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1. 发明授权

KR102252302B1 고순도 반도체용 승화장치 有权
公开(公告)号：KR102252302B1
公开(公告)日：2021-05-17
申请号：KR1020190115989
申请日：2019-09-20
申请人： 주식회사 레이크머티리얼즈
发明人： 박주호 , 김철기 , 정성훈 , 이경은 , 임명용 , 백성윤 , 나용환 , 김진동
IPC分类号： H01L21/67 , B01D7/00 , H01L51/56 , F16K51/00
摘要： 본발명은고순도반도체용승화장치가개시된다. 본발명의승화장치는승화된금속화합물을응축하는응축기, 금속화합물을저장하는챔버및 응축기와챔버의끝단에각각설치되고, 금속화합물의응축이완료되면챔버와응축기가분리되도록지원하는밸브를포함한다.

2. 发明授权

KR101811137B1 브러쉬 구조를 가지는 고분자 화합물의 제조방법 有权
标题翻译：生产具有刷状结构的聚合物复合物的方法
公开(公告)号：KR101811137B1
公开(公告)日：2017-12-22
申请号：KR1020160095596
申请日：2016-07-27
申请人： 롯데케미칼 주식회사 , 주식회사 레이크머티리얼즈
发明人： 채병훈 , 정성원 , 신은혜 , 임진묵 , 김진동 , 박성훈 , 김현준
IPC分类号： C08F2/00 , C08F2/44 , C08F12/06 , C08F12/36 , C08F36/00 , C08F4/659 , C08F4/6592 , C08F4/64 , C08F4/48
CPC分类号： C08F2/001 , C08F2/44 , C08F4/482 , C08F4/64 , C08F4/65908 , C08F4/65912 , C08F4/6592 , C08F12/06 , C08F12/36 , C08F36/00
摘要： 브러쉬구조를가지는고분자화합물의제조방법에있어, 분자레벨에서고분자를설계함으로써고분자의분자량, 화학적조성, 물리적특성, 구조를제어할수 있으며, 이에따라, 각각의소재가갖추어야할 특성을사용자의요구에맞게설계가가능한브러쉬구조를가지는고분자화합물의제조방법이개시된다. 본발명은 (a) 에틸렌, 올레핀및 디엔에서선택된 1종이상의모노머를반응기에투입하는단계; (b) 상기반응기에제1촉매를투입하여주쇄중합을수행하는단계; (c) 반응조건을달리한반응기에제1촉매를추가로투입하여측쇄중합을수행하는단계; 및 (d) 측쇄중합이완료된이후, 제2촉매를투입하여미 반응된올레핀을중합하여회수하는단계를포함하는브러쉬구조를가지는고분자화합물의제조방법을제공한다.
摘要翻译：在具有刷子结构的高分子化合物的制造方法中，通过在分子水平设计聚合物，能够控制聚合物的分子量，化学组成，物性，结构，因此，公开了一种用于生产具有可设计的刷子结构的聚合物化合物的方法。本发明涉及生产乙烯的方法，其包括：（a）将一种或多种选自乙烯，烯烃和二烯的单体引入反应器中; （b）将第一催化剂引入反应器以进行主链聚合; （c）通过将第一催化剂另外引入具有不同反应条件的反应器中来进行侧链聚合; 并且（d）在侧链聚合完成之后，引入第二催化剂以收集和回收未反应的烯烃。

3. 发明公开

KR1020170005362A 유기발광소자 제조방법 有权
标题翻译：有机发光装置的制造方法
公开(公告)号：KR1020170005362A
公开(公告)日：2017-01-12
申请号：KR1020160068005
申请日：2016-06-01
申请人： 주식회사 레이크머티리얼즈
发明人： 박치권 , 나용환 , 임명용 , 정성문 , 조익행 , 김진동
IPC分类号： H01L51/52 , H01L21/312 , H01L21/02 , H01L21/314 , H01L51/56
CPC分类号： H01L21/02 , H01L51/52 , H01L51/56
摘要： 본발명은유기발광소자제조방법에관한것으로, 기판을준비하는단계, 상기기판위에애노드를증착하는단계, 상기애노드위에유기물형성을위한패턴을형성하는단계, 상기패턴위에유기물및 캐소드를증착하는단계및 상기유기물및 캐소드위에실록산, 실라잔및 실란중 적어도하나를포함하여형성되는봉지막을증착하는단계를포함하는유기발광소자제조방법을제공한다.
摘要翻译：本发明涉及一种制造有机发光二极管的方法，并提供一种制造有机发光二极管的方法，包括以下步骤：制备衬底; 在衬底上沉积阳极; 形成在阳极上形成有机物的图案; 在图案上沉积有机物和阴极; 以及将由硅氧烷，硅氮烷和硅烷中的至少一种制成的封装膜沉积在有机物和阴极上。

