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1. 发明授权

KR101984644B1 단열재 및 그 제조방법 有权
公开(公告)号：KR101984644B1
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：KR1020180109135
申请日：2018-09-12
申请人： 주식회사 코디엠
发明人： 하순종
IPC分类号： B32B15/04 , B32B15/20 , B32B5/18 , B32B3/28 , B32B38/06 , E04B1/80

2. 发明授权

KR101306038B1 디지털 노광기용 광학 엔진 有权
标题翻译：用于数字曝光装置的光学发动机
公开(公告)号：KR101306038B1
公开(公告)日：2013-09-09
申请号：KR1020110012750
申请日：2011-02-14
申请人： 주식회사 코디엠
发明人： 송요탁 , 위창현 , 서현우 , 김태준 , 안효찬
IPC分类号： G03F7/20 , G02B5/04 , G02B3/00
摘要： 대면적 노광이 용이하고 노광 시간을 줄일 수 있는 디지털 노광기용 광학 엔진이 개시된다. 본 발명에 따르면, 프리즘 면으로 입사된 평행광을 코팅면에서 50:50의 비율로 반사 및 투과시키는 프리즘부, 상기 프리즘부의 코팅면에서 반사된 제1 입사광을 재반사한 후 상기 프리즘부를 투과하여 노광 기판 상에 수직하도록 소정의 각도로 광경로를 변경해주는 제1 디지털 마이크로 미러부, 상기 프리즘부의 코팅면에서 투과된 제2 입사광을 재반사한 후 상기 프리즘부에 반사되어 노광 기판에 수직하도록 소정의 각도로 광경로를 변경해주는 제2 디지털 마이크로 미러부, 제1 디지털 마이크로 미러부와 제2 디지털 마이크로 미러부에 의해 노광 기판 상에 수직하도록 진행되는 각각의 광을 상기 노광 기판 상으로 평행하게 투영하는 프로젝션 렌즈부를 포함하는 광학 엔진이 제공된다.
이에, 본 발명은 반사광들을 노광 기판 상에 수직으로 반사시키고 그 사이를 미세 조정 또는 일정한 정도로 중첩시킨 상태로 노광 기판에 투영함으로써, 노광 영역폭을 늘리고, 노광 시간을 크게 줄이는 효과가 실현된다.

3. 发明授权

KR101286490B1 기판 인식형 디지털 노광 장치 및 그에 의한 노광 방법 有权
标题翻译：用于可识别基材的数字曝光装置及其曝光方法
公开(公告)号：KR101286490B1
公开(公告)日：2013-07-16
申请号：KR1020110012748
申请日：2011-02-14
申请人： 주식회사 코디엠
发明人： 송요탁 , 위창현 , 서현우 , 김태준 , 안효찬
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027
摘要： 마스크 제작 비용을 줄이고, 소형 기판에 대해 노광 작업의 효율성을 높일 수 있는 기판 인식형 디지털 노광 장치 및 그에 의한 노광 방법이 개시된다. 본 발명에 따르면, 소형 기판마다 새겨진 인식 코드를 감지하여 노광 패턴을 식별하고, 다수의 얼라인 마크를 감지하는 비젼 카메라부, 상기 비젼 카메라부에서 식별된 노광 패턴에 맞는 캐드 데이터를 추출하고, 디지털 데이터로 변환하는 캐드 데이터 추출부, 상기 캐드 데이터 추출부에서 변환된 디지털 데이터를 제공받아 전송하는 캐드 데이터 전송부, 상기 캐드 데이터 전송부로부터 제공된 디지털 데이터에 근거하여 외부에서 공급된 자외선 광을 반사시켜 상기 소형 기판들을 노광하는 디지털 마이크로 미러부를 포함하는 디지털 노광 장치가 제공된다.
이에, 본 발명은 여러 형태의 기판 교체없이 각각 노광하여 복수 개의 소형 기판을 일괄적으로 노광함으로써 마스크 제작 비용과 노광 시간을 크게 줄이는 효과가 달성된다.

4. 发明授权

KR101135548B1 베이킹 장치용 배기량 조절기 有权
标题翻译：用于烘烤设备的排气风量控制装置
公开(公告)号：KR101135548B1
公开(公告)日：2012-04-17
申请号：KR1020090090034
申请日：2009-09-23
申请人： 주식회사 코디엠
发明人： 정준영
IPC分类号： H01L21/02
摘要： 본 발명은 베이킹 장치의 베이킹 챔버 내부와 연통된 배기관에 설치되어, 상기 베이킹 챔버 내부로부터 상기 배기관을 통해 배출되는 기체의 유량을 조절하는 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 베이킹 장치용 배기량 조절기는, 상기 배기관에 설치되고, 내부에 원형의 단면을 갖는 이송홀이 형성되는 몸체; 상기 몸체의 일측으로 상기 이송홀의 내주면이 연장되도록 돌출 형성되고, 측부에 하나 이상의 통풍구가 형성된 차단부; 및 상기 이송홀 내부에 설치되어 상기 이송홀을 따라 상기 차단부 측으로 이송 또는 회전되면서 상기 통풍구를 선택적으로 폐쇄시키거나 소정의 비율로 개방시키는 조절부;를 포함한다.
본 발명에 의하면, 베이킹 챔버 내부로부터 배기관을 통해 배출되는 기체의 유량을 조절할 수 있어, 필요에 따라 베이킹 작업 중에도 배기관을 통해 베이킹 챔버 내부의 기체를 배출시킬 수 있으므로 베이킹 장치의 베이킹 공정 효율을 제고할 수 있고, 이에 따라 베이킹 공정시 소요되는 에너지 및 시간을 단축할 수 있다.
베이킹 장치, 배기관, 유량, 배기량, 조절기

