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1. 发明授权

KR102480251B1 레이저 빔 프로파일러 유닛 및 레이저 가공 장치 有权
公开(公告)号：KR102480251B1
公开(公告)日：2022-12-21
申请号：KR1020180094764
申请日：2018-08-14
IPC分类号： H01S3/00 , G02B26/02 , B23K26/064 , B23K103/00
摘要： (과제) 실제로피가공물에조사되는집광후의레이저빔의프로파일을정확하게측정가능한레이저빔 프로파일러유닛및 레이저가공장치를제공한다. (해결수단) 레이저발진기 (24) 로부터발진되는레이저광선의강도분포를측정하는프로파일러유닛으로서, 레이저발진기 (24) 로부터발진되고, 집광렌즈 (26) 에서집광된레이저광선의스폿직경을확대하는확대광학계 (73) 와, 레이저광선을감쇠시키는제 1 투과프리즘 (72) 과, 이제 1 투과프리즘 (72) 에서반사된레이저광선을더욱감쇠시키는제 2 투과프리즘 (74) 과, 이제 2 투과프리즘 (74) 에서반사된레이저광선을수광하는촬상소자 (77) 와, 촬상소자 (77) 의수광데이터로부터레이저광선 (201) 의스폿의강도분포를해석하는해석부 (80) 를포함한다.

2. 发明授权

KR102459645B1 레이저를 이용한 미세 가공 장치 및 방법 有权
公开(公告)号：KR102459645B1
公开(公告)日：2022-10-28
申请号：KR1020220088520
申请日：2022-07-18
IPC分类号： B23K26/382 , B23K26/064 , B23K26/0622 , B23K103/00

3. 发明授权

KR102434395B1 단면 FCCL 기재의 양면 패터닝을 위한 레이저 가공방법 有权
公开(公告)号：KR102434395B1
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：KR1020220058843
申请日：2022-05-13
IPC分类号： H05K3/00 , H05K1/03 , G02B3/00 , C03C4/00 , C03C3/06 , B23K26/064
摘要： 본발명은기재측 가공에따른동박층의손상을방지또는최소화할수 있어제품의품질을향상시킬수 있도록하고간단하게양면화를가능하게할 수있도록구현한단면 FCCL 기재의양면패터닝을위한레이저가공방법에관한것으로, (A) 폴리이미드필름층의일측에동박층이형성된단면 FCCL을기재로구비하는단계; (B) 상기단면 FCCL의폴리이미드필름층의타측이상면에위치하도록배치한다음, 상기폴리이미드필름층의상부에자외선투과유리를배치하는단계; 및 (C) 상기자외선투과유리를투과하여폴리이미드필름층의필요부위를태워제거하도록레이저조사장치를통해조사되는 UV 레이저를이용하여동박층타측의비오픈면을오픈(open)시켜양면화를진행하는단계;를포함한다.

4. 发明授权

KR102393981B1 열처리 장치용 다이오드 레이저 모듈 有权
公开(公告)号：KR102393981B1
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：KR1020200162943
申请日：2020-11-27
IPC分类号： H01S5/02253 , B23K26/064 , B23K26/08
摘要： 본발명은금속등의재료가공에이용되는열처리장치용다이오드레이저모듈에관한것이다. 상기열처리장치용다이오드레이저모듈은복수의 MCCP(Micro Channel Cooled Package)가적층된구조의다이오드레이저스택이한 쌍으로제공되고, 상기한 쌍의다이오드레이저스택이공통의결상부를향해일정한경사각도(θ)를갖도록병렬배치되되, 한쌍의스택각각은 Slow Axis 및 Fast Axis 방향으로의빔 제어를위한 SAC(Slow Axis Collimator) 및 FAC(Fast Axis Collimator)를포함하는광학유닛세트를독립적으로구비하는것을특징으로하며, 선택적으로상기한 쌍의스택각각은서로다른규격의광학유닛세트를복수로구비하고, 서로다른규격의광학유닛세트를사용환경에따라전환하기위한스위칭기구를더 포함할수 있다.

5. 发明授权

KR102377331B1 라인빔 광학계 및 이를 포함하는 레이저 리프트 오프 장치 有权
公开(公告)号：KR102377331B1
公开(公告)日：2022-03-21
申请号：KR1020200010379
申请日：2020-01-29
IPC分类号： B23K26/064 , G02B6/02 , G02B6/10 , B23K26/073
摘要： 본발명에따른라인빔광학계는광원을출력하는레이저발생부, 레이저발생부로부터출력된광원을수용하여일단으로부터타단으로전달하는섬유부, 적어도하나이상의미러를가지는라인빔성형부를포함하여전달받은광원을반사하는등의방식을통해일정한길이및 두께를가지는라인빔(Line beam)으로형성할수 있다. 이때, 라인빔성형부는제1 곡률을가지는제1 미러와, 제2 곡률을가지는제2 미러를포함함으로써전체적인라인빔광학계의경량화및 소형화가가능하고, 사용자가원하는길이및 두께를가지는라인빔을용이하게형성할수 있는이점이있다.

6. 发明公开

KR1020220023716A 레이저 가공 장치 및 레이저 가공 방법 审中-实审
公开(公告)号：KR1020220023716A
公开(公告)日：2022-03-02
申请号：KR1020210108218
申请日：2021-08-17
IPC分类号： B23K26/53 , B23K26/064 , B23K26/0622
摘要： 레이저가공장치는광원유닛과, 반사형공간광 변조기와, 집광부와, 검출부와, 제어부를구비하고, 제어부는레이저광을복수로분기하는제1 분기패턴을반사형공간광 변조기에표시시키는제1 처리와, 반사형공간광 변조기에제1 분기패턴이표시된상태에있어서레이저광이출사되도록광원유닛을제어하는제2 처리와, 제1 분기패턴에의한분기후의각 레이저광의반사광이검출되도록검출부를제어하는제3 처리와, 검출부에의한검출결과에기초하여분기후의각 레이저광의반사광의휘도를도출하는제4 처리와, 도출한휘도에기초하여, 분기후의각 레이저광의출력이균일화되도록제1 분기패턴을보정한제2 분기패턴을생성하는제5 처리를실행한다.

