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1. 发明授权

KR101107757B1 하이브리드 유도 자기 박막 센서를 이용한 복합형 비파괴 검사 장치 有权
标题翻译：使用混合磁感应薄膜传感器的复杂型无损检测装置
公开(公告)号：KR101107757B1
公开(公告)日：2012-01-20
申请号：KR1020100042342
申请日：2010-05-06
申请人： (주)파워쿨 , 영남대학교 산학협력단
发明人： 김종호 , 나용배 , 신동문 , 김기현
IPC分类号： G01N27/82 , G01N27/72
CPC分类号： G01R33/05 , G01B7/003 , G01N27/87
摘要： 본 발명은 하이브리드 유도 자기 박막 센서를 이용한 복합형 비파괴 검사 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 여기 코일에 교류 자기장을 인가하여 피검체에 유도 자속을 유도함과 동시에 영구자석을 이용하여 피검체를 자화시켜 상기 피검체에 유도된 자속의 변화와 누설 자속을 박막 센서내 센서 코어에 권선되어 있는 코일부로 검출함으로써, 피검체내 포함된 결함의 크기를 정량적으로 검사할 수 있을 뿐만 아니라 전문적인 조작이 필요 없이 간단한 조작으로 결함을 탐지할 수 있고, 한 번의 측정으로 피검체의 표면, 이면, 내부 및 외부의 결함을 모두 탐지할 수 있으며, 피검체의 재질이 자성체이든 비자성체이든 상관없이 모두 탐상이 가능한 효과가 있다.

2. 发明公开

KR1020110122964A 하이브리드 유도 자기 박막 센서를 이용한 복합형 비파괴 검사 장치 有权
标题翻译：使用混合磁感应薄膜传感器的复合型非结构检测装置
公开(公告)号：KR1020110122964A
公开(公告)日：2011-11-14
申请号：KR1020100042342
申请日：2010-05-06
申请人： (주)파워쿨 , 영남대학교 산학협력단
发明人： 김종호 , 나용배 , 신동문 , 김기현
IPC分类号： G01N27/82 , G01N27/72
CPC分类号： G01R33/05 , G01B7/003 , G01N27/87
摘要： PURPOSE: A complex non-destructive inspecting device using a hybrid induced magnetic film sensor is provided to quantitively inspect the size of defects in a target and detect defects regardless of the material of a target and the position of a defective part. CONSTITUTION: A complex non-destructive inspecting device using a hybrid induced magnetic film sensor comprises a signal generator(11), an AC power applying unit(12), a signal detecting unit(10), a filtering and amplifying unit(13), a data collecting unit(14), and a signal receiving computer(15). The signal generator supplies frequency to apply magnetic field(4) to an exited coil(3), which is inserted into the hybrid induced magnetic film sensor. The AC power applying unit comprises a power supply unit. The power supply unit supplies appropriate frequency of AC power to the signal generator.
摘要翻译：目的：提供一种使用混合感应磁膜传感器的复杂的非破坏性检查装置，以定量检查目标中的缺陷大小，并检测缺陷，而不管目标材料和缺陷部位的位置如何。构成：使用混合感应磁膜传感器的复杂的非破坏性检查装置包括信号发生器（11），交流电力施加单元（12），信号检测单元（10），滤波放大单元（13）数据收集单元（14）和信号接收计算机（15）。信号发生器提供频率以将磁场（4）施加到被插入到混合感应磁性膜传感器中的退出线圈（3）。交流电力施加单元包括电源单元。电源单元向信号发生器提供适当的交流电源频率。

