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21. 发明授权

KR100818561B1 배관 내 공정 부산물 제거 방법 및 이를 수행하기 위한장치 有权
标题翻译：用于排除管道中处理过程的方法和设备的方法
公开(公告)号：KR100818561B1
公开(公告)日：2008-04-01
申请号：KR1020060117501
申请日：2006-11-27
申请人： (주)플라즈마텍
发明人： 박재경
IPC分类号： F16L55/24 , B08B9/02
摘要： A method and an apparatus for eliminating by-products are provided to prevent by-products from being accumulated and stuck to the inner surface of pipes of vacuum discharge line in a semiconductor manufacturing apparatus or an LCD(Liquid Crystal Display) production apparatus. A method of eliminating process by-products includes supplying materials generated after treating nitrogen trifluoride gas(NF3) and oxygen gas with high temperature plasma to a pipe of vacuum discharge line where process by-products are accumulated and stuck on the inner surface of the pipe. An apparatus implementing the method includes a plasma treatment chamber(100) to generate high temperature plasma, a gas supply line(120) connected to the front of the plasma treatment chamber for supplying nitrogen trifluoride gas and oxygen gas, and a pipe(150) connected to the pipe(200) of the vacuum discharge line of a semiconductor manufacturing apparatus or an LCD production apparatus.
摘要翻译：提供一种用于消除副产物的方法和装置，以防止在半导体制造装置或LCD（液晶显示器）制造装置中副产物积聚并粘附到真空排出管的管内表面。消除过程副产物的方法包括将处理三氟化氮气体（NF 3）和氧气与高温等离子体产生的材料供给到真空排放管线，其中过程副产物积聚并粘附在管的内表面上。实现该方法的装置包括：等离子体处理室（100），用于产生高温等离子体;气体供应管线（120），其连接到用于供应三氟化氮气体和氧气的等离子体处理室的前部;以及管道（150）连接到半导体制造装置或LCD制造装置的真空排出管线的管道（200）。

22. 发明授权

KR100783793B1 과불화탄소 가스 처리장치 有权
标题翻译： PFCS气体的SCRUBBER
公开(公告)号：KR100783793B1
公开(公告)日：2007-12-10
申请号：KR1020060100373
申请日：2006-10-16
申请人： (주)플라즈마텍
发明人： 박재경
IPC分类号： B01D53/32
CPC分类号： Y02C20/30
摘要： A system for treating perfluorocarbon gases is provided to pass through an arc part of a high temperature plasma although a perfluorocarbon gas to be treated is supplied in a high flow amount and to make it possible to collect even byproducts of fine particles that have not been melted into water. A system for treating perfluorocarbon gases comprises a plasma treatment chamber(100), a water treatment chamber, and a wet type electrostatic precipitator. The plasma treatment chamber includes: a housing(110); two annular electrodes(111a,111b) vertically disposed on an inner peripheral surface of the housing such that the annular electrodes are spaced from each other; a plate shaped electrode(113) disposed on a top part of the housing such that the plate shaped electrode crosses the housing; a perfluorocarbon gas feeding line(120) connected to a portion of the housing between the two annular electrodes; a nitrogen gas feeding line(140) connected to a portion of the housing between the upper annular electrode(111a) and the plate shaped electrode; and a power supply unit(130a) connected to the upper annular electrode(111a) and the plate shaped electrode to generate a high voltage and a low electric current having high stability, and a power supply unit(130b) connected to the lower annular electrode(111b) and the plate shaped electrode to generate a low voltage and a high current having high power.
摘要翻译：提供用于处理全氟化碳气体的系统以通过高温等离子体的弧形部分，尽管以高流量供给待处理的全氟化碳气体，并且可以收集甚至未熔化的细颗粒的副产物进水用于处理全氟化碳气体的系统包括等离子体处理室（100），水处理室和湿式静电除尘器。等离子体处理室包括：壳体（110）; 两个环形电极（111a，111b）垂直设置在壳体的内周表面上，使得环形电极彼此间隔开; 设置在所述壳体的顶部上的板状电极（113），使得所述板状电极与所述壳体交叉; 全氟化碳气体供给管线（120），其连接到两个环形电极之间的壳体的一部分; 连接到所述壳体的所述上环形电极（111a）和所述板状电极之间的部分的氮气供给管线（140）以及连接到上环形电极（111a）和板状电极以产生高稳定性的高电压和低电流的电源单元（130a），以及连接到下环形电极的电源单元（130b）（111b）和板状电极，以产生具有高功率的低电压和高电流。

