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热词
    • 3. 发明公开
    • 루이스 염기성 용매를 이용한 금속 또는 금속산화물 박막의제조방법
    • 使用LEWIS基础溶剂的金属或金属氧化物薄膜的制备方法
    • KR1020080105214A
    • 2008-12-04
    • KR1020070052483
    • 2007-05-30
    • 엄성진
    • 엄성진
    • H01L21/203H01L21/205H01L21/02
    • C23C16/45553C23C16/448
    • A manufacturing method of a metal or metal oxide thin film is provided to deposit the metal or the metal oxide thin films stably without generating the pyrolysis and particles of precursor due to the unstable property of precursor. The manufacturing method of metal or the metal oxide thin films manufactures metal or the metal oxide thin films with the chemical vapor deposition(CVD) or the atomic layer deposition(ALD). The manufacturing method of metal or the metal oxide thin film uses the solution containing the metal organic precursor and the Lewis basic solvent which does not react as the thin film raw material. The Lewis basic solvent includes the C1-3 alkyl group substituent of the carbon dioxide, the ammonia, the C1-7 alkane, the benzene, the ethers, the pyrrolidone having pyrrolidone, or the C1-3 alkyl group.
    • 提供金属或金属氧化物薄膜的制造方法,由于前体的不稳定性,稳定地沉积金属或金属氧化物薄膜而不产生热解和前体颗粒。 金属或金属氧化物薄膜的制造方法通过化学气相沉积(CVD)或原子层沉积(ALD)制造金属或金属氧化物薄膜。 金属或金属氧化物薄膜的制造方法使用含有金属有机前体和不作为薄膜原料反应的路易斯碱性溶剂的溶液。 路易斯碱性溶剂包括二氧化碳的C 1-3烷基取代基,氨,C 1-7烷烃,苯,醚,具有吡咯烷酮的吡咯烷酮或C 1-3烷基。
    • 4. 发明授权
    • 차동제한장치용 마찰성능 시험기
    • 摩擦性能测试仪差分限制器
    • KR100628388B1
    • 2006-09-26
    • KR1020050025143
    • 2005-03-25
    • 양진승오창환엄성진김영관김태환임근태
    • 양진승엄성진김태환임근태김영관오창환
    • G01M13/02G01M17/00
    • 본 발명은 차동제한장치의 스프링 예압과 마찰판의 마찰 성능이 내구성과 제품의 성능에 미치는 영향을 쉽게 파악할 수 있도록 함과 아울러, 제품의 불량 여부를 쉽게 판단할 수 있도록 한 차동제한장치용 마찰성능 시험기에 관한 것으로, 그 구조는 프레임에 장착되고 인버터에 의해 회전속도 및 정,역방향 회전이 제어되는 구동모터와, 그 구동모터의 모터축과 치차 결합되고 복수의 감속기어들이 각각 치차 결합되어 구동모터의 회전 구동력을 감속하기 위한 감속기어부와, 그 프레임의 내부에 수용되고 입력축이 감속기어부의 감속기어들중 하나와 치차 결합되며 일측 샤프트가 프레임에 회전 가능하게 지지되고 타측 샤프트가 프레임에 고정되는 차동제한장치와, 그 타측 샤프트의 외주면에 마련되어 구동모터의 회전력에 의한 비틀림 변형율을 외부로 디스플레이하는 측정수단으로 구성된다.
      이에 따르면 본 발명은 차동제한장치의 각 부품들을 다른 소재로 변경하거나, 구조를 변경할 경우에 그에 따른 마찰성능을 용이하게 파악할 수 있을 뿐만 아니라, 제품의 내구성 시험이 가능하며 제품의 불량 여부를 식별하여 제품의 신뢰성을 향상시키는 등의 유용한 효과를 갖는다.
    • 对于框的本发明的摩擦性能试验机,在同一时间,限滑差速器,以容易地判断有缺陷的,如果产品装置,使其更容易理解的差动限制装置的该产品的耐用性和性能的摩擦板的弹簧预载荷和摩擦性能的影响 它涉及到,该结构被安装在所述框架上并结合在组合与驱动马达的旋转速度和向前和由逆变器反向旋转控制,驱动马达的马达轴和齿轮和多个减速齿轮是齿轮各驱动马达 和减速齿轮渔夫减慢的旋转驱动力,所接收的帧的内部和输入轴联接减速器渔民和齿轮的减速齿轮中的一个以及支撑一个轴是可旋转的一帧中的另一端的轴差动限制固定到框架 并且由另一个轴的外圆周表面提供的扭转变形比, 以及用于显示部分的测量装置。