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热词
    • 1. 发明授权
    • 반도체 제조용 EFEM의 클리닝장치 및 클리닝방법
    • 清洁装置和EFEM方法
    • KR101375246B1
    • 2014-03-17
    • KR1020120063746
    • 2012-06-14
    • 조영만
    • 조영만
    • H01L21/02
    • 본 발명은 반도체 제조용 EFEM의 클리닝장치 및 클리닝방법에 관한 것으로, EFEM 내부에서 로드락챔버 등의 오염원으로부터 발생하는 먼지를 적극적으로 대전한 후 정전기력으로 집진하는 방식에 의해 웨이퍼 및 내부 부품들이 오염 또는 재오염되는 문제를 방지할 수 있도록 한 것이다.
      이러한 본 발명은 클리닝장치의 경우, EFEM 상부에 설치되고 외부 이송가스를 흡입하여 EFEM 내부로 공급하는 흡입팬과; 상기 EFEM 상부에 설치되어 상기 흡입팬에 의해 흡입되는 이송가스로부터 오염물질을 필터링하는 필터와; 상기 EFEM 내부에 설치되어 상기 필터를 통과하여 이동하는 이송가스를 통과시키면서 상기 이송가스를 따라 함께 이동하는 EFEM 내부의 먼지를 대전하여 극성을 띠도록 유도하는 대전 플레이트와; 상기 대전 플레이트와 이격된 위치에 설치되고 상기 대전된 먼지와 반대 극성을 띠면서 상기 대전된 먼지를 끌어당겨 집진하는 집진 플레이트를 포함하여 구성된다.
    • 2. 发明授权
    • 반도체 제조장비의 파티클 제거용 포터블 핸드 타입 클리닝장치
    • 便携式手持式收集器用于半导体生产
    • KR101153328B1
    • 2012-06-07
    • KR1020110012769
    • 2011-02-14
    • 조영만
    • 조영만
    • H01L21/302
    • H01L21/67046
    • PURPOSE: A portable hand type cleaning apparatus for eliminating particles of a semiconductor manufacturing apparatus is provided to effectively eliminate the particles by including dust collection and adsorption functions using electrostatic force and vacuum pressure. CONSTITUTION: A main body casing(110) comprises first to fourth plates(111-114). A connection hole(130a,130b) is formed on the upper part of the main body casing by being detachably connected to an external vacuum pump. A handle(140) is installed on the upper part of the main body casing for transporting the main body casing. A pair of static electricity generators is installed on upper and lower inner sides of the main body casing by being separated from each other. The pair of static electricity generators collects particles by creating static electricity.
    • 目的:提供一种用于消除半导体制造装置的颗粒的便携式手持式清洁装置,通过使用静电力和真空压力包括灰尘收集和吸附功能来有效地消除颗粒。 构成:主体外壳(110)包括第一至第四板(111-114)。 通过可拆卸地连接到外部真空泵,在主体壳体的上部形成连接孔(130a,130b)。 手柄(140)安装在主体外壳的上部,用于输送主体外壳。 一对静电发电机通过彼此分离地安装在主体外壳的上下侧。 一对静电发电机通过产生静电来收集颗粒。
    • 3. 发明公开
    • 정전기 제거기능을 갖는 질소가스 분사장치
    • 氮气喷射装置与静态电力的移除功能
    • KR1020110040068A
    • 2011-04-20
    • KR1020090097196
    • 2009-10-13
    • 이승룡조영만
    • 이승룡조영만
    • H01L21/02H01L21/302
    • H01L21/67034B05B1/005F16L55/07H01L21/67098
    • PURPOSE: A nitrogen gas injection apparatus with a removal function of static electricity is provided to prevent the accumulation of a by-production in a pipe line due to static electricity by neutralizing the static electricity inside the pipe line. CONSTITUTION: A connection pipe line(120) is connected to a pipe line transferring by-product gas in reaction. An injection nozzle(110) supplies nitrogen into the connection pipe line. A nitrogen supply line(161) is connected to the injection nozzle for supplying nitrogen. A gas generator(170) generates an ionized gas to neutralize the static electricity. A heater(130) heats the nitrogen gas applied to the injection nozzle.
