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31. 发明授权

KR100262740B1 박막형 광로 조절 장치의 구동 회로 失效
标题翻译： TMA驱动电路
公开(公告)号：KR100262740B1
公开(公告)日：2000-08-01
申请号：KR1019970081707
申请日：1997-12-31
申请人： 대우전자주식회사
发明人： 나대희
IPC分类号： G02F1/015
摘要： PURPOSE: An active circuit of a thin film actuated mirror array is to directly drive the M number of columns and the N number of rows, using a decoder and a plurality of switches. CONSTITUTION: A driving controller(410) generates a row switching control data and a column switching control data consisting of a predetermined bit, using a clock pulse and a synchronous signal supplied from the outside. A column decoder(420) generates a column switching signal corresponding to the column switching control data generated in the driving controller. A column switching unit(430) provides an image signal supplied from the outside to one of the M number of source lines, on the basis of the column switching signal generated in the column decoder. A row decoder(440) generates the row switching signal for turning on one of the N number of gate lines, on the basis of the row switching control data generated in the driving controller. The column switching unit consists of the M number column switches using a MOS transistor.
摘要翻译：目的：薄膜致动反射镜阵列的有源电路是使用解码器和多个开关直接驱动M列数和N行数。构成：使用由外部提供的时钟脉冲和同步信号，驱动控制器（410）产生行切换控制数据和由预定位组成的列切换控制数据。列解码器（420）产生与驱动控制器中生成的列切换控制数据相对应的列切换信号。列切换单元（430）根据在列解码器中生成的列切换信号，提供从外部向M个源线中的一个提供的图像信号。行解码器440基于在驱动控制器中产生的行切换控制数据产生用于接通N条栅极线中的一个的行切换信号。列切换单元由使用MOS晶体管的M号列开关组成。

32. 发明授权

KR100262739B1 박막형 광로 조절 장치의 구동 회로 失效
标题翻译： TMA驱动电路
公开(公告)号：KR100262739B1
公开(公告)日：2000-08-01
申请号：KR1019970081706
申请日：1997-12-31
申请人： 대우전자주식회사
发明人： 나대희
IPC分类号： G02F1/015
摘要： PURPOSE: An active circuit of a thin film actuated mirror array is to selectively drive a plurality of target pixels among the MxN unit pixels installed in the thin film actuated mirror array, using a decoder and a plurality of switches. CONSTITUTION: A driving controller(410) generates row switching control data and column switching control data consisting of a predetermined bit, using a clock pulse and a synchronous signal supplied from the outside. A column storage unit(420) stores the column switching control data generated in the driving controller for a while, and outputs the stored column switching control data at a time. A column switching unit(430) selectively applies an image signal supplied from the outside to the M number of column lines, on the basis of the column switching control data output from the column storage unit. A row storage unit(440) stores the row switching control data generated in the driving controller for a while, and selectively outputs the stored row switching control data to the N number of row lines.
摘要翻译：目的：薄膜致动反射镜阵列的有源电路是使用解码器和多个开关来选择性地驱动安装在薄膜致动反射镜阵列中的MxN单位像素中的多个目标像素。构成：驱动控制器（410）使用从外部提供的时钟脉冲和同步信号来生成由预定位组成的行切换控制数据和列切换控制数据。列存储单元（420）存储在驱动控制器中产生的列切换控制数据一段时间，并且一次输出存储的列切换控制数据。列切换单元（430）根据从列存储单元输出的列切换控制数据，有选择地将从外部提供的图像信号应用于M列列线。行存储单元440将在驱动控制器中产生的行切换控制数据存储一段时间，并且选择性地将存储的行切换控制数据输出到N行行。