23. 发明公开

KR1020170106532A 전기 집진기의 퍼지 히터 제어 장치 审中-实审
标题翻译：电除尘器的模糊加热器控制装置
公开(公告)号：KR1020170106532A
公开(公告)日：2017-09-21
申请号：KR1020160028703
申请日：2016-03-10
申请人： (주)플라즈마텍
发明人： 박재경
IPC分类号： H05B1/02 , H05B3/00 , B03C3/34 , B03C3/02
摘要： 전기집진기의퍼지히터제어장치가제공된다. 본발명의일 실시예에따른전기집진기의퍼지히터제어장치는, 전기집진기의애자실에외기를가열하여공급하는퍼지히터를제어하기위한전기집진기의퍼지히터제어장치에있어서, 상기퍼지히터에인가되는전원을차단또는연결하는릴레이부; 상기퍼지히터로유입되는외기의온도및 습도를감지하는외기온습도감지부; 및상기온습도감지부에의해감지된상기외기의온도및 습도에기초하여상기릴레이부를제어하는제어부를포함한다.
摘要翻译：提供了一种静电除尘器的净化加热器控制装置。在根据本发明的一个实施例的电除尘器的吹扫加热器控制装置在静电除尘器装置的吹扫加热器控制被施加用于控制吹扫加热器将热量供应外部空气到静电除尘器的绝缘体室，在净化加热器中继单元，用于将电源断开或连接到电源; 外部温度和湿度感测单元，用于感测流入净化加热器的外部空气的温度和湿度; 以及控制器，用于基于由温度/湿度感测单元感测的外部空气的温度和湿度来控制中继单元。

24. 发明授权

KR101124709B1 플라즈마용 전원 공급 장치 有权
标题翻译：用于生成等离子体的电源
公开(公告)号：KR101124709B1
公开(公告)日：2012-03-20
申请号：KR1020080118429
申请日：2008-11-26
申请人： (주)플라즈마텍
发明人： 박재경
IPC分类号： H05H1/36 , H05H1/24
摘要： 본 발명은 장치의 부피를 줄이고, 효율을 높이면서 제조 비용을 줄일 수 있는 플라즈마용 전원 공급 장치에 관한 것이다.
이를 위해 3상의 교류 전압을 공급하는 3상 전원 공급부; 상기 3상 전원 공급부에 연결되어 상기 교류 전압을 승압시키는 초기 변압기 및 상기 초기 변압기에 연결되어 상기 교류 전압을 직류 전압으로 정류하고, 플라즈마 장치의 시동 전압으로 인가하는 정류기; 상기 3상 전원 공급부에 연결되어 상기 3상의 교류 전압을 6상의 교류 전압으로 변압하는 한 쌍의 주 변압기 및 상기 주 변압기에 연결되어, 상기 6상의 교류 전압을 두 개의 직류 전압으로 정류하여 상기 플라즈마 장치에 인가하는 양배압 정류기를 포함하는 플라즈마용 전원 공급 장치가 개시된다.
플라즈마, 전원, 3상, 양배압

25. 发明公开

KR1020110024398A 진공증발을 이용한 폐수처리장치 无效
标题翻译：使用真空蒸发器的废水净化器
公开(公告)号：KR1020110024398A
公开(公告)日：2011-03-09
申请号：KR1020090082384
申请日：2009-09-02
申请人： (주)플라즈마텍
发明人： 박재경
IPC分类号： C02F1/04
CPC分类号： C02F1/04 , C02F2201/002 , C02F2209/003 , C02F2301/063
摘要： PURPOSE: A waste water treatment apparatus using vacuum evaporation is provided to separately treat waste water into purified water and concentrated water based on the minimum supply of energy. CONSTITUTION: A heater(110) includes a vapor separator(120), a vacuum pump(130), a heat exchanger(140), and a branch pipeline(160). Wasted water is pre-heated to evaporated by the heater. The vapor separator arranges a space for vapor generated from the heater. The vacuum pump is installed at the exit part of the vapor separator and inhales and discharges the vapor. The heat exchanger is in connection with a vacuum pump outlet and implements a heat exchanging operation with respect to the wasted water and pressured vapor. The branch pipeline guides the vapor generated from the heat exchanger to the vapor separator.
摘要翻译：目的：提供一种使用真空蒸发的废水处理设备，可以根据最小的能源供应量将废水分别单独处理为纯净水和浓缩水。构成：加热器（110）包括蒸汽分离器（120），真空泵（130），热交换器（140）和分支管道（160）。废水经加热器预热蒸发。蒸汽分离器为从加热器产生的蒸气排列空间。真空泵安装在蒸气分离器的出口部分，吸入并排出蒸气。热交换器与真空泵出口连接，对废水和加压蒸汽进行热交换操作。分支管道将从热交换器产生的蒸汽引导到蒸气分离器。