    • 目的:提供具有静电去除功能的氮气注入装置,以防止管道内的静电中和,由于静电而在管路中产生副产物的积聚。 构成:连接管线(120)连接到反应中转移副产物气体的管线。 注射喷嘴(110)将氮气供应到连接管线中。 氮供应管线(161)连接到用于供应氮气的喷嘴。 气体发生器(170)产生电离气体以中和静电。 加热器(130)加热施加到喷嘴的氮气。
    • 4. 发明授权
    • 태양광 인버터용 자동위상 변환 및 보호 회로
    • 太阳能逆变器自动调相及其保护电路
    • KR100795934B1
    • 2008-01-22
    • KR1020050036222
    • 2005-04-29
    • 최대섭조영만
    • 최대섭조영만이귀복
    • H02M1/32H02M7/48
    • 본 발명에 따른 태양광 인버터용 자동위상 변환 및 보호 회로는 상기 상전에서 입력되는 교류전원의 위상을 검출하는 상전 위상 검출부; 연산증폭기 및 채터링을 방지하는 히스테리시스(hysteresis)용 고저항으로 이루어져 상기 검출된 신호를 기준으로 위상동기신호를 출력하는 위상동기신호 출력부; 상기 위상동기신호 출력부의 영점 오동작을 방지하기 위하여 상기 연산증폭기의 반전입력단자에 형성된 오프셋회로부; 상기 위상동기신호의 출력을 안정화하는 출력강화부로 이루어지는 상전 위상 검출 및 변조회로를 포함하는 것을 특징으로 한다.
      그리고, 본 발명에 따른 태양광 인버터용 자동위상 변환 및 보호 회로는 발전된 전류량을 측정하는 변류기; 상기 전류량을 전압으로 변환하는 검출기; 상기 검출된 전압을 필터링하는 저역통과필터(LPF); 상기 필터링된 전압이 기 설정된 기준 전압보다 높으면 로우(Low) 신호를 발생하는 제 1비교기; 발전된 전압이 기 설정된 기준 전압보다 낮으면 로우 신호를 발생하는 제 2비교기; 상기 제 1비교기와 제 2비교기의 출력값이 어느 하나라도 로우 신호가 발생하면 차단 스위치를 동작시키는 제 3비교기; 상기 차단 스위치가 동작되었을 때 복구하는 리셋 스위치로 이루어진 과전류 및 저전압 차단회로를 더 포함하여 이루어진다.
      상전, 위상검출, 위상변조, 보호회로
    • 5. 发明公开
    • 당구용 큐 리모델링장치 및 그 리모델링방법
    • 用于BILLIARDS和重新设计其他软件的CUE STIC的重新装置
    • KR1020060096655A
    • 2006-09-13
    • KR1020050017335
    • 2005-03-02
    • 조영만
    • 조영만
    • A63D15/08
    • A63D15/14
    • 당구용 큐의 오염된 부분을 쉽고 빠르게 제거하는 것이 가능하도록, 회전력을 발생시키는 모터와, 모터의 작동을 온/오프시키기 위한 전원스위치와, 모터의 축에 연결고정되고 상부큐의 수나사부와 결합되는 암나사부가 형성되는 결합구를 포함하여 이루어지는 당구용 큐 리모델링장치를 제공한다.