33. 发明公开

KR1020000044828A 티엠에이용 구동기판 无效
标题翻译：驱动薄膜薄膜微阵列阵列驱动
公开(公告)号：KR1020000044828A
公开(公告)日：2000-07-15
申请号：KR1019980061328
申请日：1998-12-30
申请人： 대우전자주식회사
发明人： 이종권
IPC分类号： G02F1/015
摘要： PURPOSE: A TMA device is provided to improve the contrast and to enlarge the driving angle of the actuator by increasing the amount of electricity which is the image signal input to the actuator. CONSTITUTION: A device comprises a driving element(100), a silicon substrate(10), a field oxide layer(20), an oxide layer(30), an insulation layer(40), a protection layer(50), an etching preventing layer(60), a source electrode(70), a drain electrode(80), a gate electrode(90), a gate oxide layer(95), an actuator(200), a membrane(210), a low electrode(220), an electroplasive(230), an upper electrode(240), and a contact electrode(250). The applied image signal is provided to the actuator through the metal pad connected to the drain electrode. The large amount of electricity is provided to the low electrode through the contact electrode which is connected with the metal pad and therefore quite large amount of electricity is formed in the lower and the upper part electrode. The electroplasive formed between the lower part electrode and the upper part electrode transforms according to the amount of electricity and as a result, the driving signal of the actuator is increased.
摘要翻译：目的：提供TMA装置以通过增加图像信号输入到致动器的电量来改善对比度并且增大致动器的驱动角度。构成：器件包括驱动元件（100），硅衬底（10），场氧化物层（20），氧化物层（30），绝缘层（40），保护层（50），蚀刻源电极（70），漏电极（80），栅电极（90），栅氧化层（95），致动器（200），膜（210），低电极（220），电沉积（230），上电极（240）和接触电极（250）。施加的图像信号通过连接到漏电极的金属焊盘提供给致动器。通过与金属焊盘连接的接触电极向低电极提供大量的电力，因此在下部电极和上部电极中形成相当大的电量。形成在下部电极和上部电极之间的电镀根据电量的变化，结果致动器的驱动信号增加。

34. 发明公开

KR1020000044822A 박막형 광로조절장치의 얼라인 키 无效
标题翻译：薄膜微型阵列驱动器件的对准键
公开(公告)号：KR1020000044822A
公开(公告)日：2000-07-15
申请号：KR1019980061322
申请日：1998-12-30
申请人： 대우전자주식회사
发明人： 최영준
IPC分类号： G02F1/015
摘要： PURPOSE: An align key of the TMA device is provided to increase the production yield and to carry out the mask aligning process easily by depositing the second metal layer on the align key. CONSTITUTION: A device comprises a TMA module(1), a driving substrate(5), a transistor(40), an insulation layer(70), a protection layer(75), a second metal layer(80), a first sacrificial layer(85), an align key(90), an align part(95), an actuator(100), and a driving mirror(200). The actuator is formed on the upper part of the driving substrate and the driving mirror is formed on the upper part of the actuator. The driving substrate includes a plurality of transistors and the protection layer is provided on the driving substrate in order to protect the transistors from being destroyed. The low temperature oxide layer and the first metal layer are formed on the MOS transistor. The metal layer comprises a source line which is electrically connected with the source area, a drain pad which is electrically connected with the drain area and a gate line which is connected with the gate poly in the crossing direction with the source line.
摘要翻译：目的：提供TMA装置的对准键以提高产量，并通过将第二金属层沉积在对准键上来容易地进行掩模对准过程。构成：器件包括TMA模块（1），驱动衬底（5），晶体管（40），绝缘层（70），保护层（75），第二金属层（80），第一牺牲层层（85），对准键（90），对准部（95），致动器（100）和驱动镜（200）。致动器形成在驱动基板的上部，驱动镜形成在致动器的上部。驱动基板包括多个晶体管，并且保护层设置在驱动基板上，以保护晶体管不被破坏。低温氧化物层和第一金属层形成在MOS晶体管上。金属层包括与源极区域电连接的源极线，与漏极区域电连接的漏极焊盘和与源极线在与交叉方向连接的栅极线。