4. 发明授权

KR102027179B1 유기금속 화합물 공급 장치 有权
公开(公告)号：KR102027179B1
公开(公告)日：2019-10-02
申请号：KR1020180052344
申请日：2018-05-08
申请人： 주식회사 레이크머티리얼즈
发明人： 나용환 , 조익행 , 오영우 , 김진동
IPC分类号： C23C16/448 , C30B25/14

5. 发明授权

KR101697660B1 방향족 전구체를 이용한 탄소 박막 및 이의 제조 방법 有权
标题翻译：使用芳族前体的碳薄膜及其制造方法
公开(公告)号：KR101697660B1
公开(公告)日：2017-01-19
申请号：KR1020150083072
申请日：2015-06-12
申请人： 주식회사 레이크머티리얼즈
发明人： 김진동 , 조익행 , 박정현 , 박윤식 , 박치권 , 나용환
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/314 , C07D213/02 , C07D207/30
摘要： 본발명은반도체용하드마스크로이용되는탄소박막전구체및 탄소박막의제조방법에관한것으로, 반도체용하드마스크로이용하기위해단차피복성을향상시키고우수한에치선택비를갖는탄소박막을제공하기위한것이다. 본발명은방향족화합물의구조를가지는탄소박막전구체가기판표면에원자층증착(ALD, Atomic Layer Deposition)법으로증착되어탄소박막을형성할수 있는탄소박막증착용방향족전구체및 그를이용한탄소박막제조방법을제공한다.

6. 发明授权

KR101453840B1 충전 플레이트를 구비하는 유기금속 화합물 공급 장치 有权
标题翻译：有机金属化合物供料装置
公开(公告)号：KR101453840B1
公开(公告)日：2014-10-24
申请号：KR1020130013340
申请日：2013-02-06
申请人： 주식회사 레이크머티리얼즈
发明人： 오영우 , 나용환 , 양일두 , 하승원 , 박상진 , 조익행 , 임진묵 , 김진동
IPC分类号： H01L21/205
摘要： 본 발명은 유기금속 화합물 공급 장치에 관한 것이다. 본 발명의 유기금속 화합물 공급 장치는 용기 내부에 횡방향으로 배치되는 충전 플레이트를 포함한다. 충전 플레이트는 고체의 유기금속 화합물이 충전되도록 종방향으로 형성된 다수의 충전 구멍을 구비한다. 다수의 충전 구멍 안에 유기금속 화합물을 충전하면 채널링 효과의 발생 가능성이 최소화되고 종래의 유기금속 화합물 공급 장치 수십 개를 병렬로 연결한 것과 같은 효과를 발휘한다. 더욱이, 본 발명의 유기금속 화합물 공급 장치는 충전 플레이트의 상단에 삽입되는 분산 필터를 포함한다. 분산 필터는 캐리어 가스를 균일하게 분산시켜 유기금속 화합물을 균일한 농도로 캐리어 가스에 함유시킬 수 있다.

