专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

JP2021081540A ビームデリバリシステム、焦点距離選定方法及び電子デバイスの製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2021081540A
公开(公告)日：2021-05-27
申请号：JP2019207792
申请日：2019-11-18
申请人：ギガフォトン株式会社
发明人：菅沼崇 , 巽貴浩
IPC分类号： G02B5/10 , G02B7/185 , H01S3/00 , H01S3/10 , G03F7/20
摘要：【課題】パルスレーザ光のビーム広がり角を一定化する方法を提供する。【解決手段】ビームデリバリシステムは、極端紫外光生成装置に用いられるものであり、レーザ装置と集光光学系との間の光路上に配置され、パルスレーザ光の伝搬方向を変える伝搬ミラーと、伝搬ミラーと集光光学系との間の光路上に配置され、集光光学系に入射させるパルスレーザ光を収束ビームにする凹面の反射面を持つ曲率ミラーと、を備え、曲率ミラーから出射されるパルスレーザ光のビーム広がり角が、伝搬ミラーの熱変形によらず、一定になるように、又は、所定の許容範囲内の変化を許容して一定になるように、曲率ミラーの焦点距離を選定したビームデリバリシステムである。【選択図】図12

2. 发明专利

JP6854638B2 光学装置、露光装置、および物品の製造方法有权
公开(公告)号：JP6854638B2
公开(公告)日：2021-04-07
申请号：JP2016248395
申请日：2016-12-21
申请人：キヤノン株式会社
发明人：春見和之
IPC分类号： G02B26/06 , G02B5/10 , G02B7/185 , G03F7/20

3. 发明专利

JP6808381B2 保持装置、投影光学系、露光装置、および物品製造方法有权
公开(公告)号：JP6808381B2
公开(公告)日：2021-01-06
申请号：JP2016135253
申请日：2016-07-07
申请人：キヤノン株式会社
发明人：春見和之
IPC分类号： G02B5/10 , G02B7/185 , G03F7/20

4. 发明专利

JP2020052428A 光源持続プラズマセルにおける収差を補正するための装置及び方法审中-公开
公开(公告)号：JP2020052428A
公开(公告)日：2020-04-02
申请号：JP2019227142
申请日：2019-12-17
申请人：ケーエルエーコーポレイション
发明人：ベゼルイリア , シチェメリニンアナトリー , ツアオヤンミン , デルスタインマシュー
IPC分类号： G02B7/185 , H05H1/24 , G02B17/08
摘要：【課題】プラズマセルに生み出された収差を修正する。【解決手段】照明を生成するように構成された照明光源202と、ガス体積を収容するためのバルブを備えたプラズマセル206と、照明光源からの照明の焦点をガス体積に合わせることによって、ガス体積内にプラズマを生成するように構成された楕円体204と、一つ以上の光学部品に伴い発生した収差を補正するように構成され、照明光源とプラズマセルとの間の照明経路に沿って位置付けられた一つ以上の適応光学素子を含む。波面センサからの信号に基づき、対流に伴い発生した収差を最小化するように一つ以上の適応光学素子をフィードバック制御する。【選択図】図2A

5. 发明专利

JP2019505828A 能動的に調整可能なメトロロジー支持ユニットを備える光学結像装置审中-公开
公开(公告)号：JP2019505828A
公开(公告)日：2019-02-28
申请号：JP2018528584
申请日：2015-12-03
申请人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
发明人：シュテファンヘムバッハー , ベルンハルトゴイッペルト , イェンスクーグラー
IPC分类号： G02B7/00 , G02B7/198 , G02B7/185 , G02B17/00 , G03F7/20
摘要：本発明は、光学投影系(102)と、支持構造系(111、112)と、制御装置(109)と、を備える光学結像装置(101)に関する。光学投影系(102)が光学素子群を備える。光学素子群が、支持構造系(111、112)によって支持され、露光プロセスにおいて露光光を使用して露光経路に沿って、マスク(103.1)のパターンの像を基板(104.1)上に転写するよう構成される。光学素子群が、第1光学素子(106.6)と、第2光学素子(106.2)と、を備える。また制御装置(109)が、センサデバイス(110)と、能動デバイス(113)と、を備える。センサデバイス(110)が、機能的に第1光学素子(106.6)に関連付けられ、第1光学素子(106.6)に作用する機械的外乱を、全6自由度までの少なくとも1つの自由度で表す機械的外乱情報を捕捉するよう構成される。制御装置(106)が、能動デバイス(113)を機械的外乱情報に応じて制御するよう構成される。そのため、能動デバイス(113)が光学素子のうちの1つの光学素子(106.6)に作用し、第1光学素子(106.6)に作用する機械的外乱に起因する光学結像装置(101)の光学結像誤差を、露光プロセスの間に少なくとも部分的に補正する。【選択図】図2

