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    • 7. 发明专利
    • 高周波半導体装置
    • JP2017055224A
    • 2017-03-16
    • JP2015177030
    • 2015-09-08
    • 株式会社東芝
    • 高木 一考
    • H01L23/12H03F3/195
    • 【課題】マイクロ波集積回路と実装部材端子との間のインピーダンスのずれに対する微調整が容易な高周波半導体装置を提供する。 【解決手段】高周波半導体装置10は、マイクロ波集積回路を含む半導体素子20と、金属板32と、絶縁体枠部34と、50Ωの特性インピーダンスを有する第1の伝送線路37とを含む実装部材30と、半導体素子と前記第1の伝送線路との間に配置され、50Ωの特性インピーダンスを有する第2の伝送線路44と、第2の伝送線路から離間して配置され第2の伝送線路の中央部に接続可能な容量性スタブ45とを含む中継基板40とを有する。第1のボンディングワイヤ60は、第1の伝送線路の内部端37cと、第2の伝送線路の第1の端部44bとを接続する。第2のボンディングワイヤ70は、半導体素子の第1の電極20aと、第2の伝送線路の第2の端部44aとを接続する。 【選択図】図1