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    • 14. 发明授权
    • 전하결합소자 센스앰프의 모스 트랜지스터
    • 用于传感放大器的电容耦合器件的MOSTRANSISTOR
    • KR100300070B1
    • 2001-09-28
    • KR1019990018828
    • 1999-05-25
    • 현대반도체 주식회사
    • 이서규심진섭
    • H01L29/78
    • 본발명은전하결합소자센스앰프의모스트랜지스터에관한것으로, 종래전하결합소자센스앰프의모스트랜지스터는 ONO구조의게이트산화막을사용하여숏채널효과가발생되고, 트랜스콘덕턴스특성이저하되어원하는이득과주파수범위를갖을수 없어전하결합소자의특성을저하시키는문제점이있었다. 이와같은문제점을감안한본 발명은기판과; 상호소정거리이격되며, 기판의표면으로부터소정깊이까지위치하는고농도소스및 드레인과; 상기고농도소스및 드레인과그 고농도소스와드레인의사이기판의상부전면에위치하는게이트산화막과; 상기고농도소스및 드레인의상부측게이트산화막의상부에적층된제1산화막, 질화막및 제2산화막과; 상기제1산화막, 질화막및 제2산화막의적층구조사이의게이트산화막상에위치하는게이트전극으로구성하여소자의집적화가심화되는경우에도숏채널효과의발생을억제할수 있으며, 상대적으로얇은게이트산화막을사용하여트랜스콘덕턴스를향상시킴과아울러기생커패시턴스를줄여센스앰프의감도를향상시킴으로써전하결합소자의특성을향상시키는효과가있다.
    • 16. 发明公开
    • 고체촬상소자
    • KR1019990081249A
    • 1999-11-15
    • KR1019980015084
    • 1998-04-28
    • 현대반도체 주식회사
    • 심진섭이서규
    • H01L27/148
    • 본 발명은 고체촬상소자에 관한 것으로, HCCD 영역의 마지막단 전송게이트의 나비를 다른 전송게이트들 보다 더 크게 형성함하여 HCCD 영역의 종단부에서 FD 영역 까지 급격하게 이루어지는 신호전하의 MERGE를 완화시키기 위하여, 반도체 기판에 광전환변환영역, 수직전하전송영역, 수편전하전송영역 및 신호검출부가 형성되는 고체촬상소자의 구조에서, 상기 수평전송전하영역의 반도체 기판 상부에 다수개가 배열되되, 마지막단이 다른단에 비해 너비가 크도록 형성되는 전송게이트들과, 상기 전송게이트들 중 마지막단 전송게이트 다음에 위치하도록 형성되는 출력게이트와, 상기 출력게이트 다음에 형성되는 플로팅확산영역을 포함하며, HCCD 영역을 통하여 이송된 신호전하가 HCCD 영역의 종단부에서 FD 영역 까지의 MERGE가 완만하게 이루어지기 때문에 이 부분에서 전위 프로파일이 역경사가 일어나는 것을 방지할 수 있어서, 전하전송효율을 증가시켜 뚜렷한 영상을 재현할 수 있다.