会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 12. 发明公开
    • 유기금속 화학기상증착 장치
    • 金属有机化学气相沉积装置
    • KR1020060093175A
    • 2006-08-24
    • KR1020050013987
    • 2005-02-21
    • 삼성전기주식회사
    • 신영철조수행
    • C23C16/18C23C16/00
    • 서로 다른 공정 온도와 공정 분위기를 정확하고 용이하게 구현할 수 있는 유기금속 화학기상증착 장치를 제공한다. 본 발명에 따른 유기금속 화학기상 증착 장치는, 서로 다른 공정 조건을 구현할 수 있는 제1 공정 챔버 및 제2 공정 챔버와; 상기 제1 공정 챔버와 제2 공정 챔버 사이에 배치되어 상기 제1 공정 챔버와 제2 공정챔버 간에 기판이 이동할 수 있도록 통로를 제공하는 로드락 챔버를 포함한다. 상기 제1 및 제2 공정 챔버 각각에는 소스 가스를 공급하기 위한 하나 이상의 가스 도입 라인이 연결되어 있다. 상기 제1 및 제2 공정 챔버 내에는, 기판이 안치되는 서셉터와, 기판을 가열하는 히터와, 상기 가스 도입 라인에 연결되어 기판 상에 소스 가스를 분사하는 가스 분사 부재가 설치되어 있다.
      유기금속 화학기상증착, 챔버, 반응로