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    • 100. 发明公开
    • 점화 및 플라즈마 유지를 위한 일차 권선을 갖는 변압기 결합 플라즈마 발생기
    • 变压器联轴器等离子发生器,具有第一次上升到IGNITE并持续等离子体
    • KR1020160049635A
    • 2016-05-10
    • KR1020140146990
    • 2014-10-28
    • 최도현
    • 최도현
    • H05H1/46H01F27/28
    • H05H1/46H01F27/28H05H1/00
    • 본발명의변압기결합플라즈마발생기는플라즈마방전채널을형성하는챔버바디를갖는플라즈마챔버, 챔버바디에결합된마그네틱코어와일차권선코일을갖는변압기, 일차권선코일로플라즈마발생전력을공급하는교류스위칭전원을포함한다. 일차권선코일은상기플라즈마방전채널과용량성결합을형성하기위한용량성결합면을갖는다. 본발명의플라즈마발생기는플라즈마방전채널내에서변압기결합된플라즈마와더불어용량성결합된플라즈마가복합적으로발생될수 있음으로넓은범위의기압조건에서안정적으로플라즈마를점화및 유지할수 있다.
    • 本发明的目的是提供一种变压器耦合等离子体发生器,其具有能够将变压器的初级绕组电容耦合到等离子体放电通道的改进结构,从而提高等离子体点火和维持性能。 根据本发明的变压器耦合等离子体发生器包括:等离子体室,其包括形成等离子体放电通道的室主体; 变压器,其包括磁芯和连接到所述室主体的初级绕组线圈; 以及向初级绕组线圈供给等离子体发电电力的交流开关电源。 初级绕组线圈具有电容耦合表面,以便电容耦合到等离子体放电通道。 因此,在根据本发明的等离子体发生器中,电容耦合等离子体以及变压器耦合等离子体可以在等离子体放电通道中复杂地产生,并且可以在宽的压力范围内稳定地点燃和维持等离子体 条件。