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    • 46. 发明公开
    • 카본 나노 튜브 배향 집합체의 제조 장치
    • 用于制造对准的碳纳米管组件的装置
    • KR1020120099573A
    • 2012-09-11
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    • C01B31/02B01J19/24
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    • 성장로(3a) 외부의 가스가 성장로(3a) 내의 가스에 혼입하는 것을 방지하는 가스 혼입 방지 수단(12, 13)을 구비하고, 가스 혼입 방지 수단(12, 13)은, 성장로(3a)의 촉매 기판(10)을 넣는 개구 및 취출하는 개구의 개구면을 따라서 시일 가스를 분사하는 시일 가스 분사부(12b, 13b)와, 해당 시일 가스가 해당 개구로부터 성장로(3a) 내에 들어가지 않도록 흡인하여 제조 장치(100)의 외부로 배기하는 배기부(12a, 13a)를 구비하는 것에 의해, 촉매를 담지한 기재를 연속적으로 반송하면서 카본 나노 튜브 배향 집합체를 제조하는 장치에서, 외기 혼입을 방지하는 동시에, 원료 가스 및/또는 촉매 부활 물질의 기재상에 있어서의 농도 분포, 유속 분포를 CNT의 제조에 적절한 범위 내에서 균일하게 제어하는 동시에, 성장로 내에 있어서의 가스의 흐름을 가능한 한 혼란시키지 않는 CNT 배향 집합체의 연속 제조 장치를 제공한다.
    • 提供一种用于在支撑催化剂的基板上连续生产排列的碳纳米管聚集体的生产设备(100),同时连续转移基板。 制造装置(100)包括用于防止存在于生长炉(3a)外的气体流入生长炉(3a)的气体混合防止装置(12,13)。 气体混合防止装置(12,13)包括:密封气体喷射部分(12b,13b),用于沿着(i)生长炉(3a)的开口的开口平面喷射密封气体,通过该密封气体喷射部分打开催化剂基底 10)被转移到生长炉(3a)和(ii)生长炉(3a)的开口,通过该开口将催化剂衬底(10)从生长炉(3a)中移出; 以及用于将密封气体从制造装置(100)抽出排出的排气部(12a,13a),使得密封气体不会通过生长炉(3a)的开口流入生长炉(3a) 。 制造装置(100)防止外部空气流入制造装置(100),在适于生产CNT的范围内均匀地控制原料的浓度分布和流量分布 气体和/或催化剂活化材料,并且不会在生长炉(3a)中尽可能多地扰乱气流。