26. 发明公开

KR1020100120926A 플라즈마 토치 有权
标题翻译：等离子喷枪
公开(公告)号：KR1020100120926A
公开(公告)日：2010-11-17
申请号：KR1020090039801
申请日：2009-05-07
申请人： (주)플라즈마텍
发明人： 박재경
IPC分类号： F23G7/06 , F23D14/38 , H05H1/26
CPC分类号： F23G7/063 , F23D14/38 , F23G2204/201 , H05H1/26
摘要： PURPOSE: A plasma torch, which improves the disassembly efficiency of the wasted gas by passing the wasted gas through a high temperature of a plasma region, is provided to secure the high pyrolysis efficiency by increasing the contact area and time between plasma and peroxide fluoro carbon gas. CONSTITUTION: A plasma torch comprises an upper electrode(130), a cylindrical housing(140), a bottom electrode(150) and a wasted gas supply line(160). The inside wall of the upper part of the cylindrical housing is separated from the lower flank of the upper electrode as a predetermined distance in order to form an arc part. The bottom electrode is located in the lower part of the housing. The wasted gas supply line supplies gas to the arc chamber at the side of the upper electrode in a tangential direction.
摘要翻译：目的：提供通过使废气通过等离子体区域的高温来提高废气的分解效率的等离子体焰炬，以通过增加血浆与过氧化物氟碳之间的接触面积和时间来确保高热解效率加油站。构成：等离子体焰炬包括上电极（130），圆柱形壳体（140），底部电极（150）和废气供应管线（160）。圆柱形壳体的上部的内壁与上电极的下侧面以预定的距离分开，以便形成弧形部分。底部电极位于壳体的下部。废气供给管线沿着切线方向向上电极侧的电弧室供给气体。

27. 发明授权

KR100817303B1 혼산 배기 가스 처리 장치 및 방법 有权
标题翻译：用于处理混合酸的废气的装置和方法
公开(公告)号：KR100817303B1
公开(公告)日：2008-03-27
申请号：KR1020060109381
申请日：2006-11-07
申请人： (주)플라즈마텍
发明人： 박재경
IPC分类号： B03C3/16 , B01D47/06
CPC分类号： B01D47/06 , B03C3/014 , B03C3/78 , B03C2201/10
摘要： An acid mixed exhaust gas treating apparatus and a method are provided to treat the acid mixed exhaust gas completely by coarsening ultrafine particles of the acid mixed exhaust gas by combining the ultrafine particle of the acid mixed exhaust gas and atomized water particles, and then electrically precipitating the coarse ultrafine particle. An acid mixed exhaust gas treating apparatus for treating the acid mixed exhaust gas discharged during an acid and base cleansing process of a semiconductor manufacturing process is composed of a coarsening chamber(200) for coarsening ultrafine particles of the acid mixed exhaust gas by spraying atomized water to the acid mixed exhaust gas and an electric precipitation chamber(300) installed at the lower part of the coarsening chamber to electric-precipitate the coarsened ultrafine particles of the acid mixed exhaust gas. An atomizer(210) for spraying the water after atomizing the water is installed in the coarsening chamber.
摘要翻译：提供一种酸性混合废气处理装置和方法，通过将酸性混合废气的超细颗粒与雾化水颗粒结合，将酸性混合废气的超细颗粒粗化，完全处理酸混合废气，然后电沉淀粗超微粒子。一种用于处理在半导体制造过程的酸碱基清洗过程中排出的酸混合废气的酸混合废气处理装置由用于通过喷雾雾化水来粗化酸混合废气的超细颗粒的粗化室（200）和沉淀室下部的电析出室（300），使粗混合废气中的超微细粒子电解析出。用于在雾化水之后喷洒水的雾化器（210）安装在粗化室中。

