专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

71. 发明公开

KR20180021369A 더 높은 플라즈마 에너지 밀도를 갖는 유도 플라즈마 토치 审中-公开
标题翻译：具有更高等离子体能量密度的电感式等离子炬
公开(公告)号：KR20180021369A
公开(公告)日：2018-03-02
申请号：KR20177037781
申请日：2016-06-27
申请人： TEKNA PLASMA SYSTEMS INC
发明人： BOULOS MAHER I , JUREWICZ JERZY W , DIGNARD NICOLAS , AUGER ALEXANDRE , THELLEND SEBASTIEN
IPC分类号： H05H1/28 , H05H1/30
CPC分类号： H05H1/28 , H05H1/30
摘要： 유도플라즈마토치는관형토치바디, 관형인서트, 플라즈마밀폐튜브및 환형채널을포함한다. 관형토치바디는각각의내면을한정하는상류및 하류섹션을갖는다. 관형인서트는관형토치바디의하류섹션의내면에장착된다. 플라즈마밀폐튜브는관형토치바디내에동축으로배치된다. 플라즈마밀폐튜브는플라즈마흐름의축 방향으로테이퍼오프되는두께를갖는관형벽을갖는다. 환형채널은한편으로는관형토치바디의상류섹션의내면과인서트의내면과다른한편으로는플라즈마밀폐튜브의관형벽의외면의사이에형성된다. 냉각채널은플라즈마밀폐튜브를냉각시키기위한유체를운반한다.
摘要翻译：感应等离子体炬包括管状炬体，管状插入件，等离子体密封管和环形通道。管状炬体具有限定相应内表面的上游和下游部分。管状插入件安装在管状炬体的下游部分的内表面上。等离子密封管同轴地设置在管状炬体内。等离子密封管具有管壁，其厚度在等离子流的轴向上逐渐变小。该环形通道euroneun内表面和其它内表面和在所述管状焊炬本体euroneun的上游部分中的插入件的被密封的等离子管的管状壁的所述外表面之间形成。冷却通道携带用于冷却等离子密封管的流体。

72. 发明公开

KR1020170009984A 플라즈마 토치용 교환 부품 유닛, 전극, 절연 가이드, 및 노즐 审中-实审
标题翻译：等离子体电极绝缘指示和喷嘴的替换组件单元
公开(公告)号：KR1020170009984A
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：KR1020167036202
申请日：2015-12-04
申请人： 고마쓰 산기 가부시키가이샤
发明人： 야마구치요시히로 , 곤도게이타 , 모리모토시게오 , 사이오가쓰오
IPC分类号： H05H1/34 , H05H1/28
CPC分类号： H05H1/34 , B23K10/00 , H05H1/28 , H05H2001/3436 , H05H2001/3468 , H05H2001/3478
摘要： 플라즈마토치용교환부품유닛은, 전극과, 절연가이드와, 노즐을구비한다. 절연가이드는, 전극이삽입되는구멍을가진다. 절연가이드는, 전극과압입또는접착에의해접합된다. 노즐은, 절연가이드가삽입되는구멍을가진다. 노즐은, 절연가이드와압입또는접착에의해접합된다.
摘要翻译：一种用于等离子体焰炬并且设置有电极（6），绝缘引导件（7）和喷嘴（8）的替换部件单元（2a）。绝缘引导件具有插入电极的孔。绝缘引导件通过压配合或接合连接到电极。喷嘴具有插入绝缘导向件的孔。喷嘴通过压配合或接合连接到绝缘引导件。