7. 发明授权

KR102359284B1 레이저광 조사 장치 및 레이저광 조사 방법 有权
公开(公告)号：KR102359284B1
公开(公告)日：2022-02-07
申请号：KR1020187023297
申请日：2017-03-03
IPC分类号： B23K26/035 , B23K26/064 , G02F1/13
摘要： 레이저광조사장치는레이저광을발생시키는레이저광원과, 위상패턴을표시하는표시부를가지는공간광 변조기와, 공간광 변조기에서출사된레이저광을대상물에집광하는대물렌즈와, 표시부에있어서의레이저광의상을대물렌즈의입사동공면에전상하는전상광학계와, 대상물에입사되어레이저광입사면과는반대측의반대면에서반사된레이저광의반사광을검출하는반사광검출기와, 표시부에표시하는위상패턴을제어하는제어부를구비한다. 제어부는, 반사광검출기로반사광을검출할때, 소정두께의 2배의두께를가지는대상물을레이저광이투과하는것으로했을경우에발생하는수차를보정하는위상패턴인반사광수차보정패턴을, 표시부에표시시킨다.

8. 发明授权

KR102349371B1 패브리 페로 간섭 필터 및 패브리 페로 간섭 필터의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102349371B1
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：KR1020187024826
申请日：2017-05-01
IPC分类号： G02B26/00 , B23K26/064 , B81B3/00 , B81C1/00 , G01J3/02 , G02B5/28
摘要： 패브리페로간섭필터(1)는제1 표면(11a)을갖는기판(11)과, 제1 표면(11a)에배치된제1 미러부(31)를갖는제1 적층체(22)와, 공극 S를통해제1 미러부(31)와대향하는제2 미러부(32)를갖는제2 적층체(24)와, 제1 적층체(22)와제2 적층체(24) 사이에있어서공극 S를획정하는중간층(23)을구비한다. 기판(11)은제1 표면(11a)에수직인방향에서보았을경우중간층(23)의외연보다도외측에위치하는외연부(11c)를갖는다. 제2 적층체(24)는중간층(23)을피복하는피복부(33)와외연부(11c)에서의제1 표면(11a) 상에위치하는주연부(34)를더 갖는다. 제2 미러부(32), 피복부(33) 및주연부(34)는서로연속하도록일체적으로형성되어있다. 주연부(34)는외연부(11c)의외연을따라박화되어있다.

9. 发明授权

KR102329079B1 레이저 가공품의 제조 방법 및 레이저 가공품 有权
公开(公告)号：KR102329079B1
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：KR1020180069880
申请日：2018-06-18
IPC分类号： B23K26/26 , B23K26/70 , B23K26/064 , B23K101/36
摘要： 레이저가공개소를갖는레이저가공품의제조방법으로서, 레이저발진부(10)와빔 분할부(17)와촬상부(15)를이용하여행한다. 상기제조방법은, 상기레이저발진부(10) 및상기빔 분할부(17)를이용하여기준조사면상에복수의조사스폿(32, 33)을포함하는조사패턴의조사흔(31)을형성하는것, 조사흔(31)의화상을촬상부(15)에의해취득하는것, 상기화상상에서, 조사흔(31)에포함되는복수의조사스폿(32, 33)의위치에기초하는대표위치를결정하는것, 상기대표위치의목표위치로부터의어긋남량을결정하는것, 상기어긋남량에기초하여조사위치를보정하면서, 레이저가공개소를형성하는것을포함한다.

10. 发明授权

KR102310753B1 레이저 가공 장치 有权
公开(公告)号：KR102310753B1
公开(公告)日：2021-10-07
申请号：KR1020180015066
申请日：2018-02-07
IPC分类号： H01L21/67 , B23K26/38 , H01L21/78 , H01L21/76 , B23K26/064
摘要： (과제) 본발명의과제는, 간소한구성이라도, 폴리곤미러에의해가공방향과레이저광선의분산방향을소정의관계로유지할수 있는레이저가공장치를제공하는것에있다. (해결수단) 본발명에의하면, 피가공물을유지하는유지수단 (6) 과, 그유지수단 (6) 에유지된피가공물 (웨이퍼 (10)) 에레이저광선을조사하는레이저광선조사수단 (24) 과, 그유지수단 (6) 과그 레이저광선조사수단 (24) 과 X 방향으로상대적으로가공이송하는 X 방향이동수단과, 그유지수단 (6) 과그 레이저광선조사수단 (24) 과 X 방향이동수단과직교하는 Y 방향으로상대적으로가공이송하는 Y 방향이동수단을적어도포함하고, 그레이저광선조사수단 (24) 은, 레이저광선을발진하는레이저발진기 (242) 와, 그레이저발진기 (242) 가발진한레이저광선을소정의분산각도로분산시켜 X 방향으로스캔하는폴리곤미러 (245) 와, X 방향으로스캔된레이저광선을그 유지수단 (6) 에유지된피가공물 (웨이퍼 (10)) 에집광하는집광기 (241) 와, 그폴리곤미러 (245) 와그 집광기 (241) 사이에배치형성되어레이저광선의스캔방향을반전시키는반전기 (246) 로적어도구성되는레이저가공장치 (2) 가제공된다.

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