3. 发明授权

KR101056763B1 마이크로 타입의 결함 탐상 장치 및 센서부의 제조 방법 有权
标题翻译：微型缺陷检测装置和传感器单元的制造方法
公开(公告)号：KR101056763B1
公开(公告)日：2011-08-12
申请号：KR1020090046258
申请日：2009-05-27
申请人： (주)파워쿨
发明人： 나용배 , 김종호 , 김기현
IPC分类号： G01N27/82 , G01N27/83
CPC分类号： G01N27/83
摘要： 본 발명은 마이크로 타입의 결함 탐상 장치 및 센서부의 제조 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 박막 타입의 영구자석과 하이브리드 비파괴박막센서를 이용하여 강자성체인 피측정체의 마이크로 타입의 표면 결함, 이면 결함 및 내면 결함에 따라 나타나는 누설되는 자속밀도의 변화를 정량적으로 분석할 수 있고, 결함 탐상 장치를 이용하여 판상, 관상의 피측정체에 대한 결함 부분을 측정할 수 있으며, 산업체 구조물의 결함의 진단뿐만 아니라 항공과 우주 및 의료분야에 걸친 고부가가치 산업과 관계된 새로운 고 신뢰성과, 고 분해능 및 고감도 센서에 대한 기술개발에 활기를 띠게 할 수 있고, 박막 타입의 영구자석과 하이브리드 비파괴박막센서를 이용하여 진단장치를 단순화시킴으로써, 생산 비용의 절감을 통해 가격 경쟁력을 상승시켜 측정 장치 전반에 대한 해외 기술 의존도를 감소시켜 외화를 절감하고, 중소 검사 업체의 기술력 및 경쟁력을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 국외 수출로 외화 획득에 기여할 수 있으며, 산업 구조물과 더불어 일반적인 구조물에서도 결함을 검사할 수 있으므로 기간산업과 의료산업과 플랜트 부분 및 항공산업 전반에 걸쳐 파급효과 및 기여도가 클 것은 물론 상기 산업분야에서 발생되는 미세한 결함을 통한 치명적인 사고의 발생 예측이 가능한 효과가 있다.
결함 탐상 장치, 영구자석, 비파괴박막센서, 자속밀도 변화, 정량적 분석, 구조물 결함 진단.
摘要翻译：本发明涉及一种用于生产微型缺陷检查装置和传感器单元的方法，是通过使用一个永久磁铁和薄膜型铁磁材料中，缺陷的混合无损薄膜的传感器来测量所述微对象的类型的更具体的表面缺陷，并可以定量分析由内部缺陷引起的漏磁通密度的变化，并且通过使用缺陷检查装置来测量板状或管状的待测对象的缺陷部分，航空航天和高整个医疗领域可启发，开发增值业技术的新的高可靠性和高的分辨率和高灵敏度的传感器，使用该薄膜型永久磁铁和混合的非破坏性薄膜传感器诊断装置相关联通过降低生产成本，从而提高价格竞争力。它可以减少对整个设备的外来依赖，减少外汇，提高中小检查公司的技术和竞争力，并有助于通过出口收购外汇，除了产业结构外，通过工业领域的微小缺陷以及整个医疗行业，工厂行业和航空业整体的溢出效应和贡献，可以预测致命事故的发生。

4. 发明公开

KR1020100126893A 자기박막센서 제조를 위한 베이킹 장치 및 방법 无效
标题翻译：烘烤系统及其制造方法
公开(公告)号：KR1020100126893A
公开(公告)日：2010-12-03
申请号：KR1020090045307
申请日：2009-05-25
申请人： (주)파워쿨
发明人： 신동문 , 김종호 , 김기현
IPC分类号： H01L21/027 , H01L21/02
CPC分类号： H01L43/12 , H01L21/67109 , G03F7/168 , G03F7/70891 , H01L21/67248
摘要： PURPOSE: A baking system and a manufacturing method for a magnetic thin film sensor are provided to improve the production yield of the magnetic thin film sensor by controlling a heater installed in the lower part of a chamber in real time. CONSTITUTION: A heater(102) heats the air inside a chamber. A temperature sensor(104) senses the internal temperature of the chamber. A controller(110) controls power supplied to the heater to maintain the internal temperature of the chamber. A power supply unit(118) supplies power to the heater according to a control signal which is outputted from the controller. A plate(106) supports the wafer inside the chamber.
摘要翻译：目的：提供一种用于磁性薄膜传感器的烘烤系统和制造方法，以通过实时控制安装在室的下部的加热器来提高磁性薄膜传感器的制造成品率。构成：加热器（102）加热室内的空气。温度传感器（104）感测室的内部温度。控制器（110）控制提供给加热器的电力以保持室的内部温度。电源单元（118）根据从控制器输出的控制信号向加热器供电。板（106）支撑室内的晶片。