35. 发明公开

KR1020000044821A 주름 형상 박막형 광로조절장치 无效
标题翻译：薄膜微型扫描器阵列驱动器件
公开(公告)号：KR1020000044821A
公开(公告)日：2000-07-15
申请号：KR1019980061321
申请日：1998-12-30
申请人： 대우전자주식회사
发明人： 김명진
IPC分类号： G02F1/015
摘要： PURPOSE: A TMA device with fold is provided to reduce the stress put on the actuator and to reduce the voltage needed to maintain the transformation of the actuator by extending the piezoelectric part. CONSTITUTION: A device comprises an active matrix(5), a drain pad(10), a membrane(30, 130), a lower electrode(35, 135), an electroplasive(40, 140), an upper electrode(45, 145), an actuator(65, 165), a fixing end(61), a free end(62, 162), a mirror post(70b), and a mirror(75). The active matrix comprises a semiconductor like silicon and a plurality of MOS transistors. The drain pad(10) which is electrically connected with the drain electrode of the MOS transistor id formed on one end of the active matrix. The actuator includes the membrane, lower electrode, electroplasive, and the upper electrode. The drain pad and the upper electrode is electrically connected with fixing end. The mirror post is formed on the free end of the actuator and the mirror is supported by the mirror post. Furthermore, the free end of the actuator is formed to have folds.
摘要翻译：目的：提供具有折叠的TMA装置，以减少施加在致动器上的应力，并通过延伸压电部件来降低维持致动器转换所需的电压。构成：装置包括有源矩阵（5），排水垫（10），膜（30,130），下电极（35,135），电镀（40,140），上电极（45， 145），致动器（65,165），固定端（61），自由端（62,162），镜柱（70b）和反射镜（75）。有源矩阵包括半导体像硅和多个MOS晶体管。漏极焊盘（10）与形成在有源矩阵的一端上的MOS晶体管的漏电极电连接。致动器包括膜，下电极，电镀和上电极。漏极焊盘和上部电极与固定端电连接。镜柱形成在致动器的自由端上，反射镜由镜柱支撑。此外，致动器的自由端形成为具有折痕。

36. 发明公开

KR1020000044805A 박막형 광로조절장치의 변형층 제조방법 无效
标题翻译：电薄膜微阵列驱动器件的电沉积制造方法
公开(公告)号：KR1020000044805A
公开(公告)日：2000-07-15
申请号：KR1019980061305
申请日：1998-12-30
申请人： 대우전자주식회사
发明人： 민동훈
IPC分类号： G02F1/015
摘要： PURPOSE: A manufacturing method is provided to improve the driving characteristic of the actuator by evening the density inside the electroplasive and by preventing the formation of vacancy on the lower electrode. CONSTITUTION: A device comprises a driving substrate(5), a membrane(30), a lower electrode layer(35), an electrodisplasive(40), an upper electrode(45), a driving mirror(60), and an actuator(65). A manufacturing method comprises a step of forming and drying a part of the electroplasive on the lower part electrode with a first sol-gel-coating process; a step of carrying out the RTA heat treatment so that the nucleation is formed on the part of the dried electroplasive; a step of forming and drying the other part of the electroplasive with sol-gel-coating process on the part of the crystalized electroplasive; and a step of carrying out the second RTA heat treatment in order to crystalize the whole electroplasive.
摘要翻译：目的：提供一种制造方法，以提高致动器的驱动特性，并且通过晚上电镀前的密度和防止在下电极上形成空位。构成：一种装置包括驱动基板（5），膜（30），下电极层（35），电解液（40），上电极（45），驱动反射镜（60）和致动器 65）。一种制造方法包括用第一溶胶 - 凝胶涂覆法在下部电极上形成和干燥电镀部分的步骤; 进行RTA热处理以使成核在干燥的电镀部分上形成的步骤; 通过溶胶 - 凝胶涂覆工艺在结晶化电镀部分上形成和干燥电镀的另一部分的步骤; 以及进行第二次RTA热处理以使整个电镀结晶化的步骤。

