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    • 64. 发明公开
    • 공정 배출가스 흐름 내에 함유된 클로로실란 혼합물로부터 헥사클로로디실란의 회수 방법
    • 从工艺废气流中含有的氯硅烷混合物中回收六氯乙硅烷的方法
    • KR1020170091623A
    • 2017-08-09
    • KR1020177015427
    • 2015-11-20
    • 실리콘 프로덕츠 비터펠트 게엠베하 앤드 코. 카게
    • 실레이,미카엘카츠,마르틴샤프,프리드리히
    • C01B33/107B01J31/02
    • C01B33/107C01B33/10778B01J31/0237B01J31/0239
    • 본발명은, x = 1 및 y = 0~3이고 x = 2 및 y = 0~5인일반화학식 SiHCl를가지면서공정배출가스흐름내에함유된클로로실란혼합물들로부터헥사클로로디실란의회수를위한방법에관한것이다. 그러므로본 발명의과제는, x는 1이고 y는 0~2인일반화학식 SiHCl의모노실란과수소의열 반응동안발생하는기재한클로로실란혼합물로부터높은수율로헥사클로로디실란의분리를가능하게하는방법을제공하는것에있다. 상기과제의해결은, x = 1 및 y = 0~3이고 x = 2 및 y = 0~5인일반화학식 SiHCl를가지면서공정배출가스흐름내에함유된클로로실란혼합물로부터헥사클로로디실란의회수를위한방법에있어서, 배출가스흐름들또는이들의부분들은액상으로변환되고그런후에일반화학식 SiHCl(x = 2, y = 1~5)을가지면서클로로실란혼합물내에함유된부분수소화된클로로실란이추가로촉매반응되어헥사클로로디실란을형성하며, 그리고생성된혼합물로부터는헥사클로로디실란이증류분리되는것을특징으로하는, 상기헥사클로로디실란의회수방법으로실행된다.
    • 本发明中,x = 1和y = 0〜3,且x = 2和y = 0〜5,其同时具有从包含在处理废气流为六氯乙硅烷的回收氯硅烷混合物中的通式的SiHCl < 因此,本发明的目的,x是1,y是0至通式的SiHCl甲硅烷2和,使六氯乙硅烷的分离与来自所述的氯硅烷混合物以高收率发生而热反应的氢 提供一种方法。 解决上述问题的,X = 1和y = 0〜3,且x = 2和y = 0〜5,其同时具有通式的SiHCl六氯乙硅烷的从氯硅烷混合物中含有的处理废气流中的数 为废气流,或这些部件的方法被转化为液相的是通式后的SiHCl(X = 2,Y = 1〜5),同时具有部分氢化的氯硅烷所增加的成本包含在氯硅烷混合物 为了形成六氯乙硅烷,通过蒸馏和分离从所得混合物中分离出六氯乙硅烷,通过上述方法回收六氯乙硅烷。