73. 发明公开

KR1020160045088A 플라즈마 토치 审中-实审
标题翻译：等离子喷枪
公开(公告)号：KR1020160045088A
公开(公告)日：2016-04-26
申请号：KR1020167006751
申请日：2014-08-18
申请人： 고이께 산소 고교 가부시끼가이샤
发明人： 키모토료스케 , 모토야마마사토시 , 이즈카테츠야 , 칸다스스무 , 사카모토카츠히코 , 후루조아키라 , 사카이다이지
IPC分类号： H05H1/28 , H05H1/34 , B23K10/00
CPC分类号： H05H1/28 , B23K10/00 , H05H1/34 , H05H2001/3436 , H05H2001/3457
摘要： 플라즈마아크의분사공까지노즐을효과적으로냉각할수 있고, 또한안정된통전성능을갖는플라즈마토치를제공한다. 본발명의플라즈마토치는노즐과토치본체를갖는다. 노즐은이너노즐과이너노즐과함께토치본체에체결되는이너캡을갖고, 양자사이에환상통로와복수의독립수로가형성되며, 이너캡이노즐대에체결되는때의체결력이칸막이를통해전달가능하도록구성된다. 토치본체는공급구와배수구를갖고어느일방이수로와접속되어축심에대해교차하는방향의면 내에연장된홈에의해구성된다. 노즐을토치본체에체결한때 어느하나의독립수로와공급구및 어느하나의독립수로와배수구가연통하고, 또한이너노즐의후단면이노즐대의단면에닿아통전한다.

74. 实用新型

KR200478396Y1 노즐 보호캡, 노즐 보호캡 홀더 및 이를 구비한 아크 플라즈마 토오치 有权
标题翻译：保护喷嘴帽保护喷嘴盖保持器和具有防护喷嘴盖和/或防护喷嘴盖保持器的弧等离子体转子
公开(公告)号：KR200478396Y1
公开(公告)日：2015-10-01
申请号：KR2020127000008
申请日：2010-08-04
申请人： 크옐베르크 핀스터발데 플라즈마 운트 마쉬넨 게엠베하
发明人： 크링크,볼커 , 라우리쉬,프랭크 , 그룬트케,티모 , 크로슈발트,마르틴
IPC分类号： H05H1/34 , H05H1/28
CPC分类号： H05H1/34 , H05H1/28 , H05H2001/3457
摘要： 본고안은아크플라즈마토오치용노즐보호캡과, 노즐보호캡홀더및 아크플라즈마토오치에관한것으로, 상기아크플라즈마토오치용노즐보호캡은전방단부영역과, 아크플라즈마토오치의토오치몸체에나사결합시키기위해내면상에서나사영역을구비한후방단부영역을포함하며, 적어도하나의홈이상기내면상의나사영역을가로지르게형성되는것을특징으로하고, 상기노즐보호캡홀더는아크플라즈마토오치의노즐보호캡에나사결합시키기위해내면상에서나사영역을구비한영역을포함하며, 적어도하나의홈이상기내면상의나사영역을가로지르게형성되는것을특징으로하고, 상기아크플라즈마토오치는토오치몸체와, 스크류연결영역에나사결합되는노즐보호캡을포함하며, 상기토오치몸체및/또는노즐보호캡은, 적어도하나의채널이상기스크류연결영역을가로지르는그들사이에형성되도록설계되는것을특징으로한다.

75. 发明授权

KR101554341B1 기판 처리장치 有权
公开(公告)号：KR101554341B1
公开(公告)日：2015-09-21
申请号：KR1020130167712
申请日：2013-12-30
申请人： 인베니아 주식회사
发明人： 이창근
IPC分类号： H05H1/28 , H05H1/34
摘要： 본발명은유도결합플라즈마를이용하여기판을처리하는기판처리장치에관한것으로, 리드프레임을구성하는구획프레임의상부에는전열관이구획프레임을따라사전에설정한패턴으로배관되고, 전열관은전열관커버에의하여구획프레임에밀착되기때문에, 구획프레임및 그주변의유전체윈도우에전열관을따라흐르는열매체의열을확실하게전달할수 있다.

76. 发明授权

KR101530949B1 플라즈마 챔버용 냉각판 有权
标题翻译：等离子体室冷却板
公开(公告)号：KR101530949B1
公开(公告)日：2015-06-25
申请号：KR1020130139273
申请日：2013-11-15
申请人： 하나머티리얼즈(주)
发明人： 박진경 , 김용욱
IPC分类号： H05H1/28
摘要： 플라즈마챔버용냉각판이 개시된다. 본발명의일 실시예에따른플라즈마챔버용냉각판은플라즈마챔버에설치된캐소드전극판과밀착되고, 원주방향을따라다수개의마운팅홀이형성된냉각판으로서, 상기냉각판은상기마운팅홀이등 간격으로배치된등 간격구간과, 상기등 간격구간과이웃하여마운팅홀이상이한간격으로배치된비등간격구간을포함하고, 상기냉각판의중앙을기준으로동심원을가지고다수개가개구된가스통과홀을포함한다.