5. 发明公开

KR1020100006969A 자기유도형 비파괴 센서를 위한 코발트-니켈-철 삼원계합금박막의 조성물 无效
标题翻译：用于磁感应型非接触式传感器的三合一系列合金薄膜的复合材料
公开(公告)号：KR1020100006969A
公开(公告)日：2010-01-22
申请号：KR1020080067350
申请日：2008-07-11
申请人： (주)파워쿨
发明人： 김기현 , 김종호 , 나용배 , 이재훈 , 신동문
IPC分类号： C25D3/56 , C22C19/07
CPC分类号： G01R33/028 , C25D3/562 , C22C19/07
摘要： PURPOSE: A composite of CoNiFe ternary series alloy thin film for a magnetic induction type nondestructive sensor is provided to have high saturation magnetic flux density and the small coercive force and to minimize the length of the magnetic core. CONSTITUTION: A composite of CoNiFe ternary series alloy thin film for a magnetic induction type nondestructive sensor comprises cobalt(Co), nickel(Ni) and iron(Fe). The component rate of cobalt, nickel, and iron is one of 62:10:28 weight%, 65:11:24 weight% or 67:11:22 weight%. The CoNiFe ternary thin film is made with the electroplating method The CoNiFe ternary thin film has the saturation magnetic flux density of 1.9T and coercive force of 0.5Oe. The composition of the cobalt-nickel-iron ternary alloy thin film for the magnetic induction type non-destructive sensor comprises cobalt, nickel and iron on a permalloy Ni80Fe20 layer. The thickness of the Ni80Fe20 layer is 1~3nm.
摘要翻译：目的：提供一种用于磁感应型非破坏性传感器的CoNiFe三元系列合金薄膜的复合材料，具有高的饱和磁通密度和小的矫顽力，并使磁芯的长度最小化。构成：用于磁感应型非破坏性传感器的CoNiFe三元系列合金薄膜的复合材料包括钴（Co），镍（Ni）和铁（Fe）。钴，镍和铁的组成比为62:10:28重量％，65:11:24重量％或67:11:22重量％之一。 CoNiFe三元薄膜由电镀法制成，CoNiFe三元薄膜的饱和磁通密度为1.9T，矫顽力为0.5Oe。用于磁感应型非破坏性传感器的钴镍铁三元合金薄膜的组成在坡莫合金Ni80Fe20层上包括钴，镍和铁。 Ni80Fe20层的厚度为1〜3nm。

6. 发明授权

KR101056751B1 자기누설탐상용 비파괴센서 및 제조방법 有权
标题翻译：用于漏磁测试的非破坏性传感器和制造方法
公开(公告)号：KR101056751B1
公开(公告)日：2011-08-22
申请号：KR1020090045308
申请日：2009-05-25
申请人： (주)파워쿨
发明人： 이재훈 , 김종호 , 김기현
IPC分类号： G01N27/82 , H01L21/027
CPC分类号： G01N27/87
摘要： 본 발명은 자기누설탐상용 비파괴센서 및 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 자로 형성부를 구성하는 자기박막부와 서브 자기박막부의 구조가 자성층과 절연층이 교대로 반복 배열된 형태를 이룸으로써, 와전류의 발생을 줄일 수 있고, 자기박막부와 서브 자기박막부가 자성층과 절연층이 교번 배열된 구조를 채용함으로써, 고주파에서의 와전류가 감소되므로 피검체의 결함 특성을 보다 고감도로 검출할 수 있으며, 비파괴센서를 이용하여 비파괴 진단 시스템을 구축할 수 있어 일반인까지도 쉽게 진단할 수 있는 실제 이미징 시스템을 구성한다면 검사 및 진단 시간이 단축되고, 인력 및 검사비용의 획기적인 절감을 가져올 수 있는 효과가 있다.
상기 본 발명인 자기누설탐상용 비파괴센서는 미세한 크랙을 검출하기 위해 자기장을 발생시키도록 전루가 인가되는 코일 및 상기 코일에 의해 발생한 자기장의 자로를 형성하는 자로 형성부를 구비하되, 상기 자로 형성부의 적어도 일부 영역은 자성층과 절연층이 교번 적층된 구조로 된 것을 특징으로 한다.
비파괴센서, 자로 형성부, 주 자기박막부, 서브 자기박막부, 자성층, 절연층, 교번 배열, 와전류 감소, 피검체 결함, 고감도 검출.
摘要翻译：更具体地说，构成磁路形成部分的磁性薄膜部分和子磁性薄膜部分具有交替重复排列磁性层和绝缘层的结构，可以减少涡电流的产生，并且磁性薄膜部分和副磁性薄膜部分交替地布置在磁性层和绝缘层中以降低高频涡流，使用非破坏性传感器可以被部署用于非破坏性的诊断系统，如果成像系统，该系统可以很容易地诊断，直到所述公共的实际配置具有可以带来显着的节约和检查测试的缩短诊断时间，劳力和费用的效果。

