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    • 87. 发明授权
    • 감광성 수지 조성물
    • 感光树脂组合物
    • KR101696963B1
    • 2017-01-16
    • KR1020130116946
    • 2013-09-30
    • 주식회사 엘지화학
    • 남규현김상우김경준김승현
    • G03F7/037G03F7/027G03F7/032G03F7/16
    • 본발명은슬릿코팅방식을이용하여감광성수지막형성시, 감광성수지막내얼룩등의결함발생및 슬릿노즐의건조응집에의한이물발생을방지하고, 용매의용이한휘발로슬릿코팅속도가증가되어우수한패턴형성성을갖는감광성수지막을형성할수 있는감광성수지조성물에관한것으로, 상기감광성수지조성물은폴리이미드, 폴리벤조옥사졸및 이들의전구체로이루어진군에서선택되는적어도 1종의화합물을포함하는바인더수지, 광활성화합물, 및하기 (a) 내지 (c) 에따른유기용매들의혼합용매를포함한다: (a) 비점이 115 내지 160℃미만인제1유기용매 10 내지 50중량% (b) 비점이 160 내지 190℃미만이고, 25℃에서의점도가 1.1mPa·s 이상이고 1.5mPa·s 미만인제2유기용매 30 내지 70중량%, 그리고 (c) 비점이 190 내지 220℃이고, 25℃에서의점도가 1.5 내지 4.0m·Ps인제3유기용매 5 내지 20중량%.
    • 感光性树脂组合物技术领域本发明涉及一种感光性树脂组合物,通过使用狭缝涂布法形成感光性树脂膜时,能够防止形成感光性树脂膜中的斑点等缺陷以及由狭缝喷嘴的干燥内聚引起的异物的形成, 并且由于容易挥发溶剂而增加了狭缝涂布速度,从而形成具有优异图案形成性能的感光性树脂膜。 感光性树脂组合物包含:包含至少一种选自聚酰亚胺,聚苯并恶唑及其前体的化合物的粘合剂树脂; 光敏化合物; 和(a)〜(c)的有机溶剂的混合溶剂。 (a)10〜50重量%的沸点为115〜160℃的第一有机溶剂(b)30〜70重量%的第二有机溶剂,沸点为160〜190℃,粘度 在25℃下为1.1-1.5mPa·s(c)5〜20重量%的沸点为190〜220℃的第三有机溶剂,粘度为1.5〜4.0m·Ps 25℃