77. 发明授权

KR101526129B1 ＲＦ 가열된 챔버 컴포넌트들을 냉각시키기 위한 시스템 有权
标题翻译：用于冷却RF加热室组件的系统
公开(公告)号：KR101526129B1
公开(公告)日：2015-06-04
申请号：KR1020140186271
申请日：2014-12-22
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 맥체스니존 , 스리라만사라바나프리얀 , 마쉬리키 , 페터슨알렉스 , 홀란드존
IPC分类号： H05H1/28 , H05H1/34 , H01L21/3065
CPC分类号： H01J37/32522 , H01J37/32082 , H01J37/32119 , H01J37/32238
摘要： 일실시형태에서, 플라즈마프로세싱디바이스는유전체윈도우, 진공챔버, 에너지소스및 적어도하나의공기증폭기를포함할수도있다. 유전체윈도우는플라즈마노출면과공기노출면을포함할수도있다. 진공챔버및 유전체윈도우의플라즈마노출면은플라즈마프로세싱가스를엔클로징하기위해협력할수 있다. 에너지소스는유전체윈도우를통해전자기에너지를전달하여유전체윈도우내에고온영역을형성할수 있다. 적어도하나의공기증폭기는유전체윈도우와유체연통할수 있다. 적어도하나의공기증폭기는적어도약 1 in-HO 의배압으로동작할수 있고, 적어도약 30 cfm 의공기를제공할수 있다.

78. 发明授权

KR101456464B1 플라즈마를 이용한 냉각수 정화처리 방식의 응축기 有权
标题翻译：具有等离子体冷却水处理装置的冷凝器
公开(公告)号：KR101456464B1
公开(公告)日：2014-10-31
申请号：KR1020140067104
申请日：2014-06-02
申请人： 주식회사 경동냉열산업
发明人： 김선호 , 윤석현 , 황종호
IPC分类号： F28C1/02 , H05H1/03 , H05H1/28 , C02F1/48
CPC分类号： F28C1/02 , C02F1/48 , F28F2025/005 , H05H1/03 , H05H1/24
摘要： An objective of the present invention is to provide a plasma water treatment device of which speed and efficiency of plasma treatment device-based water treatment can be improved. A condenser for plasma-based coolant purification treatment according to the present invention includes a tube-shaped body that has a fluid inlet, a fluid outlet, and a coolant flow path for connection between the inlet and the outlet; and a plasma treatment device that is disposed in the tube-shaped body to cross the coolant flow path in a transverse direction and discharges plasma-reacting air or gas in a fluid flowing in the coolant flow path. The plasma treatment device includes a transparent dielectric tube that is disposed to cross the coolant flow path in the transverse direction in the fluid flowing in the coolant flow path, air or gas flowing therein and a discharge electrode being disposed therein; an opposing electrode that is disposed to be in electrical contact with the fluid flowing in the coolant flow path; power applying means for applying power to the discharge electrode and the opposing electrode and plasma generation in the dielectric tube; and a bubble generator that is connected to the dielectric tube, the air or gas passing therethrough and the air or gas being converted into multiple bubbles in the fluid flowing in the coolant flow path. One end and the other end of the dielectric tube are supported by wall of the tube-shaped body.
摘要翻译：本发明的目的是提供一种能够提高等离子体处理装置的水处理的速度和效率的等离子体水处理装置。根据本发明的用于等离子体冷却剂净化处理的冷凝器包括管状体，其具有用于在入口和出口之间连接的流体入口，流体出口和冷却剂流动路径; 以及等离子体处理装置，其设置在所述管状体中以横向穿过所述冷却剂流动路径，并且在流过所述冷却剂流动路径的流体中排出等离子体反应的空气或气体。等离子体处理装置包括透明电介质管，该透明电介质管设置成在流过冷却剂流路的流体中流过冷却剂流路，在其中流动的空气或气体，放置在其中的放电电极; 设置成与在冷却剂流动路径中流动的流体电接触的相对电极; 用于向放电电极和相对电极施加电力并在电介质管中产生等离子体的功率施加装置; 以及气泡生成器，其连接到电介质管，空气或气体通过其中，并且空气或气体在流过冷却剂流动路径的流体中被转换成多个气泡。电介质管的一端和另一端由管状体的壁支撑。