5. 发明公开

KR1020110032507A 베이킹 장치용 배기량 조절기 有权
标题翻译：用于烘烤设备的排放空气体积控制装置
公开(公告)号：KR1020110032507A
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：KR1020090090034
申请日：2009-09-23
申请人： 주식회사 코디엠
发明人： 정준영
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： G03F7/168 , G03F9/7096 , G05D7/00 , H01L21/67098
摘要： PURPOSE: An exhausting air volume control device for a baking apparatus is provided to reduce energy consumption and shorten a time required for a backing process by discharging gas inside the backing chamber through an exhaust pipe. CONSTITUTION: In an exhausting air volume control device for a baking apparatus, a body(100) is installed inside an exhaust pipe and has a cross section of a circular shape therein. A blocking unit is protruded from one side of the body and has at least one ventilation holes. A controller is installed inside a transfer hole and is moved to the blocking unit to selectively close and open the ventilation holes by a certain ratio.
摘要翻译：目的：提供一种用于烘焙设备的排气风量控制装置，以通过排气管排出背衬室内的气体来降低能量消耗并缩短背衬处理所需的时间。构成：在用于烘烤设备的排气风量控制装置中，主体（100）安装在排气管内，其中具有圆形的横截面。阻挡单元从主体的一侧突出并且具有至少一个通气孔。控制器安装在传送孔的内部并被移动到阻挡单元以选择性地以一定比例关闭和打开通气孔。

6. 发明公开

KR1020110012900A 엘씨디 기판 제조용 오븐장치 有权
标题翻译：用于制造LCD基板的烤箱装置
公开(公告)号：KR1020110012900A
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：KR1020090070801
申请日：2009-07-31
申请人： 주식회사 코디엠
发明人： 정준영 , 신원섭
IPC分类号： G02F1/13 , H05B3/20
CPC分类号： G02F1/1303 , H01L21/67109 , H01L21/67161
摘要： PURPOSE: An oven chamber for fabricating an LCD substrate is provided to prevent an impurity from being attached by maintaining temperature of the bottom of the top cover around the temperature of bottom of the chamber. CONSTITUTION: An oven chamber includes a shutter, a lower heating member(120), and an upper cover(130). The lower heating member heats the glass substrate(10). The upper cover seals the opened upper part of the inside of the chamber. An upper heat generating member(134) generates heat inside the body of the upper cover in order to maintain the temperature of the ceiling surface of the upper cover between chamber inside temperature and the temperature of the lower heating member.
摘要翻译：目的：提供一种用于制造LCD基板的烤箱室，以通过将顶盖的底部的温度保持在室底部的温度附近来防止杂质附着。构成：烤箱室包括闸门，下加热构件（120）和上盖（130）。下加热构件加热玻璃基板（10）。上盖密封室的内部的敞开的上部。上部发热构件（134）在上盖的主体内产生热量，以便将上盖的顶面的温度保持在室内温度和下加热构件的温度之间。

7. 发明公开

KR1020100127511A 섀도 마스크 기능을 구비한 마이크로렌즈 어레이의 제조 방법 无效
标题翻译：具有阴影面膜功能的微透镜阵列的制造方法
公开(公告)号：KR1020100127511A
公开(公告)日：2010-12-06
申请号：KR1020090045985
申请日：2009-05-26
申请人： 주식회사 코디엠
发明人： 송요탁 , 김채수 , 위창현 , 서현우 , 양상식 , 이기근 , 오해관
IPC分类号： G02B3/00 , H01L27/146 , B29D11/00
CPC分类号： G02B3/0018 , G02B3/0025 , G02B3/0031 , G02B3/0056 , G02B27/0961
摘要： PURPOSE: A method for manufacturing a micro lens array with a show mask function is provided to prevent a ghost phenomenon. CONSTITUTION: A chrome film(20) is coated on a quartz board(10). A light sensitive film is coated on the chrome film. A pattern light sensitive film(30') is formed by exposing and developing the light sensitive film and a pattern comprised of a plurality of holes is formed. A hole forming chrome film(20') for forming a shadow mask is formed by including a plurality of holes and etching the chrome film.
摘要翻译：目的：提供一种制造具有显示掩模功能的微透镜阵列的方法，以防止重影现象。构成：将铬膜（20）涂覆在石英板（10）上。将感光膜涂覆在铬膜上。通过曝光和显影感光膜形成图案感光膜（30'），并且形成由多个孔组成的图案。通过包括多个孔并蚀刻铬膜来形成用于形成荫罩的形成孔的铬膜（20'）。

