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    • 4. 发明授权
    • 챔버 온도 유지 장치
    • 用于维持室温度的装置
    • KR101330677B1
    • 2013-11-18
    • KR1020110140275
    • 2011-12-22
    • (주)우리에어텍코리아
    • 강신재박승호한혁희한상규
    • H01L21/02
    • 본 발명은 챔버 온도 유지 장치에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 챔버 온도 유지 장치는 챔버의 하부로 배출되는 내부 공기와 챔버의 외부에서 유입되는 외부 공기가 혼합된 혼합 공기를 냉각시키는 냉각부, 냉각부로부터 소정간격 이격되도록 배치되며 냉각된 혼합 공기를 1차로 가열하는 제 1 히팅부, 제 1 히팅부로부터 소정간격 이격되도록 배치되며 제 1 히팅부를 통과하는 혼합 공기의 온도를 측정하는 제 1 온도 측정부, 제 1 온도 측정부로부터 소정간격 이격되도록 배치되며 제 1 히팅부를 통과한 혼합 공기를 2차로 가열하는 제 2 히팅부, 제 2 히팅부로부터 소정간격 이격되도록 배치되며 제 2 히팅부를 통과한 혼합 공기를 챔버의 상부로 공급하는 공급부 및 챔버의 상부에 설치되어 챔버의 내부로 유입되는 혼합 공기의 온도를 측정하는 제 2 온도 측정부를 포함한다.
    • 5. 发明公开
    • 파티션 어셈블리
    • 分区大会
    • KR1020130072731A
    • 2013-07-02
    • KR1020110140276
    • 2011-12-22
    • (주)우리에어텍코리아
    • 강신재박승호한혁희한상규
    • E04B2/74E04B2/82
    • PURPOSE: A partition assembly is provided to smooth air flow in a predetermined space in which a partition assembly is installed by discharging air drawing through a first partition through a second partition. CONSTITUTION: A partition assembly (100) comprises a connection unit (110), a first partition (120), and a second partition (130). An opening unit is formed on two or more surfaces of the connection unit. The first partition is installed on one side of the connection unit on which the opening unit is formed and draws external air. The second partition receives the air drawn through the first partition through the opening unit and discharges the air to the outside. The first partition comprises a first air inlet hole (121), a first filter unit (122), and air inflow device (123), and a first flow hole (127). The second partition comprises a second flow hole (131), an air discharge hole (132), and a second filter unit (133).
    • 目的:提供一种分隔组件,用于通过通过第二分隔件排出通过第一分隔件的空气抽吸来平滑在预定空间中的空气流通过分隔组件安装的空气流。 构成:分隔组件(100)包括连接单元(110),第一隔板(120)和第二隔板(130)。 打开单元形成在连接单元的两个或多个表面上。 第一隔板安装在形成有开口单元的连接单元的一侧,并吸入外部空气。 第二隔板通过开口单元接收通过第一分隔件抽吸的空气,并将空气排出到外部。 第一隔板包括第一空气入口孔(121),第一过滤单元(122)和空气流入装置(123)和第一流动孔(127)。 第二隔板包括第二流通孔(131),排气孔(132)和第二过滤器单元(133)。