7. 发明公开

KR1020100127919A 마이크로 타입의 결함 탐상 장치 및 센서부의 제조 방법 有权
标题翻译：传感器部件微型和制造方法检测系统
公开(公告)号：KR1020100127919A
公开(公告)日：2010-12-07
申请号：KR1020090046258
申请日：2009-05-27
申请人： (주)파워쿨
发明人： 나용배 , 김종호 , 김기현
IPC分类号： G01N27/82 , G01N27/83
CPC分类号： G01N27/83
摘要： PURPOSE: A method for manufacturing a micro-type defect detecting system and a sensor unit is provided to measure the defective part of a pipe-shaped object by using a defect detecting device. CONSTITUTION: A method for manufacturing a micro-type defect detecting system and a sensor unit comprises a sensor unit(10), a signal processing unit(11), a data collection unit(12), and a data processing unit(13). The sensor unit senses a signal of magnetic field occurred from an object. The signal processing unit first filters and amplifies the sensed magnetic field signal. The data collection unit collects two or more data.
摘要翻译：目的：提供一种用于制造微型缺陷检测系统和传感器单元的方法，通过使用缺陷检测装置来测量管状物体的缺陷部分。构成：微型缺陷检测系统和传感器单元的制造方法，包括传感器单元（10），信号处理单元（11），数据采集单元（12）和数据处理单元（13）。传感器单元感测从物体发生的磁场的信号。信号处理单元首先对感测的磁场信号进行滤波和放大。数据收集单元收集两个或多个数据。

8. 发明公开

KR1020100126894A 자기누설탐상용 비파괴센서 및 제조방법 有权
标题翻译：用于磁泄漏测试和制造方法的非破坏性传感器
公开(公告)号：KR1020100126894A
公开(公告)日：2010-12-03
申请号：KR1020090045308
申请日：2009-05-25
申请人： (주)파워쿨
发明人： 이재훈 , 김종호 , 김기현
IPC分类号： G01N27/82 , H01L21/027
CPC分类号： G01N27/87 , G01N27/9033
摘要： PURPOSE: A non-destructive sensor for testing magnetic leakage and a manufacturing method thereof are provided to reduce eddy current, since a magnetic layer and an insulating layer are alternately and repeatedly are arranged in the structure of a magnetic thin film part and a sub magnetic thin film part which form a magnetic path forming part. CONSTITUTION: A non-destructive sensor for testing magnetic leakage comprises a magnetic path forming part which forms a magnetic path of a coil, on which current is applied for the generation of a magnetic field, and the magnetic field generated by the coil. A partial portion of the magnetic path forming part is formed by the alternate lamination of a magnetic layer and an insulating layer. A non-destructive sensor for testing magnetic leakage comprises a main magnetic thin film part(140), a magnetic thin film with the end, and a sub magnetic thin film part(130). The main magnetic thin film part comprises a magnetic layer(ML) which applies magnetic field for detecting fine cracks. The magnetic thin film part with the end has the end facing to the upper magnetic thin film part.
摘要翻译：目的：提供一种用于测试磁泄漏的非破坏性传感器及其制造方法，以减少涡流，因为磁性层和绝缘层交替重复地布置在磁性薄膜部分和次磁性体的结构中形成磁路形成部的薄膜部。构成：用于测试磁泄漏的非破坏性传感器包括磁路形成部分，该磁路形成部分形成线圈的磁路，在其上施加用于产生磁场的电流和由线圈产生的磁场。通过磁性层和绝缘层的交替叠层形成磁路形成部分的一部分。用于测试磁泄漏的非破坏性传感器包括主磁薄膜部分（140），具有端部的磁性薄膜和子磁性薄膜部分（130）。主磁性薄膜部分包括磁性层（ML），该磁性层施加用于检测细裂纹的磁场。具有端部的磁性薄膜部分的端部面向上部磁性薄膜部分。

