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1. 发明公开

KR1020180103690A 플라즈마 생성 블록용 노즐 有权
公开(公告)号：KR1020180103690A
公开(公告)日：2018-09-19
申请号：KR1020180012879
申请日：2018-02-01
申请人： (주)뉴젠텍
发明人： 강동원
IPC分类号： H01J37/32 , H05H1/24
摘要： 본발명은플라즈마생성블록용노즐에관한것이고, 구체적으로플라즈마생성을위한블록으로플라즈마생성기체가효율적으로주입되도록하는플라즈마생성블록용노즐에관한것이다. 플라즈마생성블록용노즐은실린더형상으로연장되는유도몸체(11); 유도몸체(11)의한쪽끝에유도몸체(11)의연장방향에대하여경사지도록형성되는주입면(12); 유도몸체(11)의다른끝에형성되는체결몸체(13); 체결몸체(13)로부터유도몸체(11)를따라연장되는유도경로(16); 및주입면(12)에형성된다수개의주입홀 그룹(121, 122, 123)을포함하고, 유도경로(16)의끝 부분은주입면(12)과분리되고, 주입면(12)과다른방향으로경사진형태가된다.

2. 发明授权

KR101671815B1 전자담배의 카트리지용 밀폐 유닛 有权
标题翻译：电子卷烟盒密封装置
公开(公告)号：KR101671815B1
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：KR1020150007279
申请日：2015-01-15
申请人： (주)뉴젠텍
发明人： 황병길
IPC分类号： A24D1/14 , A24F47/00 , A61M15/06
摘要： 본발명은전자담배의카트리지용밀폐유닛에관한것이고, 구체적으로밀폐성능이향상되면서교환이가능한전자담배의카트리지용밀폐유닛에관한것이다. 전자담배의카트리지용밀폐유닛은삽입홀이형성된원통형상의결합몸체(112); 결합몸체(112)의한쪽끝에일체로형성되면서결합몸체(112)에비하여큰 직경을가지는고정날개(111); 및결합몸체(112)에체결되는고리형상의밀폐링(12);을포함한다.

3. 发明授权

KR101420091B1 코팅 면을 가진 진공 척 有权
标题翻译：具有涂层表面的真空泵
公开(公告)号：KR101420091B1
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：KR1020130007554
申请日：2013-01-23
申请人： (주)뉴젠텍
发明人： 백상천
IPC分类号： H01L21/683 , B23Q3/08
CPC分类号： H01L21/6838
摘要： The present invention relates to a vacuum chuck having a coating surface, and, more specifically, to a vacuum chuck having a coating surface for preventing the generation of static electricity by forming the coating surface on a side where a wafer is fixated. The vacuum chuck (10) according to the present invention has a diamond-like carbon (DLC) coating layer for preventing the generation of static electricity on the entire surface for fixating the wafer having a plurality of fixated rims (17) with a vacuum induction hole (18) and a vacuum induction passage (19).
摘要翻译：本发明涉及一种具有涂层表面的真空吸盘，更具体地说，涉及具有用于通过在晶片固定的一侧形成涂层表面来防止产生静电的涂层表面的真空卡盘。根据本发明的真空吸盘（10）具有用于防止在整个表面上产生静电的类金刚石碳（DLC）涂层，用于将具有多个固定边缘（17）的晶片固定在真空感应孔（18）和真空诱导通道（19）。

4. 发明授权

KR101924481B1 플라즈마 생성 블록용 노즐 有权
公开(公告)号：KR101924481B1
公开(公告)日：2018-12-03
申请号：KR1020180012879
申请日：2018-02-01
申请人： (주)뉴젠텍
发明人： 강동원
IPC分类号： H01J37/32 , H05H1/24
摘要： 본 발명은 플라즈마 생성 블록용 노즐에 관한 것이고, 구체적으로 플라즈마 생성을 위한 블록으로 플라즈마 생성 기체가 효율적으로 주입되도록 하는 플라즈마 생성 블록용 노즐에 관한 것이다. 플라즈마 생성 블록용 노즐은 실린더 형상으로 연장되는 유도 몸체(11); 유도 몸체(11)의 한쪽 끝에 유도 몸체(11)의 연장 방향에 대하여 경사지도록 형성되는 주입 면(12); 유도 몸체(11)의 다른 끝에 형성되는 체결 몸체(13); 체결 몸체(13)로부터 유도 몸체(11)를 따라 연장되는 유도 경로(16); 및 주입 면(12)에 형성된 다수 개의 주입 홀 그룹(121, 122, 123)을 포함하고, 유도 경로(16)의 끝 부분은 주입 면(12)과 분리되고, 주입 면(12)과 다른 방향으로 경사진 형태가 된다.