79. 发明公开

KR1020140049492A 압력 제어된 열 파이프 온도 제어판 审中-实审
标题翻译：压力控制热管温度控制板
公开(公告)号：KR1020140049492A
公开(公告)日：2014-04-25
申请号：KR1020130124246
申请日：2013-10-17
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 켈로그마이클씨. , 딘드사라진더 , 스티븐슨탐
IPC分类号： H05H1/28 , H05H1/34
CPC分类号： H01J37/32449
摘要： A shower head electrode assembly for a plasma processing chamber includes: a shower head electrode; a heating substrate which is fixed on the upper surface of the shower head electrode; and at least one pressure controlled heat pipe which is fixed on the upper surface of the heating substrate. The at least one pressure controlled heat pipe includes pressurized gas to generate variable internal pressure inside and a heat transfer liquid inside. A top plate is fixed on the upper surface of the at least one heat pipe. When the shower head electrode is heated by the heating substrate, the heat transfer liquid is drained from a heat path between the top plate and the heating substrate by the variable internal pressure of at least one pressure controlled heat pipe. When the excessive heat is removed from the shower head electrode, the heat transfer liquid is returned to the heat path by the variable internal pressure of at least one pressure controlled heat pipe.
摘要翻译：一种用于等离子体处理室的花洒头电极组件，包括：花洒头电极; 固定在喷头电极的上表面上的加热基板; 以及固定在加热基板的上表面上的至少一个压力控制热管。至少一个受压控制的热管包括加压气体，以在内部产生可变的内部压力和内部的传热液体。顶板固定在至少一个热管的上表面上。当喷头电极被加热基板加热时，传热液体通过至少一个受压热管的可变内压从顶板和加热基板之间的热路中排出。当从喷淋头电极中除去过多的热量时，传热液体通过至少一个受压热管的可变内部压力返回到热路径。

80. 发明授权

KR101383038B1 비이송식 공동형 플라즈마 토치 有权
标题翻译：非转移和中空类型的等离子体转子
公开(公告)号：KR101383038B1
公开(公告)日：2014-04-08
申请号：KR1020130117662
申请日：2013-10-02
申请人： 지에스플라텍 주식회사
发明人： 황순모 , 유병주
IPC分类号： H05H1/26 , H05H1/28
CPC分类号： H05H1/34 , H05H1/28 , H05H1/40 , H05H1/44 , H05H1/50 , H05H2001/3457
摘要： Disclosed is a non-transferable hollow plasma torch. The non-transferable hollow plasma torch according to one embodiment of the present invention includes an insulation body, a rear torch part which includes a rear electrode housing which is received in one side of the insulation body and a hollow rear electrode body which is fixed in the rear electrode housing, a front torch part which includes a front electrode housing which is received in the other side of the insulation body and a hollow front electrode which is fixed in the front electrode housing, a rear torch cooling unit which cools the rear electrode body outside the rear electrode body, and a front torch cooling unit which cools the front electrode outside the front electrode. The cooling quantity of the front electrode by the front torch cooling unit is larger than the cooling quantity of the rear electrode body by the rear torch cooling unit.
摘要翻译：公开了不可转印的中空等离子体焰炬。根据本发明的一个实施例的不可转移空心等离子体焰炬包括绝缘体，后炬部分，其包括被接纳在绝缘体一侧的后电极壳体和固定在绝缘体中的中空后电极体后电极壳体，包括容纳在绝缘体的另一侧的前电极壳体和固定在前电极壳体中的中空前电极的前炬部分，后部电极冷却单元，其冷却后电极背面电极体外部的前部电极冷却单元，前部电极冷却单元。通过前方手电筒冷却单元的前电极的冷却量大于后方电极主体的冷却量。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式