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1. 发明公开

KR1020080021823A 진공 자외선 참조 반사율계 有权
标题翻译：真空超声波参考反射计
公开(公告)号：KR1020080021823A
公开(公告)日：2008-03-07
申请号：KR1020087002173
申请日：2004-09-21
申请人： 메트로솔 인코포레이티드
发明人： 헤리슨,데일,에이.
IPC分类号： G01N21/55 , G01N21/33 , G01N21/00
摘要： A spectroscopy system (500) is provided which operates in the vacuum ultra-violet spectrum. More particularly, a system utilizing reflectometry techniques in the vacuum ultraviolet spectrum is provided for use in metrology applications. To ensure accurate and repeatable measurement, the environment of the optical paths (506, 508) is controlled to limit absorption effects of gases that may be present in the optical path. To account for absorption effects that may still occur, the length of the optical path is minimized. To further account for absorption effects, the reflectance data may be referenced to a relative standard. ® KIPO & WIPO 2008
摘要翻译：提供了在真空紫外光谱中操作的光谱系统（500）。更具体地，提供了在真空紫外光谱中利用反射测量技术的系统用于计量学应用。为了确保精确和可重复的测量，控制光路（506,508）的环境以限制可能存在于光路中的气体的吸收效应。为了考虑可能仍然发生的吸收效应，光路的长度被最小化。为了进一步考虑吸收效应，反射率数据可以参考相对标准。 ®KIPO＆WIPO 2008

2. 发明授权

KR100940129B1 진공 자외선 참조 반사율계 有权
标题翻译：真空紫外线参考反射计
公开(公告)号：KR100940129B1
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：KR1020067005681
申请日：2004-09-21
申请人： 메트로솔 인코포레이티드
发明人： 헤리슨,데일,에이.
IPC分类号： G01N21/55
CPC分类号： G01J3/2803 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/0232 , G01J3/027 , G01J3/0286 , G01J3/0291 , G01J3/08 , G01J3/10 , G01J3/28 , G01J3/2823 , G01J3/36 , G01J3/42 , G01J3/4531 , G01N21/211 , G01N21/274 , G01N21/33 , G01N21/47 , G01N21/55 , G01N21/9501 , G01N2021/335
摘要： 제공된 분광학 시스템(500) 진공자외선 스펙트럼에서 동작한다. 보다 상세하게, 진공자외선 스펙트럼에서 반사율 측정법 기술들을 이용하는 시스템은 계측 응용물들을 위하여 준비된다. 정확하고 반복 가능한 측정을 보장하도록, 광학 경로(506,508)들의 환경은 광학 경로에서 존재할 수도 있는 가스들의 흡수 영향들을 제한하도록 제어된다. 여전히 발생할 수도 있는 흡수 영향을 설명하도록, 광 경로의 길이는 최소화된다. 흡수 영향을 추가적으로 설명하도록, 반사율 데이터가 상대 표준으로 참조된다.
반도체, 진공자외선, 심자외선, 반사율계,

3. 发明授权

KR100897109B1 진공 자외선 참조 반사율계 有权
标题翻译：真空紫外线参考反射计
公开(公告)号：KR100897109B1
公开(公告)日：2009-05-14
申请号：KR1020087002173
申请日：2004-09-21
申请人： 메트로솔 인코포레이티드
发明人： 헤리슨,데일,에이.
IPC分类号： G01N21/55 , G01N21/33 , G01N21/00
摘要： 제공된 분광학 시스템(500) 진공자외선 스펙트럼에서 동작한다. 보다 상세하게, 진공자외선 스펙트럼에서 반사율 측정법 기술들을 이용하는 시스템은 계측 응용물들을 위하여 준비된다. 정확하고 반복 가능한 측정을 보장하도록, 광학 경로(506,508)들의 환경은 광학 경로에서 존재할 수도 있는 가스들의 흡수 영향들을 제한하도록 제어된다. 여전히 발생할 수도 있는 흡수 영향을 설명하도록, 광 경로의 길이는 최소화된다. 흡수 영향을 추가적으로 설명하도록, 반사율 데이터가 상대 표준으로 참조된다.
반도체, 진공자외선, 심자외선, 반사율계,

4. 发明公开

KR1020070001051A 진공 자외선 참조 반사율계 有权
标题翻译：真空超声波参考反射计
公开(公告)号：KR1020070001051A
公开(公告)日：2007-01-03
申请号：KR1020067005681
申请日：2004-09-21
申请人： 메트로솔 인코포레이티드
发明人： 헤리슨,데일,에이.
IPC分类号： G01N21/55
CPC分类号： G01J3/2803 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/0232 , G01J3/027 , G01J3/0286 , G01J3/0291 , G01J3/08 , G01J3/10 , G01J3/28 , G01J3/2823 , G01J3/36 , G01J3/42 , G01J3/4531 , G01N21/211 , G01N21/274 , G01N21/33 , G01N21/47 , G01N21/55 , G01N21/9501 , G01N2021/335
摘要： A spectroscopy system (500) is provided which operates in the vacuum ultra-violet spectrum. More particularly, a system utilizing reflectometry techniques in the vacuum ultraviolet spectrum is provided for use in metrology applications. To ensure accurate and repeatable measurement, the environment of the optical paths (506, 508) is controlled to limit absorption effects of gases that may be present in the optical path. To account for absorption effects that may still occur, the length of the optical path is minimized. To further account for absorption effects, the reflectance data may be referenced to a relative standard. ® KIPO & WIPO 2007
摘要翻译：提供了在真空紫外光谱中操作的光谱系统（500）。更具体地，提供了在真空紫外光谱中利用反射测量技术的系统用于计量学应用。为了确保精确和可重复的测量，控制光路（506,508）的环境以限制可能存在于光路中的气体的吸收效应。为了考虑可能仍然发生的吸收效应，光路的长度被最小化。为了进一步考虑吸收效应，反射率数据可以参考相对标准。 ®KIPO＆WIPO 2007

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