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    • 73. 发明授权
    • 코팅물의 패턴화 방법
    • 图案化涂层的方法
    • KR100789569B1
    • 2007-12-28
    • KR1020060073085
    • 2006-08-02
    • 주식회사 엘지화학
    • 김지수신동명김대현김성현유상문허윤희김한수윤정애
    • H01L21/027
    • 본 발명은 a) 홈부를 갖는 기판의 상기 홈부에 코팅물을 충진하는 단계; b) 평판을 상기 기판의 홈부가 구비된 면에 압착하여 상기 홈부에 충진된 코팅물을 평판으로 전사하는 단계; 및 c) 상기 평판으로 전사된 코팅물을 피인쇄체의 피인쇄면에 접촉시킴으로써 상기 평판 상의 코팅물을 상기 피인쇄체에 전사하는 단계를 포함하는 코팅물의 패턴화 방법을 제공한다. 이 방법은 공정이 간단하고, 코팅물, 바람직하게는 전자 소재와 같은 기능성 물질을 고정밀 및 고속도로 균일하게 미세 패턴화할 수 있다.
      코팅, 패턴 형성
    • 本发明提供了一种制造半导体器件的方法,包括以下步骤:a)用涂覆材料填充具有凹槽部分的基板的凹槽; b)将平板压在具有凹槽部分的基板表面上,并将填充在凹槽部分中的涂层材料转移到平板上; 并且c)通过使转印到平板上的涂层与基板的待印刷表面接触,将平板上的涂层转移到基板上。 该方法工艺简单,并且可以高精度和高速度均匀地精细地图案化功能材料,例如涂层材料,优选电子材料。