28. 发明公开

KR1020040103655A 백연 제거장치 失效
标题翻译：没有使用热交换器去除白色电源的设备
公开(公告)号：KR1020040103655A
公开(公告)日：2004-12-09
申请号：KR1020030034714
申请日：2003-05-30
申请人： (주)플라즈마텍 , 박재경
发明人： 박재경 , 최찬규
IPC分类号： B01D53/34
CPC分类号： B01D53/323 , B01D53/30 , B03C3/38 , B03C3/40 , E04F17/02
摘要： PURPOSE: To provide an apparatus for removing white plume, which is able to remove the white plume without using a heat exchanger and improve white plume removing efficiency by directly capturing moisture. CONSTITUTION: The apparatus comprises a high voltage generation part (24) that receives an alternating current power to generate a high voltage alternating current power, a rectification part (25) that converts the alternating current voltage of the high voltage generating part into a direct current voltage, a plurality of cathode lines (23) that emits electrons by receiving a negative voltage of the rectification part to make moisture in exhaust gas be negatively charged, at least one positive electrode plate (22) that receives a positive voltage of the rectification part to capture negatively charged moisture and a reactor (26) that prevents generation of surge between the cathode line and rectification part.
摘要翻译：目的：提供一种去除白羽的装置，能够在不使用热交换器的情况下除去白羽，并通过直接捕获水分提高白羽去除效率。构成：该装置包括接收交流电力以产生高压交流电力的高电压产生部分（24），将高电压产生部分的交流电压转换成直流电的整流部分（25）通过接收整流部分的负电压以使排气中的水分发射电子的多个阴极线（23）被带负电;至少一个正极板（22），其接收整流部分的正电压以捕获带负电荷的水分和反应器（26），其防止阴极线和整流部分之间产生浪涌。

29. 实用新型

KR200327535Y1 인조 손톱의 프린트 장치 失效
标题翻译：人造指甲印刷装置
公开(公告)号：KR200327535Y1
公开(公告)日：2003-09-22
申请号：KR2020030016924
申请日：2003-05-30
申请人： (주)플라즈마텍 , 박재경
发明人： 박재경 , 최찬규
IPC分类号： A45D31/00
摘要： 본 고안은 인조 손톱의 프린트 장치에 관한 것으로, 종래에는 수작업으로 인조 손톱에 문양을 프린트하여 생산성이 저하되는 문제점이 있었다. 이와 같은 문제점을 감안한 본 고안은 인조 손톱의 프린트 장치는 표면에 손톱형상으로 돌출되는 다수의 돌출부 구비하여, 그 돌출부에 인조 손톱의 저면을 밀착시켜 실장 함이 가능한 하판과, 압착에 의해 프린트 대상물에 프린트되는 문양이 포함되는 시트지 롤을 실장 하는 시트지 롤 실장부와, 상기 시트지 롤 실장부에 실장된 시트지 롤의 끝단이 연결되어, 회전에 의해 상기 시트지 롤의 시트지가 상기 하판의 상부를 지나 이송되도록 하는 롤링부와, 상기 하판의 상부에서 소정거리 이격되어 위치하며, 탄성을 가지는 저면을 제공하여, 상기 하판에 실장된 인조 손톱의 상부에 시트지를 압착하여 그 인조 손톱에 시트지의 문양을 프린트하는 압착부와, 사용자의 설정에 따라 상기 압착부와 롤링부의 동작을 제어하는 제어부로 구성된다. 이와 같은 구성에 의하여 본 고안은 자동으로 시트지를 이송하고, 그 시트지를 인조 손톱의 곡면인 표면에 압착하여 그 인조 손톱에 색상, 문양 등을 자동으로 프린트 할 수 있게 되어, 생산성을 향상시키는 효과가 있다.

30. 发明授权

KR101896511B1 연기 제거 장치 및 이의 제어 모니터링 시스템 有权
公开(公告)号：KR101896511B1
公开(公告)日：2018-09-10
申请号：KR1020160156665
申请日：2016-11-23
申请人： (주)플라즈마텍
发明人： 박재경 , 이재호 , 기동호
IPC分类号： B01D53/75 , B01D47/06 , B01D53/78 , B01D53/32 , B01D53/86 , B05B17/06 , B05B1/10 , B01D53/30
CPC分类号： Y02A50/235
摘要： 연기제거장치및 이의제어모니터링시스템이제공된다. 본발명의일 실시예에따른연기제거장치는, 연기가유입되어외부로배출되는본체; 상기연기에초미세수분을분사하여상기연기에포함된유증기및 미세먼지에상기초미세수분을공급하여조대화시키는초미세분사부; 상기초미세수분에의해조대화된유증기및 미세먼지에고전압을인가하여하전시키며, 상기연기에고전압을인가하여상기연기에포함된산소를오존으로변환시키는방전부; 상기하전된유증기및 미세먼지를집진하는집진부; 촉매를이용하여상기오존을분해하고, 상기연기내의 VOC를상기오존의분해에의해생성된활성산소및 상기촉매를이용하여분해하는촉매반응부; 및상기집진부에집진된유증기및 미세먼지를주기적으로세정하는세정부를포함한다.

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