 증착장치가개시된다. 개시된증착장치는캐리어가인입되는제1 로드락챔버모듈; 상기제1 로드락챔버모듈과선택적으로연통가능한프로세스챔버모듈; 및상기프로세스챔버모듈과선택적으로연통가능하며, 상기캐리어가인출되는제2 로드락챔버모듈;을포함하며, 상기제1 로드락챔버모듈또는상기제2 로드락챔버모듈은상기프로세스챔버모듈에인접하게연결될수록순차적으로높은진공도를갖는적어도 3 이상의챔버로이루어진다.

2. 发明公开

KR1020170006789A 증착장치 및 증착장치에 제품을 인입 및 인출하는 방법 有权
标题翻译：沉积装置和方法，用于引导和绘制与沉积装置相关的产品
公开(公告)号：KR1020170006789A
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：KR1020150097968
申请日：2015-07-09
申请人： 주식회사 셀코스
发明人： 백우성 , 이상문 , 김승태
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/677 , H01L21/205
摘要： 증착장치가개시된다. 개시된증착장치는캐리어가인입되는제1 로드락챔버모듈; 상기제1 로드락챔버모듈과선택적으로연통가능한프로세스챔버모듈; 및상기프로세스챔버모듈과선택적으로연통가능하며, 상기캐리어가인출되는제2 로드락챔버모듈;을포함하며, 상기제1 로드락챔버모듈또는상기제2 로드락챔버모듈은상기프로세스챔버모듈에인접하게연결될수록순차적으로높은진공도를갖는적어도 3 이상의챔버로이루어진다.

3. 发明公开

KR1020130037834A 하이브리드 스퍼터 캐소드 및 이를 이용한 저온 투명전도막 성막방법 无效
标题翻译：沉积膜的方法
公开(公告)号：KR1020130037834A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：KR1020110102310
申请日：2011-10-07
申请人： 주식회사 셀코스
发明人： 백우성 , 장창영
IPC分类号： C23C14/34 , C23C14/54 , H01J37/34
CPC分类号： C23C14/3407 , C23C14/3485 , C23C14/54 , H01J37/34
摘要： PURPOSE: A hybrid sputter cathode and a method for depositing a low-temperature and transparent conductive film using the same are provided to form a transparent electrode layer by minimizing plasma damage to a plastic board, a film, or a next generational organic device. CONSTITUTION: A hybrid sputter cathode comprises a ground shield of an insulating material. A high quality transparent conductivity oxide film is manufactured by mixing two kinds of power sources to the hybrid sputter cathode. The high quality transparent conductivity oxide film has the surface resistance of 200Ω/□ or lower, transmittance in a visual light area of 91%, the surface density of a thin film of 3nm or less.
摘要翻译：目的：提供混合溅射阴极和使用其的沉积低温和透明导电膜的方法，以通过使对塑料板，膜或下一代有机器件的等离子体损伤最小化来形成透明电极层。构成：混合溅射阴极包括绝缘材料的接地屏蔽。通过将两种电源混合到混合溅射阴极来制造高品质透明导电氧化物膜。高品质透明导电氧化膜的表面电阻为200Ω/□以下，视野区域的透光率为91％，薄膜的表面密度为3nm以下。

4. 发明授权

KR101082189B1 ＬＣＯＳ모듈에 구비되는 고투과도 ｉｎｄｅｘｍａｔｃｈｅｄ 산화물 투명 전도막 유리 有权
标题翻译：具有LOCOS的指数匹配的透明导电玻璃
公开(公告)号：KR101082189B1
公开(公告)日：2011-11-09
申请号：KR1020090023942
申请日：2009-03-20
申请人： 주식회사 셀코스
发明人： 백우성 , 장창영
IPC分类号： C03C17/23 , G02F1/1343
摘要： 본발명은 LCOS 디스플레이패널에서의전면윈도우에장착되어광원에서방출되는빛을투과시키고, 후면에장착된실리콘백프레인을통해전기적신호에의해재반사되어외부스크린에투사될때 3% 이하의반사율을가지며 96% 이상의투과율을가지는 LCOS모듈에구비되는고투과도 index matched 산화물투명전도막유리에관한것으로, LCOS 모듈에구비되는고투과도 index matched 산화물투명전도막유리에있어서, 유리기판; 상기유리기판상부에증착되는 index matched 코팅층; 및상기유리기판하부에증착되는산화물투명전도막코팅층을포함하여구비되는것을특징으로한다.