      그리고 회전력을 발생시키는 모터와 모터의 축에 연결고정되고 상부큐의 수나사와 결합시키기 위한 암나사부가 형성되는 결합구와 결합구에 연결고정되고 하부큐를 내면에 고정지지시키기 위한 지지구와 상부큐의 오염된 부분의 제거를 위한 연마구와 오염된 부분의 제거가 이루어짐에 따라 발생하는 이물질을 흡입하는 흡입기로 이루어지는 당구용 큐 리모델링장치를 준비하는 장치준비단계와, 지지구의 내면에 상부큐와 결합된 하부큐의 암나사부 반대쪽을 삽입하여 고정지지시키는 작동준비단계와, 상부큐의 외면 일부를 연마구로 감싸고 흡입기 및 모터를 작동시키는 작동단계를 포함하여 이루어지는 당구용 큐 리모델링방법을 제공한다.
      당구, 큐, 오염, 탭, 회전, 연마, 사포, 코팅, 리모델링
    • 6. 发明公开
    • 이동식정류장치
    • 移动宝贝
    • KR1020060006745A
    • 2006-01-19
    • KR1020050118685
    • 2005-12-07
    • 조영만
    • 조영만
    • B01D21/02
    • B01D21/0072B01D21/0042
    • 본 발명은 이동식정류장치에 관한 것으로 상하수도 시설에서 일반적으로 이용되고 있는 장방형침전지는 바닥과 양 측면 구조물과 대기 쪽으로 노출되어 있는 자유수면으로 이루어진 전형적인 개수로 형태로서 침전지 내 수류 흐름이 구조물과 맞닿아 있는 3면의 마찰 저항에 의해 바닥과 양 측면 부분의 유속이 감소되어 침전지 표층 중앙부분으로 수류가 빨라지는 표층류 발생이 필연적이다. 또한 유입수 탁질과 수온 차에 의한 밀도류 발생과 단락류 및 사구간 등 많은 수류 불균등 요인이 발생하게 되고 이와 같은 수류 불균일에 의해 침전지 플럭 침강이 방해를 받게 되어 침전 효율을 저하되게 된다. 이동식정류장치는 유연하고 가벼운 섬유 또는 비닐, 플라스틱과 같은 재질의 정류판이 침전지 단면에 걸쳐 수류 흐름과 수직 방향으로 펼쳐진 채로 전단에서 후단으로 수류의 이론적 평균 유속과 같은 속도로 동력장치에 의해 제어되어 수류 흐름과 같이 이동하면서 유속이 빠른 표층 중앙 부분 흐름은 정류판(천)에 부딪쳐 유속이 느린 양측면과 바닥쪽으로 분산되며 밀도류가 발생되는 경우에도 밀도류가 정류판에 부딪쳐 위쪽과 좌우로 흐름을 분산시키면서 자연스럽게 사구간의 흐름을 유도하여 전체적으로 침전지의 전단면에 균등한 수류 흐름을 유도하는 이동식정류장치이다.
      침전지(1), 정류판(2), 동력모터(7), 동력전달벨트,체인(4),정류판 모터(6, 10)
    • 7. 发明公开
    • 전기응집반응기
    • 电动反应器
    • KR1020050094375A
    • 2005-09-27
    • KR1020050082029
    • 2005-09-05
    • 조영만
    • 조영만
    • C02F1/463C02F1/66
    • C02F1/463C02F1/66C02F2201/46135C02F2201/46185C02F2209/06
    • 본 발명은 전기응집반응기에 관한 것으로 양극과 음극의 원통형 전극을 구동모터로 회전시켜 전극 표면에 맞닿아 있는 세척포에 의해 연속적으로 오염물질과 기포 등을 제거할 수 있으며 동시에 주기적으로 반응기 내부를 세정수로 세정하여 전극을 청결하게 유지시켜 전극의 저항 증가를 차단함으로써 전류 효율을 높였으며 양극 금속의 용출 의한 양극 소모에도 간격 유지탭과 전극 축 이동장치에 의해 음극과의 간극을 일정하게 유지시켜줌으로써 장기간 사용하여도 전류 효율을 일정하게 유지시킬 수 있고 또한 원수의 전도도와 전극의 저항값의 변화에 따라 전극에 공급되는 전류량을 연동 제어함으로써 원수의 조건 변화에도 반응의 안정성과 효율을 극대화하였을 뿐만 아니라 전극 사이 격막으로 양극수와 음극수를 적절히 분리 혼합함으로써 � ��리수의 용도에 따라 pH(수소이온농도) 조절이 가능한 전기응집반응기이다.
