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    • 2. 发明公开
    • 반도체 불휘발성 메모리 소자 및 그 제조 방법
    • 半导体非易失性存储元件及其制造方法
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    • 반도체집적회로장치내의정전류원을구성하는소자로서, 반도체불휘발성메모리소자를사용한다. 반도체불휘발성메모리소자는, 컨트롤게이트전극, 플로팅게이트전극, 소스/드레인단자를갖고, 컨트롤게이트전극아래에얇은제 1 게이트절연막과, 반도체집적회로장치의동작전압보다과대한전압을인가하여도파괴되지않는두께를갖는제 2 게이트절연막을구비하여, 드레인단자로부터동작전압보다과대한전하를제 2 게이트절연막을통해서플로팅게이트전극으로주입함으로써임계치전압을조정할수 있어, 동작전압범위내에서는주입캐리어가리크되지않는노멀리온형의반도체불휘발성메모리소자로되어있다.
    • 在半导体集成电路器件中构成恒流源的器件使用非易失性半导体存储器件。 非挥发性半导体存储器件包括控制栅电极,浮栅电极,源极漏极端子,控制栅电极下的第一薄栅极绝缘膜,以及具有防止损坏的厚度的第二栅极绝缘膜, 施加超过半导体集成电路器件的工作电压的电压。 从漏极端子通过第二栅极绝缘膜注入超过工作电压的电荷,以调整阈值电压。 因此,常开型非易失性半导体存储器件可以防止注入载体在工作电压范围内的泄漏。