5. 发明授权

KR102075027B1 다크티탄 색상 도금방법 有权
公开(公告)号：KR102075027B1
公开(公告)日：2020-03-12
申请号：KR1020170148582
申请日：2017-11-09
申请人： 주식회사 셀코스
发明人： 백우성 , 이상문 , 장창영 , 변나은 , 정종국 , 이재호
IPC分类号： C23C14/00 , C23C14/34 , C23C14/14 , C23C14/10 , C23C14/58 , B05D5/08 , B05D3/06

6. 发明公开

KR1020160149408A 무기배향막 제조장치 有权
标题翻译：无机取向膜制造装置
公开(公告)号：KR1020160149408A
公开(公告)日：2016-12-28
申请号：KR1020150086311
申请日：2015-06-18
申请人： 주식회사 셀코스
发明人： 이상문 , 장동환 , 이재민 , 김정혁 , 김기림 , 이태양
IPC分类号： C23C14/34 , C23C14/04 , C23C14/54
摘要： 무기배향막제조장치가개시된다. 개시된무기배향막장치는내부에진공분위기가형성되는챔버; 피증착물이안착되는트레이를챔버의내부로인입하거나챔버의외부로인출하는이송부; 및챔버의내부에배치되며스퍼터입자를피증착물의일면에미리설정한각도로분출하는스퍼터건;을포함하는것을특징으로한다.

7. 发明公开

KR1020100105098A ＬＣＯＳ모듈에 구비되는 고투과도 ｉｎｄｅｘｍａｔｃｈｅｄ 산화물 투명 전도막 유리 有权
标题翻译：指数匹配氧化透明导电玻璃具有LOCOS
公开(公告)号：KR1020100105098A
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：KR1020090023942
申请日：2009-03-20
申请人： 주식회사 셀코스
发明人： 백우성 , 장창영
IPC分类号： C03C17/23 , G02F1/1343
CPC分类号： C03C17/3668 , C03C17/23 , C03C2217/948 , C03C2218/154 , G02F1/1343
摘要： PURPOSE: An index matched oxide transparent conductive film glass which is included in a LCOS module is provided to transmit light emitted from a light source by being mounted on a front window of a LCOS display panel and obtain reflectivity of less than 3% and transmittance of more than 96% when the light is projected on an external screen. CONSTITUTION: An index matched oxide transparent conductive film glass which is included in a LCOS module comprises a glass substrate(230), an index matched coating layer(350) which is deposited on the upper part of the glass substrate, and an oxide transparent conductive film coating layer(240) which is deposited on the lower part of the glass substrate. The reflectivity of the index matched coating layer is less than 3%. The transmittance of the oxide transparent conductive film coating layer is 98% at a visible light range(400-700nm).
摘要翻译：目的：提供一种包含在LCOS模块中的折射率匹配氧化物透明导电膜玻璃，通过安装在LCOS显示面板的前窗上透射从光源发射的光，并获得小于3％的反射率和透射率当外部屏幕上投射光时，超过96％。构成：包括在LCOS模块中的折射率匹配氧化物透明导电膜玻璃包括玻璃基板（230），沉积在玻璃基板的上部的折射率匹配涂层（350）和氧化物透明导电薄膜涂层（240），其沉积在玻璃基板的下部。折射率匹配涂层的反射率小于3％。氧化物透明导电膜被覆层的透过率在可见光范围（400〜700nm）为98％。

8. 发明公开

KR1020100105097A ＲＴＳ를 이용한 ＣＩＧＳ 박막형 태양전지 제조장치 有权
标题翻译：使用RTS制造CIGS SORLA电池电池的装置
公开(公告)号：KR1020100105097A
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：KR1020090023941
申请日：2009-03-20
申请人： 주식회사 셀코스
发明人： 백우성 , 장창영
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/0445
CPC分类号： Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/18 , H01L31/0445
摘要： PURPOSE: By using the heater locating in the opposite side after evaporating the selenium by using the proximity distance sublimation method, CIGS thin film type production of solar battery apparatus using R T S heats substrate with the high temperature. CONSTITUTION: A board heating heater(120) locates inside the vacuum chamber(110). The board heating heater is heated by the power provided from outside. In the state where the substrate(130) is separated as the board heating heater and prescribed distance, it is settled in the settling portion. The proximity distance evaporation source(140) is included in the substrate backside.
摘要翻译：目的：通过使用邻近距离升华方法使蒸发硒后的加热器位于相对侧，CIGS薄膜型生产使用R T S的太阳能电池设备以高温加热基板。构成：板加热加热器（120）位于真空室（110）内。板式加热器由外部提供的电力加热。在基板（130）作为基板加热器分离并且具有规定距离的状态下，将其沉降在沉降部分中。接近距离蒸发源（140）包括在衬底背面。

9. 发明授权

KR102083573B1 셀 갭 모니터링 합착장치 有权
公开(公告)号：KR102083573B1
公开(公告)日：2020-03-02
申请号：KR1020180144981
申请日：2018-11-22
申请人： 주식회사 셀코스
发明人： 백우성 , 이상문 , 송남철 , 김일연 , 손기현 , 유동현 , 이용현
IPC分类号： G02F1/13 , G02F1/1339

10. 发明授权

KR102018336B1 전도성 적층필름 및 이의 제조방법 有权
公开(公告)号：KR102018336B1
公开(公告)日：2019-09-05
申请号：KR1020170067911
申请日：2017-05-31
申请人： 주식회사 셀코스
发明人： 백우성 , 장창영 , 정종국 , 임미은 , 김기림 , 최대수 , 이춘식 , 박병철
IPC分类号： B32B7/02 , B32B18/00 , B32B9/04 , H01B5/14

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