9. 发明公开

KR1020100006607A 비파괴 센서용 단일 박막의 제조방법 无效
标题翻译：用于非导电传感器的单薄膜的生产方法
公开(公告)号：KR1020100006607A
公开(公告)日：2010-01-21
申请号：KR1020080066791
申请日：2008-07-10
申请人： (주)파워쿨
发明人： 김기현 , 김종호 , 나용배 , 이재훈 , 신동문
IPC分类号： H01L21/203 , H01L21/20
CPC分类号： G01R15/183 , G01R3/00 , G11B5/3109 , H01L21/288 , H01L21/02052 , H01L21/0273 , H01L21/2855
摘要： PURPOSE: A production method of a single thin film for a nondestructive sensor is provided to prevent the unevenness of electroplating deposition thickness of a main pattern by using an Electroplating. CONSTITUTION: A main pattern(80) and a dummy pattern(90) are designed so that they are formed on a wafer substrate(70). An electroplating is performed according to the shape on a wafer substrate. It is confirmed whether the thickness of a deposited thin film is uniform or not after plating. The dummy patterns are formed at three kind of 3mm,5mm, and 7mm according to the outside of the main pattern. The plating is performed at DC pulsed mode.
摘要翻译：目的：提供用于非破坏性传感器的单个薄膜的制造方法，以通过使用电镀来防止主图案的电镀沉积厚度的不均匀性。构成：将主图案（80）和虚设图案（90）设计成使其形成在晶片基板（70）上。根据晶片基板上的形状进行电镀。确认镀覆后的沉积薄膜的厚度是否均匀。虚拟图案根据主图案的外侧形成3mm，5mm，7mm的三种形状。电镀在DC脉冲模式下进行。

10. 发明公开

KR1020080070292A 교류자기장을 이용한 금속 피검체의 결함 탐지 장치 无效
标题翻译：使用替代磁场的金属对象的有缺陷的检测器
公开(公告)号：KR1020080070292A
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：KR1020070008183
申请日：2007-01-26
申请人： (주)파워쿨
发明人： 유영권 , 최정식 , 김종호 , 김기현
IPC分类号： G01N27/82 , G01N27/72
摘要： A detector for a flaw in a metal subject using an AC magnetic field is provided to directly check the kind of the flaw from information inputted to a signal receiving computer through a sensing and detecting unit and a pre-amplifying and filtering unit. A detector for a flaw in a metal subject using an AC magnetic field includes an AC applying unit(20), a sensing and detecting unit(30), a pre-amplifying and filtering unit(40), and a signal receiving computer(50). The AC applying unit includes a signal generator(21) and a power supply(22). The signal generator supplies a frequency to apply a magnetic field to a first coil inserted into a magnetizing yoke. The power supply supplies AC power to the signal generator. The sensing and detecting unit includes the magnetizing yoke, the first coil, and a second coil. The magnetizing yoke is not in contact with the subject. The first coil is inserted into the magnetizing yoke and forms the AC magnetic field through the signal generator. The second coil is wound around the magnetizing yoke and detects a change of magnetic flux induced to the subject. The pre-amplifying and filtering unit pre-amplifies and filters a signal detected by the sensing and detecting unit. The signal receiving computer calculates a position and a size of the flaw in the subject by processing the signal amplified and filtered in the pre-amplifying and filtering unit.
摘要翻译：提供使用AC磁场的金属物体中的缺陷的检测器，以通过感测和检测单元以及预放大和滤波单元来直接检查输入到信号接收计算机的信息中的缺陷的种类。使用交流磁场的金属物体中的缺陷的检测器包括AC施加单元（20），感测和检测单元（30），预放大和滤波单元（40）以及信号接收计算机（50））。交流施加单元包括信号发生器（21）和电源（22）。信号发生器提供频率以将磁场施加到插入到磁化轭中的第一线圈。电源为信号发生器提供交流电源。感测和检测单元包括磁轭，第一线圈和第二线圈。磁化轭不与被摄体接触。第一线圈插入到磁轭中，并通过信号发生器形成交流磁场。第二线圈缠绕在磁轭上，并检测对被摄体感应的磁通变化。预放大和滤波单元对由感测和检测单元检测到的信号进行预放大和滤波。信号接收计算机通过处理在预放大和滤波单元中放大和滤波的信号来计算被摄体中的缺陷的位置和大小。

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