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1. 发明公开

KR1020150045554A 공정 온도 편차를 낮춘 박막 제조 방법 및 시스템 无效
标题翻译：具有低工艺温度偏差的薄膜的制造方法及其系统
公开(公告)号：KR1020150045554A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：KR1020130124657
申请日：2013-10-18
申请人： 엘티박막주식회사
发明人： 서인자 , 서용운 , 최동규
IPC分类号： C23C14/22 , C23C14/58
CPC分类号： C23C14/22 , C23C14/58
摘要： 본발명은박막제조방법및 시스템에관한것으로서, 구체적으로는복수의공정으로나누어박막을형성함으로써박막형성에따른공정온도의편차를낮춘박막제조방법및 시스템에관한것이다. 본발명은 (a) 피처리기판의온도가소정의박막형성시작온도까지올라가도록가열하는단계; (b) 상기피처리기판의온도가소정의공정상한온도에이를때까지박막을형성하는단계; (c) 박막형성을멈추고상기피처리기판의온도를소정의박막형성시작온도까지냉각시키는단계; 및 (d) 필요한두께의박막이형성될때까지상기 (b) 단계와 (c) 단계를반복하는단계를포함하며, 상기박막을형성함에있어, 그박막소스로부터유기되는열에의하여상기피처리기판의온도가상승하는것을특징으로하는박막형성방법을개시하며, 본발명에의하여피처리기판상에박막을형성함에있어복수의공정으로나누어박막을형성함으로써, 박막의형성에따른공정온도의편차를줄이고, 저온소재피처리기판에서도박막형성이가능하며, 고출력박막소스를사용하여잔류불순물의상대적영향을줄여서고품질의박막을제조할수 있는박막제조방법및 시스템을개시하는효과를갖는다.
摘要翻译：本发明涉及制造薄膜的方法和系统。更具体地，本发明涉及制造薄膜的方法和系统，其通过多个分段方法形成薄膜，以减少由薄膜形成导致的加工温度的差异。本发明包括：（a）增加经受处理的板的温度直至温度达到薄膜形成的预定温度的步骤; （b）在所述板的温度达到预定的上限温度之前形成薄膜的步骤; （c）停止形成薄膜并将所述板冷却到形成薄膜的预定温度的步骤; 和（d）重复步骤（b）和步骤（c）的步骤，直到形成所需厚度的膜。本发明开始制造薄膜的方法，其特征在于，用来自薄膜源的热进行处理的所述板的温度升高，形成所述薄膜。根据本发明，通过多个工艺形成薄膜，以减少由薄膜形成引起的加工温度的差异，并且能够在由低温材料制成的板上形成薄膜。此外，本发明通过使用高功率薄膜源减少残留杂质的相对影响，从而制造高质量薄膜。

2. 发明公开

KR1020150111658A 지중열을 이용한 결로 방지 도로 표지판 无效
标题翻译：道路标志防止使用土壤温度的冷凝
公开(公告)号：KR1020150111658A
公开(公告)日：2015-10-06
申请号：KR1020140035276
申请日：2014-03-26
申请人： 엘티박막주식회사
发明人： 최동규 , 서인자
IPC分类号： E01F9/00 , F24J3/08
CPC分类号： Y02E10/10 , E01F9/00
摘要： 본발명은결로방지도로표지판에관한것으로서, 구체적으로는지하수m의지중온도가지표면의온도보다높고안정적으로유지된다는점을이용하여지중열이도로표지판에전달되도록함으로써도로표지판에이슬이맺히는것을방지할수 있는도로표지판에관한것이다. 본발명은지하에매립되어지중열을흡수하는지중매립모듈; 재귀반사필름이부착된표지판모듈; 및상기지중매립모듈과표지판모듈사이를연결하여, 상기지중열을상기표지판모듈로전달하는지중열전달케이블을포함하여구성되는것을특징으로하는도로표지판을개시하며, 본발명에의하여, 지중매립모듈과지중열전달케이블을사용하여지중열이표지판으로효과적으로전달될수 있는도로표지판을구성함으로써, 도로표지판에부착되는재귀반사필름에이슬이맺히는것을방지할수 있고, 장수명을가지며운용비용이저렴한도로표지판을구현하는효과를갖는다.
摘要翻译：本发明涉及一种使用地下热的防露路标牌，特别涉及能够通过将地下热传递到道路标牌而防止路标牌形成露水的道路标识牌，其基于地下温度更稳定，高于地表温度。采用地下热防护的路牌，包括：地下模块，通过埋藏地下吸收地下热量; 其中安装有反射膜的标牌模块; 和地下传热电缆，用于连接地下模块和标牌模块，并将地下热量传递到标牌模块。根据本发明，使用地下热防止路牌的防水路牌防止了附着在道路标牌上的回射膜被露水作为地下模块，地下传热电缆构成路标牌。此外，本发明提供一种使用寿命长且能够低成本运转的道路标志牌。

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