5. 发明公开

KR1020160125023A 테이블 전자 메뉴 구조의 주문 시스템 및 그에 의한 주문 처리 방법 无效
标题翻译：表格电子菜单结构的订购系统和订单处理方法
公开(公告)号：KR1020160125023A
公开(公告)日：2016-10-31
申请号：KR1020150055617
申请日：2015-04-21
申请人： (주)뉴젠텍
发明人： 강동원
IPC分类号： G06Q50/12 , G06Q30/06
摘要： 본발명은테이블전자메뉴구조의주문시스템및 그에의한주문처리방법에관한것이고, 구체적으로테이블에설치된전자메뉴로부터메뉴를선택하고이에따라주문이처리되도록하는테이블전자메뉴구조의주문시스템및 그에의한주문처리방법에관한것이다. 테이블전자메뉴구조의주문시스템은테이블(11); 테이블(11)에배치되는적어도하나의전자메뉴(111, 112, 113, 114); 전자메뉴(111, 112, 113, 114)로부터호출되고선택에따른주문이가능한메뉴창(12); 및전자메뉴(111, 112, 113, 114)로부터전송된테이블고유코드(31_1 내지 31_N) 및상기주문에대한정보를수신하는중계모듈(13)을포함하고, 상기전자메뉴(111, 112, 113, 114)는테이블(11)에고정되어상기중계모듈(13)과데이터통신이가능하다.
摘要翻译：本发明是一种用于电子菜单结构中的表将关于根据在其上的订购系统和订单处理方法，以选择从使得所述顺序由他处理订购系统和订购过程在表和表E的菜单结构的yiettara特别提供的电子菜单的菜单＆lt; 表格电子菜单结构的订购系统包括表格（11）; 至少一个安排在桌子（11）上的电子菜单（111,112,113,114）; 菜单窗口12从电子菜单111,112,113,114中调用并且可根据选择进行排序; 以及用于接收从电子菜单（111,112,113和114）发送的表唯一代码（31_1至31_N）和关于订单的信息的中继模块（13）以及电子菜单并且114被固定到桌子11并且能够与继电器模块13进行数据通信。

6. 发明公开

KR1020140095032A 도어 플레이트의 제조방법 및 그에 의하여 제조된 도어 플레이트 无效
标题翻译：用于生产由其生产的门板和门板的方法
公开(公告)号：KR1020140095032A
公开(公告)日：2014-07-31
申请号：KR1020140030488
申请日：2014-03-14
申请人： (주)뉴젠텍 , 박종진
发明人： 박종진 , 백상천
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： H01L21/67772 , H01L21/205 , H01L21/302 , H01L21/67207
摘要： The present invention relates to a method for manufacturing a door plate and, more specifically, to a method for manufacturing a door plate capable of being used in a vacuum chamber and improving the durability of the door plate and a sealing function. The method for manufacturing the door plate comprises a step for determining the flatness of one surface which touches a seal plate; a step for anodizing a part of the surface in which illumination is controlled; and a step for controlling the illumination by polishing the anodized surface.
摘要翻译：本发明涉及一种用于制造门板的方法，更具体地说，涉及一种能够在真空室中使用并提高门板的耐久性和密封功能的门板的制造方法。制造门板的方法包括确定接触密封板的一个表面的平坦度的步骤; 阳极氧化照明被控制的表面的一部分的步骤; 以及通过抛光阳极氧化表面来控制照明的步骤。

7. 发明授权

KR101411490B1 플라즈마 차폐 기능을 가진 도어 플레이트 有权
标题翻译：阻塞等离子体的门板
公开(公告)号：KR101411490B1
公开(公告)日：2014-06-24
申请号：KR1020130007549
申请日：2013-01-23
申请人： (주)뉴젠텍 , 박종진
发明人： 박종진 , 백상천
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： H01L21/67772 , H01L21/205 , H01L21/67207
摘要： The present invention relates to a door plate having a plasma shielding function and, more specifically, to a door plate having a plasma shielding function which comprises a blocking ring for blocking contact of a plasma to a vacuum forming ring. The door plate comprises a body (11) having a contact surface (12a) formed on a planar-shaped sealing surface (12) of a planar shape and in the periphery of the sealing surface (12); a sealing ring (13) extended while having a semicircular cross section which forms a closed curve on the contact surface (12a); and a blocking ring (15) extended while having a semicircular cross section between the sealing ring (13) and the sealing surface (12), wherein the blocking ring is formed at a lower height with respect to the contact surface (12a) compared to the sealing ring (13).
摘要翻译：具有等离子体屏蔽功能的门板技术领域本发明涉及具有等离子体屏蔽功能的门板，更具体地说，涉及具有等离子体屏蔽功能的门板，该门板包括阻挡等离子体与真空成形环接触的阻挡环。门板包括主体（11），其具有形成在平面形状的平面形密封表面（12）上并且在密封表面（12）的周边中的接触表面（12a）; 密封环（13）延伸，同时具有在接触表面（12a）上形成闭合曲线的半圆形横截面; 和阻塞环（15）在所述密封环（13）和所述密封表面（12）之间具有半圆形横截面的同时延伸，其中所述阻挡环形成在相对于所述接触表面（12a）的较低高度处，与密封环（13）。