37. 发明公开

KR1020000044801A 티엠에이 프로젝션 시스템의 휘도 레벨 조절 장치 및 방법 无效
标题翻译：薄膜阵列投影系统的亮度控制装置及其方法
公开(公告)号：KR1020000044801A
公开(公告)日：2000-07-15
申请号：KR1019980061301
申请日：1998-12-30
申请人： 대우전자주식회사
发明人： 한종영
IPC分类号： G02F1/015
摘要： PURPOSE: A device and method is provided to improve the overall function and to set the maximum brightness value automatically by measuring the brightness level using the sensor of the image signal. CONSTITUTION: A device comprises a driving substrate(100), a semiconductor substrate(110), a drain electrode(115), a source electrode(120), a gate electrode(125), a field oxide layer(130), an insulation layer(135), a metal layer(140), a protection layer(145), an etching preventing layer(150), an actuator(200). A manufacturing method comprises a step of sequentially changing and outputting the image signal in the boundary of the whole voltage level; a step of measuring the brightness level corresponding to the output image signal; a step of detecting the voltage level corresponding to the maximum brightness level; a step of setting output voltage level corresponding to the image signal; and a step of controlling the voltage level into a corresponding level to the output voltage level.
摘要翻译：目的：提供一种设备和方法，以通过使用图像信号的传感器测量亮度水平来自动提高整体功能和设置最大亮度值。构成：装置包括驱动基板（100），半导体基板（110），漏电极（115），源电极（120），栅电极（125），场氧化物层（130），绝缘层层（135），金属层（140），保护层（145），防蚀层（150），致动器（200）。一种制造方法包括在整个电压电平的边界中顺序地改变和输出图像信号的步骤; 测量与输出图像信号对应的亮度级别的步骤; 检测与最大亮度等级对应的电压电平的步骤; 设置与图像信号对应的输出电压电平的步骤; 以及将电压电平控制到与输出电压电平相对应的电平的步骤。

38. 发明公开

KR1020000044209A 액티브 매트릭스형 박막 광로조절장치 및 그 제조방법 无效
标题翻译：主动矩阵型薄膜微型扫描器阵列驱动器件及其制造方法
公开(公告)号：KR1020000044209A
公开(公告)日：2000-07-15
申请号：KR1019980060700
申请日：1998-12-30
申请人： 대우전자주식회사
发明人： 주상백
IPC分类号： G02F1/015 , G02F1/136
摘要： PURPOSE: A manufacturing method of the TMA device is provided to control the tilde operation of the mirror which is driven by the actuator more accurately by analyzing the detection signal of the tilde difference. CONSTITUTION: A device comprises a membrane(10), a common line(12), a mirror(14), a post(16), a lower electrode layer(18), an electrodisplacive(20), an upper electrode layer(22), an insulation layer(106), a first metal layer(104), and a contact hole(44). A manufacturing method comprises a step of forming the etching preventing layer on the protection layer; a step of exposing a part of the etching preventing layer by forming holes on the mirror cell area; a step of exposing a part of the drain pad of the first switching element; a step of covering the resulting material with the second insulation layer; a step of forming the membrane; a step of forming the common line on the membrane; a step of forming the electrodisplacive on the lower electrode layer; and a step of forming the first contact electrode layer which connects the lower electrode layer and the drain pad of the first switching element.
摘要翻译：目的：提供TMA装置的制造方法，通过分析波浪音差的检测信号来更精确地控制由致动器驱动的反射镜的波浪号操作。构成：装置包括膜（10），公共线（12），反射镜（14），柱（16），下电极层（18），电显示（20），上电极层（22）），绝缘层（106），第一金属层（104）和接触孔（44）。一种制造方法包括在保护层上形成防蚀层的步骤; 通过在镜盒单元区域上形成孔而露出一部分防蚀层的步骤; 暴露所述第一开关元件的所述漏极焊盘的一部分的步骤; 用第二绝缘层覆盖所得材料的步骤; 形成膜的步骤; 在膜上形成共同线的步骤; 在下电极层上形成电致位移的步骤; 以及形成连接第一开关元件的下电极层和漏极焊盘的第一接触电极层的步骤。

