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    • 43. 发明公开
    • 광학 기판으로부터의 반사를 감소시키기 위한 코팅막, 반사 감소 방법 및 장치
    • 一种用于减少来自光学基板的反射的涂膜,反射降低方法和装置
    • KR1020000070538A
    • 2000-11-25
    • KR1019997006783
    • 1997-12-12
    • 하랜드 피터 디.맥코이 비. 빈센트
    • 하랜드피터디.맥코이비.빈센트
    • C23C16/02
    • C03C17/30C03C17/225C03C17/256C03C17/32C03C17/328C03C17/34C03C17/42C03C2217/732C03C2217/734C23C16/52G02B1/11G02B1/111C03C2218/153
    • 반사방지(AR) 코팅물질로광학기판(optical substrate)을코팅하는방법이개시된다. 입사하는광의각도와파장에따라코팅된제품(article)으로부터사람의시각기관이지각하는지각반사율(perceived reflectance)을감소시키기위해프레넬반사계수들(Fresnel reflection coefficients)의곱을감소시키도록코팅물질과그 두께를정한다. 작은챔버를진공처리하고난 뒤, 아르곤(Ar) 또는질소(N)와같은화학적비활성기체를사용하여세척한다. 하나이상의분자성선구(先驅) 물체를플라즈마기상증착(plasma enhanced vapor deposition) 방법으로증착하여 AR 필림을형성한다. 유기, 유기실리콘및/또는무기복수막(multilayers)과함께조정된두께를갖는플루오로폴리머(fluoropolymer)를기초로한단일 AR 코팅막이기술된다. 또한, 편광발광다이오드, 편광필터(polarizing optical filter) 및포토다이오드(photodiode)를사용하여, 광학적으로막성장(film growth)을관찰하기위한방법이개시된다. 상기반사방지성질을갖는단일막및 복수막을형성하기위해모니터로부터의피드백(feedback)을사용하여선구물질의흐름을조절한다.
    • 公开了一种用抗反射(AR)涂层材料涂覆光学基材的方法。 根据入射光的角度和波长减少菲涅尔反射系数的乘积以减少来自涂布制品的人类视觉系统的感知反射率的方法, 厚度是确定的。 抽真空小室后,用化学惰性气体如氩气(Ar)或氮气(N)清洗。 通过等离子体增强气相沉积来沉积一个或多个分子前体以形成AR膜。 描述了基于具有调整厚度的含氟聚合物以及有机,有机硅和/或无机多层的单个AR涂膜。 还公开了使用偏振发光二极管,偏振光学滤波器和光电二极管来光学观察膜生长的方法。 来自监测器的反馈用于调节前体的流动以形成具有抗反射性质的单个膜和多个膜。