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    • 2. 发明授权
    • 회전 코팅을 이용한 다층 초박막의 제조방법
    • 使用旋涂的多层超薄膜的制造方法
    • KR100347763B1
    • 2002-08-09
    • KR1020000025647
    • 2000-05-13
    • 조진한차국헌홍종달
    • 조진한차국헌홍종달
    • B32B37/00
    • 본 발명은 다층 초박막의 제조방법에 관한 것으로, 짧은 시간동안 양질의 다층 박막을 제조할 수 있도록 한 회전코팅을 이용한 다층 초박막의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있으며, 본 발명은 양전하 또는 음전하가 도입되거나 수소결합이 가능한 물질이 도입된 기판을 고속회전이 가능한 회전기 위에 재치한 후, 상기 기판 상단에 기판에 도입된 물질과 상호인력에 의하여 결합이 가능한 물질(A)을 도입한 다음 500rpm 내지 15000rpm의 속도로 4초 내지 60초동안 회전시켜 1차코팅하고, 상기 1차코팅이 완료된 다음 세척용매를 기판 상단 중앙부에 떨어뜨려 500rpm 에서 15000rpm 범위의 속도로 4초 내지 60초동안 회전시키는 세척하는 과정을 1내지 3회 반복하여 기판표면과 약하게 결합되어 있는 물질(A)을 제거하여 박막(A)을 제조하고, 상기 기판에 코팅된 물질( A)과 상호인력에 의하여 결합이 가능한 서로 다른 성질을 갖는 물질(B)을 기판 상단에 도입하여 1차 코팅과 동일한 조건으로 2차코팅한 다음, 상기 2차코팅이 완료된 다음 상기한 세척과정을 동일한 조건에서 1내지 3회 반복하여 기판표면과 약하게 결합되어 있는 물질(B)을 제거하여 박막(B)을 제조하고, 상기한 박막(A,B) 제조과정을 동일한 조건하에서 여러번 반복하는 것에 의한 회전코팅을 이용한 다층 초박막의 제조방법을 제공함으로써 상기한 목적을 달성할 수 있다.
    • 3. 实用新型
    • 수도꼭지의 토수관 결합 장치
    • 水龙头的牙管连接装置
    • KR2019960031997U
    • 1996-10-24
    • KR2019950004297
    • 1995-03-13
    • 조진한
    • 조진한
    • F16L33/24
    • 본고안은토수관을간단하고용이하게체결고정시켜줄수있도록함과아울러상기연결부위로부터누수가발생되지않도록한 수도꼭지의토수관결합장치에관한것이다. 이러한본 고안은몸체의저면중앙에구성된연결부(400)와상기연결부와연결이되어이를중심으로하여좌, 우로회동되면서물이토수되는토수관(500)으로갖추어진수도꼭지에있어서, 토수관이연결부에간단하고도견고하게체결될수 있도록함과동시에좌,우로회전이가능하도록있도록함은물론, 토수관의후단부가연결부와결합된상태에서토수관전방부의중량에의해전방으로기울어짐이없어토수관과연결부의사이에구성된패킹의눌림이없어누수를방지하여줄수있도록연결부의외주면과토수관의내주연에이들이나선체결될 수있도록하는나선주(600), (610)를구성하여되는것을특징으로한다.
    • 5. 发明公开
    • 회전 코팅을 이용한 단층/다층 초박막의 제조방법
    • 使用旋转涂布方法制作单层/多层超薄膜的方法
    • KR1020030007024A
    • 2003-01-23
    • KR1020020038627
    • 2002-07-04
    • 조진한차국헌홍종달
    • 조진한차국헌홍종달
    • H01L21/20
    • PURPOSE: A method for fabricating a monolayer/multilayer ultra-thin film using a spin coating method is provided to improve productivity of a multiple-layered thin film by performing a spin coating process. CONSTITUTION: A substrate is loaded on a spinner after a preprocessing procedure is performed by inducing positive charges, negative charges, and hydrogen bond material to the substrate. The first coating process is performed by rotating the substrate after the first bonding material bonded with the induced material is induced to the substrate. The cleaning process is performed to form the first thin film by removing the bonding material. The second bonding material is induced to the substrate. The second coating process is performed. The cleaning process is performed to remove the second material and fabricate the second thin film. The above processes are repeatedly performed under the same condition.
    • 目的:提供使用旋涂法制造单层/多层超薄膜的方法,以通过进行旋涂工艺提高多层薄膜的生产率。 构成:在通过向衬底中诱导正电荷,负电荷和氢键材料进行预处理程序之后,将衬底装载在旋转器上。 在将与感应材料接合的第一接合材料感应到衬底之后,通过旋转衬底来执行第一涂覆工艺。 通过去除接合材料来进行清洁处理以形成第一薄膜。 第二接合材料被诱导到基底。 进行第二次涂布处理。 执行清洁处理以除去第二材料并制造第二薄膜。 上述过程在相同条件下重复进行。
    • 6. 发明公开
    • 회전 코팅을 이용한 다층 초박막의 제조방법
    • 通过旋转涂层制备多层超薄膜的方法
    • KR1020010104169A
    • 2001-11-24
    • KR1020000025647
    • 2000-05-13
    • 조진한차국헌홍종달
    • 조진한차국헌홍종달
    • B32B37/00
    • B05D1/005B05D1/02B05D1/18B05D3/12
    • 본 발명은 다층 초박막의 제조방법에 관한 것으로, 짧은 시간동안 양질의 다층 박막을 제조할 수 있도록 한 회전코팅을 이용한 다층 초박막의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있으며, 본 발명은 양전하 또는 음전하가 도입되거나 수소결합이 가능한 물질이 도입된 기판을 고속회전이 가능한 회전기 위에 재치한 후, 상기 기판 상단에 기판에 도입된 물질과 상호인력에 의하여 결합이 가능한 물질(A)을 도입한 다음 500rpm 내지 15000rpm의 속도로 4초 내지 60초동안 회전시켜 1차코팅하고, 상기 1차코팅이 완료된 다음 세척용매를 기판 상단 중앙부에 떨어뜨려 500rpm 에서 15000rpm 범위의 속도로 4초 내지 60초동안 회전시키는 세척하는 과정을 1내지 3회 반복하여 기판표면과 약하게 결합되어 있는 물질(A)을 제거하여 박막(A)을 제조하고, 상기 기판에 코팅된 물질( A)과 상호인력에 의하여 결합이 가능한 서로 다른 성질을 갖는 물질(B)을 기판 상단에 도입하여 1차 코팅과 동일한 조건으로 2차코팅한 다음, 상기 2차코팅이 완료된 다음 상기한 세척과정을 동일한 조건에서 1내지 3회 반복하여 기판표면과 약하게 결합되어 있는 물질(B)을 제거하여 박막(B)을 제조하고, 상기한 박막(A,B) 제조과정을 동일한 조건하에서 여러번 반복하는 것에 의한 회전코팅을 이용한 다층 초박막의 제조방법을 제공함으로써 상기한 목적을 달성할 수 있다.