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    • 5. 发明公开
    • 사람의 호흡을 사용해서 디바이스의 제어를 가능케 하는 MEMS 검출기를 위한 방법 및 시스템
    • 用于使用人呼吸控制装置的MEMS检测器的方法和系统
    • KR1020170100044A
    • 2017-09-01
    • KR1020177023232
    • 2009-03-26
    • 보나, 피에르
    • 보나,피에르
    • G01F1/28G01P5/02G06F3/01B81B7/02
    • G01F1/28G01P5/02G06F3/011B81B7/02
    • 사람의호흡을사용해서디바이스제어를가능케하는 MEMS 검출기를위한방법및 시스템이기술되며, 상기방법및 시스템은 MEMS(microelectromechanical systems) 검출기를통해사람의호흡(human breath)에의해야기되는공기흐름(air flow)을검출하는단계를포함할수 있으며, MEMS 검출기는공기의이동을검출하는편향가능멤버들을포함할수 있다. 멤버들의편향(deflection)은 MEMS 검출기내에서스페이서(spacer)를통해제한될수 있다. 편향의양은, 반사되는광 신호들, 압전기신호들(piezoelectric signals), 용량변화들, 또는자계에서의편향에의해생성되는전류를측정함으로써결정될수 있다. 출력신호들은검출된이동을기반으로생성될수 있다. MEMS 검출기는기판, 스페이서, 및 MEMS 편향가능멤버들을포함할수 있다. 기판은세라믹재료및/또는실리콘을포함할수 있으며, 내장된디바이스들및 인터커넥트들(interconnects)을포함할수 있다. 집적회로는기판에전기적으로연결될수 있다. 공기흐름은 MEMS 검출기측에서유도될수 있다.
    • 描述了一种用于使得能够使用人呼吸进行设备控制的MEMS检测器的方法和系统,其中该方法和系统通过微机电系统(MEMS)检测到人呼吸的气流, 流动,并且MEMS检测器可以包括检测空气运动的可偏转构件。 通过MEMS检测器中的间隔件可以限制构件的偏转。 偏转量可以通过测量反射光信号,压电信号,电容变化或由磁场中的偏转产生的电流来确定。 输出信号可以基于检测到的运动来生成。 MEMS检测器可以包括衬底,隔离物和MEMS可偏转构件。 衬底可以包括陶瓷材料和/或硅,并且可以包括嵌入式器件和互连。 集成电路可以电连接到衬底。 气流可以从MEMS检测器一侧获得。