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    • 6. 发明公开
    • 리튬 함유 전이금속 산화물 타겟
    • 含锂过渡金属氧化物靶
    • KR1020170128579A
    • 2017-11-22
    • KR1020177030082
    • 2016-03-17
    • 유미코아
    • 신종-원
    • C23C14/34C01G53/00C04B35/01C04B35/626C04B35/63
    • C23C14/3414B22F3/04B23K1/002C01G51/42C01P2004/53H01J37/3491
    • 예를들면, LiMO(예를들면, LiCoO) 분말의형성또는공급; 분산및 분쇄(예를들면, 습식분쇄); 결합제도입; 과립을형성하는건조(예를들면, 분무건조); 과립의몰딩된형상으로의 CIP 가공; 및고밀화된소결된형상을형성하는탈지및 소결을위한가열사이클을포함하는 CIP 기반의공정을포함하는바이모드입도분포(예를들면, 중공실린더타겟바디)를갖는 LiM0(예를들면, LiCoO) 스퍼터링타겟의형성방법이기재된다. 제조된타겟바디는스퍼터링타겟어셈블리(예를들면, 백킹지지체에부착된복수의원통형타겟바디를갖는회전식스퍼터링타겟어셈블리)에포함되는것이적합하다. 본발명은 CIP 기반의공정하에형성된수득된타겟바디뿐만아니라타겟바디에제공되고부착공정동안유도가열기에의해가열되는추가된전도성랩 또는층의사용을통해공통백킹지지체에 LiMO(예를들면, LiCoO)의낮은전도성타겟바디(들)의부착을위한유도가열기기반의공정(예를들면, 금속땜납본딩)을포함한다.
    • 例如,LiMO(例如LiCoO)粉末的形成或供应; 分散和研磨(如湿磨); 粘合剂介绍; 干燥形成颗粒(例如喷雾干燥); 将颗粒CIP加工成模制形状; 和限值0(例如的LiCoO),具有由模式粒径分布(例如,中空圆柱体目标体),其包含CIP基于包括用于将所述脱脂和烧结在加热循环中的步骤以形成烧结gomilhwa形状 描述了形成溅射靶的方法。 所制造的靶体优选包含在溅射靶组件(例如,具有附接到背衬支撑件的多个圆柱形靶体的旋转溅射靶组件)中。 另外,本发明,对于的LiMO(例如,通过使用附加的导电性绕线或层的一个共同的背衬支持是由热目标体以及设置在目标体和诱导,以获得基于CIP的所述处理下所形成的附接过程中被加热, (E.G.,金属焊料结合)用于连接电极的低导电目标体。