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    • 1. 发明授权
      KR101272985B1 스퍼터링 장치 有权
    • 스퍼터링 장치
    • 喷雾装置
    • KR101272985B1
    • 2013-06-10
    • KR1020120075683
    • 2012-07-11
    • 정유엽
    • 정유엽
    • H01L21/203
    • PURPOSE: A sputtering device is provided to easily cool a magnet by circulating a cooling fluid to the inner part of a housing. CONSTITUTION: A pair of targets is fixed to both sides of a deposition target in a vacuum chamber(20). A pair of housings(10) is fixed to the outside of the deposition target. The housing consists of a through hole, a cover, and a backing plate. A motor(50) is inserted into the housing. A supporter(51) fixes and supports a motor.
    • 目的：提供溅射装置以通过将冷却流体循环到壳体的内部来容易地冷却磁体。 构成：在真空室（20）中将一对靶固定到沉积靶的两侧。 一对壳体（10）固定到沉积靶的外部。 外壳由通孔，盖和背板组成。 电机（50）插入壳体中。 支架（51）固定并支撑电动机。
    • 基本信息 添加关注 加入工作空间 PDF全文 PDF下载 全文下载 相似专利 双屏查看 权利要求书 说明书全文 Espacenet 法律信息 同族专利 专利引用
    • 2. 发明授权
      KR101599200B1 유체가속장치 有权
    • 유체가속장치
    • 流体加速装置
    • KR101599200B1
    • 2016-03-14
    • KR1020150149551
    • 2015-10-27
    • 정유엽
    • 정유엽
    • F15D1/00 , F15D1/02 , F15D1/14 , H01L21/02 , H01L51/50 , G02F1/13
    • F15D1/00 , F15D1/02 , F15D1/14 , G02F1/13 , H01L21/02 , H01L51/50
    • 본발명은예를들어진공펌프가설치된유체의유동배관에설치되어유체의유동방향으로기체를고압으로분사함으로써유체의유동을가속화시킴에따라관내클로깅현상을효율적으로저감시킬수 있으며드라이펌프후단에음압을형성시킴과동시에관내클로깅현상을저감시킴으로써드라이펌프의부하를감소시켜드라이펌프의사용수명을증대시킴과동시에핫퍼지질소가스의사용량을감소시켜전체적으로공정부하와공정비용을줄일수 있으면서, 드라이펌프후단의부하를줄여, 에너지(전력) 사용량을효과적으로줄일수 있는유체가속장치에관한것이다. 본발명에따른유체가속장치는, 유체유동배관상에결합되고중앙에는제 1 오리피스유로가관통형성되며내부일측에는상기제 1 오리피스유로를우회하는바이패스유로가형성되는본체와, 상기본체의하류측중앙에결합되고상기제 1 오리피스유로를개폐하는릴리즈밸브와, 일단은상기본체의바이패스유로에연결되고상기바이패스유로를통해기체가상기유체의유동방향으로고압분사되도록하는기체공급관을포함한다.
    • 本发明涉及流体流动加速装置。 例如，流体流动加速装置安装在设有真空泵的流体的流管中，并且在流体的流动方向上以高压喷射气体，以加速流体的流动，因此可以有效地 减少管道堵塞现象。 在干泵的后端形成负压，并且管道中的堵塞现象减少，以减少对干泵的负荷，从而增加了干泵的寿命。 热净化氮气的使用量减少，因此通常可以降低工艺负荷和加工成本。 干泵的后端的负荷减少，因此有可能有效地降低能量（功率）消耗。 根据本发明的流体流动加速装置包括：主体，其连接到流体流动管上，其中第一孔流动通道在其中心穿过，旁路流路绕过第一孔流路是 在其一侧形成; 释放阀，其联接到主体的下游中心并打开或关闭第一孔流动通道; 一个气体供给管，其一端连接到主体的旁通流路，并且被构造成通过旁通流路在流体的流动方向上以高压注入气体。
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