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81. 发明授权

KR100489508B1 저온 플라즈마 발생 장치 및 방법 失效
标题翻译：温度等离子体生成方法与装置
公开(公告)号：KR100489508B1
公开(公告)日：2005-05-16
申请号：KR1020020032342
申请日：2002-06-10
申请人： 황정남 , 최진문 , 정광호
发明人： 최진문 , 정광호 , 황정남
IPC分类号： H05H1/48
摘要： 본 발명은 대기압 또는 저진공 상태에서의 저온 플라즈마 발생방법 및 장치에 관한 것으로, 일측으로 가스가 유입되어 타측으로 배출되는 플라즈마 챔버(50)와; 플라즈마 챔버(50)의 입구측으로 설치되어 인입되는 가스의 온도를 검출하는 온도센서(30); 인입되는 가스를 선택적으로 가열하는 히터(40); 플라즈마 챔버(50)의 내에 위치되어 플라즈마를 발생시키기 위한 시드플라즈마방전을 일으키는 적어도 두 개 이상의 시드플라즈마전극봉(60)(62)과; 상기 플라즈마 챔버(50)의 내측에서 전극봉(60)(62)을 중심으로 해서 전극봉에서 발생된 플라즈마를 외측으로 확산시키는 복수의 전극판(70~75); 상기 전극봉(60)(62)에 고전압을 한시적으로 인가하기 위한 고압전원부(90)와; 상기 고압전원부(90)로부터 출력되는 전압보다 작은 저압전원을 상기 전극판(70~75)에 지속적으로 인가하기 위한 저압전원부(94); 상기 전극판(70~75)에 고압전원을 인가하여 시드플라즈마를 확산시키는 펄스형 고압전원부(96); 챔버(50)의 외측에 배치되어 챔버내에 자기력선을 형성하는 영구자석(100)으로 구성되어 대기압 및 저진공 상태에서 저온 플라즈마 발생효율을 향상시키고 플라즈마 밀도를 높게 하고, 에너지의 절감 및 구조를 단순화할 수 있는 것이다.

82. 发明公开

KR1020010106788A 회전 전극 플라즈마 장치, 및 이를 이용한 탄소 나노체합성 방법 失效
标题翻译：旋转电极等离子体设备和合成碳纳米材料的方法
公开(公告)号：KR1020010106788A
公开(公告)日：2001-12-07
申请号：KR1020000027751
申请日：2000-05-23
申请人： 한화나노텍 주식회사 , 백홍구
发明人： 백홍구 , 이승종 , 유재은
IPC分类号： H05H1/48 , B82Y30/00
摘要： 회전 전극 플라즈마 장치 및 이를 이용한 탄소 나노체 합성 방법을 제공한다. 본 발명의 회전 전극 플라즈마 장치는 진공 챔버 내의 일측 내부에 설치된 음극과, 상기 음극과 대향되어 상기 진공 챔버 내에 배치되고 회전할 수 있는 양극과, 상기 진공 챔버 내의 양극 및 음극의 상하로 위치하고 상하 및 전후로 이동할 수 있는 기판을 포함한다. 상기 음극에 음전압을 인가하고 상기 양극에 양전압을 인가하여 음극과 양극간에 아크 방전을 발생시켜 양극을 소모시킬 수 있고 음극과 양극 사이에 플라즈마를 발생시킬 수 있는 전원 장치를 포함한다. 따라서, 아크 방전과 플라즈마 발생시 상기 양극에서 증발한 탄소가 상기 플라즈마에 의하여 활성화되고 상기 회전하는 양극에 의해 발생하는 원심력에 의해 기판 상에 탄소 나노 튜브나 나노 그라파이트를 합성할 수 있다.

83. 发明授权

KR1019900000507B1 액체안정화 플라즈마 발생기와 이를 이용하는 방법 无效
标题翻译：液体稳定等离子体发生器中的半转印及其使用方法
公开(公告)号：KR1019900000507B1
公开(公告)日：1990-01-31
申请号：KR1019850008448
申请日：1985-11-13
申请人： 체코슬로벤스카아카데미베드 , 프라즈퓨죤,인코포레이티드
发明人： 카렐즈베리나 , 제이에프.슈나켈
IPC分类号： H05H1/24 , H05H1/48
CPC分类号： B23K10/02 , C23C4/12 , H05H1/341 , H05H1/36 , H05H1/42 , H05H2001/3421 , H05H2001/3494
摘要： The generator includes an elongate body containing a rod cathode, for creating and projecting towards a substrate a plasma stream containing material. A source of stabilizing liquid, such as water, alcohol, or picoline is fed to the generator body. A source of coating material is positioned downstream of a rotating anode of the plasma generator allowing the coating material to be fed into the plasma generators. DC power source and various electrical connections selectively control the electrical potential of the substrate relative to the anode so as to alter, concurrently while applying material to the substrate, the concentration of charged particles in the plasma stream in a zone at and in close proximity to the surface of the substrate.
摘要翻译：该发生器包括一个包含杆状阴极的细长主体，用于产生并向衬底突出包含含有材料的等离子体流。将稳定液体源，如水，醇或甲基吡啶供给到发生器主体。涂层材料源位于等离子体发生器的旋转阳极的下游，允许将涂层材料进料到等离子体发生器中。 DC电源和各种电连接选择性地控制衬底相对于阳极的电势，以便同时在衬底施加材料时改变等离子体流中带电粒子的浓度，衬底的表面。

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