8. 发明授权

KR100645079B1 판넬 절단장치 失效
标题翻译：用于切割面板的设备
公开(公告)号：KR100645079B1
公开(公告)日：2006-11-10
申请号：KR1020050013655
申请日：2005-02-18
申请人： 주식회사 코디엠
发明人： 신원섭
IPC分类号： B26D1/30 , B26D1/04 , B23D17/00 , B23D15/00
摘要： 본 발명은 판넬의 절단라인을 지렛대의 원리가 적용되는 절단기를 이용하여 절단하는 판넬 절단장치에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명의 판넬 절단장치는 절단선이 형성된 판넬(33)이 안착되며, 일측과 타측에 각각 절단작업홈(32a)이 형성되는 작업테이블(30)과, 절단작업홈(32a)에 각각 인접된 위치에 서로 마주대하도록 설치되어 작업테이블(30)에 안착된 판넬(33)에 형성된 절단선에 각각 제1칼날과 제2칼날이 서로 맞물리도록 제2칼날을 회동시켜 판넬(33)에 형성된 절단선을 따라 판넬(33)을 절단하는 절단기(10)로 구성된다.
판넬, 절단, 테이블, 승강, 하강

9. 发明授权

KR101359495B1 디지털 노광기용 광학 엔진 有权
标题翻译：用于数字曝光装置的光学发动机
公开(公告)号：KR101359495B1
公开(公告)日：2014-02-11
申请号：KR1020110012749
申请日：2011-02-14
申请人： 주식회사 코디엠
发明人： 송요탁 , 위창현 , 서현우 , 김태준 , 안효찬
IPC分类号： G03F7/20 , G02B3/00 , G02B5/04
摘要： 대면적 기판의 노광 영역을 확대하거나 노광 시간을 줄일 수 있는 디지털 노광기용 광학 엔진이 개시된다. 본 발명에 따르면, 이등변 사면체의 삼면으로 입사된 평행광을 반사시켜 반사광을 생성하는 제1 프리즘부, 상기 이등변 사면체의 삼면과 마주하여 각각 하나씩 개별적으로 설치되어 상기 프리즘부에서 분할된 반사광을 각각 수신하고, 소정의 각도로 광량 조절하여 반사시키는 디지털 마이크로 미러부, 상기 이등변 사면체와 대응하여 하부에서 이등변 역사면체를 구비하고, 상기 이등변 역사면체의 삼면에서 상기 디지털 마이크로 미러부로부터 반사된 제1, 제2 및 제3 반사광을 수신하고, 노광 기판 상에 수직으로 반사시키는 제2 프리즘부, 및 상기 제2 프리즘부에서 수직 반사된 광들을 노광 기판 상으로 투영시키는 프로젝션 렌즈부를 포함하는 광학 엔진이 제공된다.
이에, 본 발명은 노광 영역폭을 확대하여 대면적 기판을 노광할 수 있으며, 노광 시간을 크게 줄이는 효과가 실현된다.

10. 发明公开

KR1020120092865A 플렉시블 기판용 디지털 노광 장치 및 그의 노광 방법 无效
标题翻译：用于柔性基板的数字曝光及其曝光方法
公开(公告)号：KR1020120092865A
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：KR1020110012752
申请日：2011-02-14
申请人： 주식회사 코디엠
发明人： 송요탁 , 위창현 , 서현우 , 김태준 , 안효찬
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70116 , G03F5/02 , G03F7/2004 , G03F7/2051 , G03F7/70233 , G03F7/70508 , G03F7/70683
摘要： PURPOSE: A digital exposure device for a flexible substrate and an exposure method of the same are provided to reduce tact time by automatically aligning a large sized flexible substrate and exposing the substrate without replacing the substrate and a mask. CONSTITUTION: A digital exposure device(100) includes a first substrate adjusting part(110), a vision camera part(130), a digital optical part(140), and a second substrate adjusting part(150). The vision camera part recognizes a plurality of alignment marks on a flexible substrate and transmits controlling signals to an aligning stage part(125) in order to automatically align the flexible substrate. The digital optical part receives digital data corresponding to exposure patterns of the flexible substrate. The flexible substrate is irradiated with ultraviolet rays and reflects the ultraviolet rays based on the digital data. The second substrate adjusting part maintains and winds the exposed flexible substrate.
摘要翻译：目的：提供一种用于柔性基板的数字曝光装置及其曝光方法，以通过自动对准大尺寸柔性基板并露出基板而不更换基板和掩模来减少打滑时间。构成：数字曝光装置（100）包括第一基板调整部（110），视觉摄像机部（130），数字光学部（140）和第二基板调整部（150）。视觉摄像机部件识别柔性基板上的多个对准标记，并将控制信号发送到对准台部分（125），以便自动对准柔性基板。数字光学部件接收对应于柔性基板的曝光图案的数字数据。用紫外线照射柔性基板，并根据数字数据反射紫外线。第二基板调整部保持并卷绕露出的柔性基板。

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