    • 8. 实用新型
    • 조끼식 안마기
    • 背心式按摩
    • KR200224830Y1
    • 2001-05-15
    • KR2020000037199
    • 2000-12-29
    • 조영만이재진
    • 조영만이재진
    • A61H23/02
    • 개시된 내용은 조끼식으로 간편하게 입고 사용자의 조작에 따라 어깨, 등, 허리부위를 선택적으로 안마하고 복부부위를 온열 자극할 수 있도록 한 조끼식 안마기에 관한 것이다.
      종래 셀프 안마기는 진동기 또는 자극기 수준이어서 사용자가 원하는 부위에 대고 선택적으로 안마하는 정도이므로 그 안마 효과가 떨어지게 되었던 바, 본 고안은 이러한 점을 감안하여 전면판과 배면판이 어깨끈을 통해 일체로 연결되고, 배면판 양측 허리로부터 인출된 조임띠와 전면판에는 각각 밸크로 매직테이프가 구비ㅚ어 조끼식으로 입을 수 있게 구성하되, 전면판의 복부부위 내부에는 전열선이 지그재그형상으로 배열되고 그 전후면에 알루미늄 시트가 덧대어진 히터부를 구성하고, 배면판에는 어깨, 등, 허리 3부분으로 양측에 2개씩 6개의 진동모터를 내장하며, 히터부 및 상기 각 진동모터를 컨트롤러인 리모콘과 연결하여서 된 것으로, 조끼식으로 간편하게 입고 스스로 안마할 수 있는 이점이 있으며, 사용자의 의지에 따라 신체 각부위� � 지루하지 않게 다이나믹한 리듬으로 균일하게 안마할 수 있음은 물론 자연스럽게 복부에 온열 뜸질 효과를 얻을 수 있어 신체기능을 활성화시킬 수 있고, 이러한 안마효과 및 온열 뜸질 효과에 비해 저가에 매입할 수 있고 휴대가 간편하여 장소에 구애받지 않고 안마를 받을 수 있는 이점이 있는 것이다.
    • 9. 实用新型
    • 음경용 바이오 세라믹 링
    • 生物陶瓷环为阴茎
    • KR2019970060678U
    • 1997-12-10
    • KR2019960010700
    • 1996-05-03
    • 조영만
    • 조영만
    • A61F5/41
    • 본고안은음경에삽입하여신진대사즉 혈액순환을촉진시켜성기능을강화시킬수 있도록하고습기등을배출시켜습진과같은질환을예방할수 있도록된 바이오세라믹(Bio Ceramic)링에관한것으로서, 삽입공(11)과요부(14)가요설된환링에있어서, 삽입공(11)의내경(R)의중심(O)과환링의외경(R)의중심(0)을편차(D)를유지시키게외경(R)의중심(0)이내경(R)의중심(0)보다하측에위치하도록하여상부(12)는얇게하부(13)는두텁게형성하고, 요부(14)의외측부의표면을만곡요면(15)으로형성하여서된 것인바, 바이오세라믹링(10)을바이오세라믹재로성형하여줌으로써바이오세라믹에서발생되는원적외선에의해음경의신진대사즉 신경로와혈류의활력을증진시켜성기능을강화시킬수 있고삽입공을환링과상측으로편심되게하여무게에따른압박감과발기시에요로가폐쇄되는현상에따른부작용을배제시킬수 있으며삽입공과환링을타원형상으로부피를줄임으로써심플한착용감을느낄수 있게된다.