8. 发明授权

KR100999131B1 원격 플라즈마 소스 블록 가공방법 有权
标题翻译：用于远程等离子体源块的处理方法
公开(公告)号：KR100999131B1
公开(公告)日：2010-12-07
申请号：KR1020090126840
申请日：2009-12-18
申请人： (주)뉴젠텍
发明人： 강동원
IPC分类号： H01L21/3065 , H01L21/205 , H01L21/302 , H01L21/02
摘要： PURPOSE: A method for processing a remote plasma source block is provided to improve the performance of a remote plasma source block by processing the block using a ball-end mill coated with titanium and diamond, and buffing tools. CONSTITUTION: An inlet(12) is formed on one side of a first block(10). An injecting pipe(14) is formed in the longitudinal direction of a first block. A first connecting pipe(16) is in connection with the one side of the injecting pipe. The injecting pipe and the first connecting pipe form a right angle. An outlet(22) is formed to one side of a second block(20). An ignition plug is installed to an ignition plug installing part(30) in order to ignite a cleaning gas.
摘要翻译：目的：提供一种用于处理远程等离子体源块的方法，以通过使用涂覆有钛和金刚石的球头铣刀和抛光工具处理块来改善远程等离子体源块的性能。构成：入口（12）形成在第一块（10）的一侧上。在第一块的长度方向上形成有喷射管（14）。第一连接管（16）与喷射管的一侧连接。喷射管和第一连接管形成直角。出口（22）形成在第二块（20）的一侧。火花塞安装在火花塞安装部分（30）上以点燃清洁气体。

9. 发明公开

KR1020070097246A 플라즈마 식각용 상부전극 조립체 有权
标题翻译：用于等离子体蚀刻的上电极组件
公开(公告)号：KR1020070097246A
公开(公告)日：2007-10-04
申请号：KR1020060028186
申请日：2006-03-29
申请人： (주)뉴젠텍
发明人： 강동원
IPC分类号： H01L21/30 , H01L21/3065
CPC分类号： H01J37/32532 , H01J37/32174 , H01L21/67069
摘要： An upper electrode assembly for plasma etching is provided to prevent the generation of arc discharge or damage of an electrode by firmly assembling the assembly using only bolts. An upper electrode assembly includes a gas supply unit supplying a gas to generate plasma, an upper plate support applied with high-frequency power, and an intermediate support (20) coupled to the upper plate support and a silicon electrode(40). The silicon electrode is fastened to the intermediate support by a fastening member(70). The intermediate support is made of aluminum, and an inner portion and an outer portion of the intermediate support of the intermediate support are coated with insulating material(21), except for the portion contacting the upper plate support and the silicon electrode. The silicon electrode has a fastening part(42) engaged to the intermediate support by using a bolt.
摘要翻译：提供用于等离子体蚀刻的上电极组件，以通过仅使用螺栓牢固地组装组件来防止电弧放电或电极的损坏。上部电极组件包括供给气体以产生等离子体的气体供应单元，施加高频电力的上部板支撑件，以及耦合到上部支撑件的中间支撑件（20）和硅电极（40）。硅电极通过紧固构件（70）紧固到中间支撑件。中间支撑件由铝制成，除了与上板支撑件和硅电极接触的部分之外，绝缘材料（21）还涂覆有中间支撑件的中间支撑件的内部和外部部分。硅电极具有通过使用螺栓与中间支撑件接合的紧固部分（42）。

10. 发明授权

KR102034729B1 플라즈마 발생 및 유도를 위한 플라즈마 블록 有权
公开(公告)号：KR102034729B1
公开(公告)日：2019-10-21
申请号：KR1020180051703
申请日：2018-05-04
申请人： (주)뉴젠텍
发明人： 강동원
IPC分类号： H01J37/32

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