6. 发明专利

JP6371576B2 光学装置、投影光学系、露光装置、および物品の製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP6371576B2
公开(公告)日：2018-08-08
申请号：JP2014095510
申请日：2014-05-02
申请人：キヤノン株式会社
发明人：浅田克己
IPC分类号： G02B5/10 , G02B7/185 , H01L21/027 , G02B26/08
CPC分类号： G03F7/709 , G02B26/0825 , G02B26/0858 , G02B27/0068 , G03F7/70266 , G03F7/70308 , G03F7/706

8. 发明专利

JP2016018049A 可変形状ミラー及びその製造方法审中-公开
标题翻译：可变形镜子和相同的制造方法
公开(公告)号：JP2016018049A
公开(公告)日：2016-02-01
申请号：JP2014140088
申请日：2014-07-07
申请人：キヤノン株式会社
发明人：尾崎裕之 , 玉森研爾
IPC分类号： G02B26/10 , B81B3/00 , B81C3/00 , G02B7/185 , G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0841 , A61B3/1025 , A61B3/14
摘要：【課題】櫛歯電極構造のアクチュエータを用いる可変形状ミラーにおいて、製造が比較的容易な構造であり、ミラー基準面に対して垂直な2方向に変位可能な可変形状ミラーを実現する技術を提供する。【解決手段】可変形状ミラー100は、反射面110を有するミラー基材111と、第1のアクチュエータと第2のアクチュエータを含むアクチュエータ101と、を備える。複数のアクチュエータの各々は接続部121を介してミラー基材に接続される。第1のアクチュエータは、接続部を反射面に垂直な第1の方向に変位させる櫛歯電極構造の第1電極対104、105を有する。第2のアクチュエータは、第1電極対とは別個に形成された、接続部を第1の方向とは反対の第2の方向に変位させる櫛歯電極構造の第2電極対108、109を有する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种获得具有相对易于制造的结构的可变形状镜的技术，该结构可以在垂直于镜参照表面的两个方向上移位。可变形镜100包括：具有反射表面110镜底座构件111; 和致动器101，其包括第一促动器和第二致动器。多个致动器中的每一个通过连接部分121连接到镜基座构件。第一致动器具有梳状电极结构的一对第一电极104和105，该第一电极104和105沿垂直于反射面，第二致动器具有与一对第一电极分开形成的梳状电极结构的一对第二电极108和109，并且使连接部在第一方向相反的第二方向上移位。附图中：图1

9. 发明专利

JP2014225639A ミラーユニット及び露光装置审中-公开
标题翻译：镜子单元和曝光装置
公开(公告)号：JP2014225639A
公开(公告)日：2014-12-04
申请号：JP2014037323
申请日：2014-02-27
申请人：キヤノン株式会社 , Canon Inc
发明人： SAI CHOSHOKU
IPC分类号： H01L21/027 , G02B5/10 , G02B7/183 , G02B7/185
CPC分类号： G02B26/0825
摘要：【課題】アクチュエータからの駆動反力がミラーの形状に及ぼす影響を低減したミラーユニットを提供する。【解決手段】ミラーユニットは、ミラーと、それぞれ可動子と固定子とを含み、前記ミラーの形状を変える複数の非接触型のアクチュエータと、前記複数の固定子が固定された支持プレートと、前記ミラーと前記支持プレートとを保持する構造体と、を備える。前記複数の可動子は、前記ミラーの光学面と反対側の面に取り付けられる。前記構造体は、キネマチックマウントを介して前記支持プレートを保持する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种减小来自致动器的驱动反作用力对镜面形状的影响的反射镜单元。解镜：镜单元包括：反射镜; 多个非接触型致动器，每个致动器包括可移动元件和定子，构造成改变反射镜的形状; 定子固定的支撑板; 以及构造成保持反射镜和支撑板的结构。可移动元件附接到反射镜的表面，该表面与光学表面相对，并且该结构通过运动学支架保持支撑板。

10. 发明专利

JP3552873B2 Deformable mirror 失效
公开(公告)号：JP3552873B2
公开(公告)日：2004-08-11
申请号：JP6519697
申请日：1997-03-18
申请人：シャープ株式会社
发明人： ▲頼▼成石井
IPC分类号： G02B5/10 , G02B7/18 , G02B7/185 , G02B7/198 , G11B7/135

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式