7. 发明公开

KR1020140104509A 충전 플레이트를 구비하는 유기금속 화합물 공급 장치 有权
标题翻译：具有填充板的有机化合物供应装置
公开(公告)号：KR1020140104509A
公开(公告)日：2014-08-29
申请号：KR1020130013340
申请日：2013-02-06
申请人： 주식회사 레이크머티리얼즈
发明人： 오영우 , 나용환 , 양일두 , 하승원 , 박상진 , 조익행 , 임진묵 , 김진동
IPC分类号： H01L21/205
摘要： The present invention relates to an organometallic compound supply apparatus. The organometallic compound supply apparatus of the present invention includes a filling plate which is vertically arranged in a chamber. The filling plate comprises multiple filling holes which are longitudinally formed to be filled with an organometallic compound of a solid state. When the filling holes are filled with the organometallic compound, the generation of a channeling effect is minimized, and an effect, equal to the parallel connection of dozens of existing organometallic compounds supply apparatus, is obtained. Moreover, the organometallic compound supply apparatus of the present invention includes a dispersion filter which is inserted into the upper part of the filling plate. The dispersion filter uniformly disperses a carrier gas to form a carrier gas which contains organometallic compounds of uniform concentration.
摘要翻译：本发明涉及有机金属化合物供给装置。本发明的有机金属化合物供给装置包括垂直配置在室内的填充板。填充板包括多个填充孔，其纵向形成为填充有固体状态的有机金属化合物。当填充有有机金属化合物的填充孔时，产生沟道效应被最小化，并且得到等于数十个现有的有机金属化合物供给装置的平行连接的效果。此外，本发明的有机金属化合物供给装置包括插入填充板的上部的分散过滤器。分散过滤器均匀分散载气，形成含有均匀浓度的有机金属化合物的载气。

8. 发明公开

KR1020140002849A 유기금속 화합물 공급 장치 有权
标题翻译：提供有机化合物的装置
公开(公告)号：KR1020140002849A
公开(公告)日：2014-01-09
申请号：KR1020120068784
申请日：2012-06-26
申请人： 주식회사 레이크머티리얼즈
发明人： 김진동 , 임진묵 , 오영우 , 박상진 , 나용환 , 하승원 , 양일두 , 조익행
IPC分类号： H01L51/56 , H01L21/67 , C23C16/455
CPC分类号： H01L51/56 , C23C16/455 , H01L21/67011
摘要： The present invention relates to an apparatus for supplying an organometallic compound and to supply and generate a carrier gas containing an organometallic compound having stable concentration and vapor pressure by supplying the carrier gas to a filling container filled with a solid organometallic compound at room temperature. A container for supplying an organometallic compound includes a container body and at least one partition wall. The container body has a filling space for being filled with the solid organometallic compound and forms a connection path where a carrier gas containing an organometallic compound and penetrating a bottom surface. The at least one partition wall is formed in the filling space of the container body to separate the filling space. The separated filling space part is connected to each other and forms a flow path where the carrier gas containing an organometallic compound moves.
摘要翻译：本发明涉及一种供给有机金属化合物的装置，并且通过在室温下将载气供给到填充有固体有机金属化合物的填充容器，从而供给并产生含有稳定浓度和蒸气压的有机金属化合物的载气。用于供应有机金属化合物的容器包括容器主体和至少一个分隔壁。容器主体具有用于填充固体有机金属化合物的填充空间，并且形成连接路径，其中含有有机金属化合物并且穿透底面的载气。至少一个分隔壁形成在容器主体的填充空间中以分离填充空间。分离的填充空间部分彼此连接并形成包含有机金属化合物的载气移动的流动路径。

9. 发明授权

KR102261084B1 유기 금속 박막 전구체 및 이의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102261084B1
公开(公告)日：2021-06-07
申请号：KR1020190074418
申请日：2019-06-21
申请人： 주식회사 레이크머티리얼즈
发明人： 정성훈 , 임명용 , 백성윤 , 나용환 , 박치권 , 조익행 , 송창호 , 김진동
IPC分类号： C07F5/00

10. 发明授权

KR102261083B1 유기 금속 박막 전구체를 이용한 박막 형성 방법 有权
公开(公告)号：KR102261083B1
公开(公告)日：2021-06-07
申请号：KR1020190074419
申请日：2019-06-21
申请人： 주식회사 레이크머티리얼즈
发明人： 정성훈 , 임명용 , 백성윤 , 나용환 , 박치권 , 박진성 , 조익행 , 송창호 , 김진동
IPC分类号： C07F5/00

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