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    • 25. 发明公开
    • 고출력 반도체 레이저 다이오드 어레이
    • 高输出半导体激光二极管阵列
    • KR1020050083238A
    • 2005-08-26
    • KR1020040011645
    • 2004-02-21
    • 엘지전자 주식회사
    • 김철회
    • H01S5/30
    • H01S5/3205H01S5/405H01S2304/02H01S2304/04
    • 본 발명은 고출력 반도체 레이저 다이오드 어레이에 관한 것으로, GaAs 기판 상부에 n-클래드층, n-웨이브 가이드층, 활성층, p-웨이브 가이드층과 식각 방지층이 순차적으로 적층되어 있고, 상기 식각 방지층 상부에 p-클래드층, 버퍼층과 캡층으로 이루어진 상호 분리된 복수개의 리지들이 형성되어 있고, 상기 캡층과 복수개의 리지들을 감싸는 p-금속층이 형성되어 있고, GaAs 기판 하부에 n-금속층이 형성되어 있는 고출력 반도체 레이저 다이오드에 있어서, 상기 복수개의 리지들 중, 중심 영역의 리지들의 폭(W1)은, 양측면의 리지들의 폭(W2)보다 작게 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
      따라서, 본 발명은 반도체 레이저 다이오드 어레이의 중심부에 있는 리지들의 폭을 가장자리에 있는 리지 폭보다 작게 형성하여, 온도 분포를 균일하게 하고, 중심부분에 비발광 재결합을 줄여 고출력을 얻을 수 있는 효과가 발생한다.