39. 发明公开

KR1020000044197A 박막형 광로조절 장치의 제조 방법 无效
标题翻译：薄膜微型阵列驱动器件的制造方法
公开(公告)号：KR1020000044197A
公开(公告)日：2000-07-15
申请号：KR1019980060688
申请日：1998-12-30
申请人： 대우전자주식회사
发明人： 황규호
IPC分类号： G02F1/015
摘要： PURPOSE: A manufacturing method of a TMA device is provided to increase the driving angle of the actuator and to prevent bending phenomena of the actuator by disallowing the first and second electrodisplacive being formed on the connection part of the lower electrode. CONSTITUTION: A device comprises an active matrix(100), a substrate(101), a transistor(120), a first metal layer(135), a first protection layer(140), a second metal layer(145), a second protection layer(150), an etching preventing layer(155), a first sacrificial layer(160), a supporting layer(170), a first anchor(171), and a supporting line(174). A manufacturing method comprises the steps of: providing the active matrix including the first metal layer which has the drain pad extended from the drain of the transistor; forming a first layer, a second layer, a lower electrode layer and upper electrode layer on the upper part of the active matrix; forming the actuator including the first and second upper electrode, first and second electrodisplacives and the lower electrode by patterning the lower part electrode layer, the second layer and the upper part electrode layer sequentially; and forming a mirror on the upper part of the actuator.
摘要翻译：目的：提供TMA装置的制造方法，以增加致动器的驱动角度，并且通过不允许形成在下电极的连接部分上的第一和第二电致位移来防止致动器的弯曲现象。构造：器件包括有源矩阵（100），衬底（101），晶体管（120），第一金属层（135），第一保护层（140），第二金属层（145），第二保护层（150），防蚀层（155），第一牺牲层（160），支撑层（170），第一锚固件（171）和支撑线（174）。一种制造方法包括以下步骤：提供包括从晶体管的漏极延伸的具有漏极焊盘的第一金属层的有源矩阵; 在有源矩阵的上部形成第一层，第二层，下电极层和上电极层; 通过对下部电极层，第二层和上部电极层进行构图来形成包括第一和第二上部电极，第一和第二电致位移器和下部电极的致动器; 并在致动器的上部形成反射镜。

40. 发明公开

KR1020000044185A 박막형 광로조절 장치의 제조방법 无效
标题翻译：薄膜微型阵列驱动器件的制造方法
公开(公告)号：KR1020000044185A
公开(公告)日：2000-07-15
申请号：KR1019980060676
申请日：1998-12-30
申请人： 대우전자주식회사
发明人： 박해석
IPC分类号： G02F1/015
摘要： PURPOSE: A manufacturing method of the TMA device is provided to prevent the mirror from breaking off the post by safely protecting the aluminum applied at the post by the thick photo-resist layer and by connecting the mirror and the post safely thereof. CONSTITUTION: A device comprises a substrate(101), a transistor(120), a first metal layer(135), a first protection layer(140), a second metal layer(145), a second protection layer(150), an etching preventing layer(155), a first sacrificial layer(160), a post(250), a first anchor(171), a second anchor(172a), a lower electrode(180), and a mirror(260). A manufacturing method comprises the steps of: providing an active matrix including the first metal layer which has the drain pad extended from the drain of the transistor; exposing the part of the first metal layer in which the drain pad is formed; forming the actuator including the first and second upper electrode, first and second electrodisplacives and the lower electrode by patterning the lower part electrode layer, the second layer and the upper part electrode layer sequentially; forming a post hole by patterning the second sacrificial layer; and forming a metal layer which has reflectivity.
摘要翻译：目的：提供TMA装置的制造方法，以通过安全地保护由厚光致抗蚀剂层在柱上施加的铝并通过安全地连接反射镜和柱来防止反射镜从柱上断裂。构造：器件包括衬底（101），晶体管（120），第一金属层（135），第一保护层（140），第二金属层（145），第二保护层（150），第二保护层防蚀层（155），第一牺牲层（160），柱（250），第一锚（171），第二锚（172a），下电极（180）和反射镜（260）。一种制造方法包括以下步骤：提供包括第一金属层的有源矩阵，该第一金属层具有从晶体管的漏极延伸的漏极焊盘; 露出其中形成有漏极焊盘的第一金属层的一部分; 通过对下部电极层，第二层和上部电极层进行构图来形成包括第一和第二上部电极，第一和第二电致位移器和下部电极的致动器; 通过图案化第二牺牲层来形成柱孔; 并形成具有反射性的金属层。

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