会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 35. 发明公开
    • 포토스피너설비의 분사불량 제어장치
    • KR1020060028870A
    • 2006-04-04
    • KR1020040077750
    • 2004-09-30
    • 삼성전자주식회사
    • 박상욱
    • H01L21/027
    • H01L21/67253B05C11/1026G03F7/162H01L21/6715
    • 본 발명은 스피너설비에서 케미컬 용액의 분사불량을 검출하여 제어하는 분사불량 제어장치에 관한 것이다.
      포토스피너설비에서 노즐을 통해 분사되는 케미컬용액의 분사불량상태를 검출하여 공정사고를 예방하기 위한 본 발명에 따른 포토스피너설비의 분사불량 제어장치는, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 포토스피너설비의 분사불량 제어장치는, 케미컬 공급라인에 설치되어 분사되는 케미컬용액의 잔여방울이 떨어지지 않도록 흡입작용을 하는 석백밸브; 상기 석백조절밸브의 말단에 연결되어 케미컬 용액을 분사하는 노즐; 상기 노즐의 하단부에 설치되어 상기 노즐을 통해 분사되는 케미컬용액의 분사상태를 감지하여 석백밸브의 불량상태를 검출하는 석백감지센서; 상기 석백감지센서로부터 감지된 신호를 받아 상기 석밸밸브의 불량 유무를 검출하여 경보발생 제어신호 및 인터록신호를 발생하는 콘트롤러; 를 포함한다.
      케미컬용액 도포, 유량제어, 분사불량, 분사, 공정불량