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1. 发明专利

JP2020201175A 圧力検出装置及びそれを用いた血液浄化装置审中-公开
公开(公告)号：JP2020201175A
公开(公告)日：2020-12-17
申请号：JP2019109371
申请日：2019-06-12
申请人：日機装株式会社
发明人：毛受佑哉 , 石▲崎▼ 文彦
IPC分类号： G01L27/02 , A61M1/36 , G01L19/06
摘要：【課題】ダイアフラムの初期位置を、任意の位置に、精度よく調整可能な圧力検出装置及びそれを用いた血液浄化装置を提供する。【解決手段】圧力検出装置1は、圧力の測定対象となる液体を流通する液流路4に設けられたケース2と、ケース2内の空間を、液体が流通する第1空間2aと、気体が充填された第2空間2bとに区画するように設けられ、第1空間2a内の液体の圧力に応じて変位可能なダイアフラム3と、第2空間2bに充填された気体の圧力を測定する圧力センサ6と、第2空間2bに充填された気体の充填量を調節することで、ダイアフラム3の初期位置を所望の位置に調整可能なダイアフラム初期位置調整機構5と、を備え、ダイアフラム初期位置調整機構5は、押し子駆動部513により押し子512をシリンダ511内で進退させることで第2空間2bに充填された気体の充填量を調節する往復動ポンプ51を有する。【選択図】図2

2. 发明专利

JP2020094954A センサ試験システム审中-公开
公开(公告)号：JP2020094954A
公开(公告)日：2020-06-18
申请号：JP2018234116
申请日：2018-12-14
申请人：株式会社アドバンテスト
发明人：菅和成 , 高野大介 , 花村聡 , 千葉道郎 , 西崎久夫 , 早川敦
IPC分类号： G01R33/12 , G01L27/02 , G01R31/26
摘要：【課題】スループットに優れたセンサ試験システムを提供する。【解決手段】センサ試験システム1は、センサ90を受け渡し可能に相互に連結された複数のセンサ試験装置30A〜30Dを含む試験装置群20を備えており、それぞれのセンサ試験装置30A〜30Dは、センサ90が電気的に接続されるソケット445と、センサ90に圧力を印加する圧力チャンバ43と、を含む印加装置42を備えた印加ユニット40と、ソケット445を介してセンサ90を試験する試験ユニット35と、印加ユニット40に対してセンサ90を搬入出する搬送ロボット33と、を備えている。【選択図】図6

3. 发明专利

JP2020094953A センサ試験装置审中-公开
公开(公告)号：JP2020094953A
公开(公告)日：2020-06-18
申请号：JP2018234115
申请日：2018-12-14
申请人：株式会社アドバンテスト
发明人：菅和成 , 高野大介 , 花村聡 , 千葉道郎 , 西崎久夫 , 早川敦
IPC分类号： G01R33/12 , G01L27/02 , G01R31/26
摘要：【課題】汎用性に優れたセンサ試験装置を提供する。【解決手段】センサ試験装置30は、センサ90が電気的に接続されるソケット445と、センサ90に圧力を印加する圧力チャンバ43と、を含む第1の印加装置42を備えた第1の印加ユニット40と、ソケット445を介してセンサ90を試験する試験ユニット35と、第1の印加ユニット40に対してセンサ90を搬入出する搬送ロボット33と、第1の印加ユニット40、試験ユニット35、及び、搬送ロボット33を収容する装置本体301と、を備え、装置本体301は、第1の印加ユニット40を装置本体301から外部に出し入れ可能とする開口306dを有する。【選択図】図7

4. 发明专利

JP2019211477A 流体封止装置及び圧力検出器校正装置审中-公开
公开(公告)号：JP2019211477A
公开(公告)日：2019-12-12
申请号：JP2019101224
申请日：2019-05-30
申请人：株式会社フジキン
发明人：滝本昌彦 , 永瀬正明
IPC分类号： G01L27/02
摘要：【課題】流体流路内の封止圧力と設定圧力との間の誤差をよりいっそう小さくすることができる、流体封止装置及び圧力検出器校正装置を提供する。【解決手段】流体導入口21、流体排出口22、及び流体流路20を形成した圧力封止構造体2と、温調手段3と、温度検出器Tと、圧力検出器Pと、導入側開閉弁23と、排出側開閉弁24と、絞り手段4と、流体供給手段5と、記流体供給手段5、導入側開閉弁23及び排出側開閉弁24を制御し、圧力封止構造体2内に流体を封止する流体封止制御手段6と、を備え、流体封止制御手段6は、設定圧力よりも高い一次圧力まで圧力封止構造体内圧力を昇圧させて流体を封止した後、排出側開閉弁24を開放し、圧力検出器Pから検出される値が設定圧力に温度検出器Tで検出した温度に対応した誤差修正値により修正した修正設定圧力となったとき排出側開閉弁24を閉止する。【選択図】図1

5. 发明专利

JPWO2016194610A1 出力信号調整機能を有する測定機器审中-公开
公开(公告)号：JPWO2016194610A1
公开(公告)日：2018-03-22
申请号：JP2017521787
申请日：2016-05-18
申请人：株式会社バルコム
发明人：山田和樹
IPC分类号： G01L27/02
CPC分类号： G01D3/02 , G01D18/00 , G01L27/02
摘要：測定機器は、測定対象媒体が示す第1の物理量を測定し、測定値を同一の物理量で可視表示すると共に、測定した前記第1の物理量に対応付けた前記第1の物理量とは異なる第2の物理量を有する出力信号を外部測定機器の器差を調整するように出力する測定機器であって、前記外部測定機器に出力される前記出力信号を調整するための動作モード変更ボタン及び少なくとも1つの値調整ボタンと、前記動作モード変更ボタンの操作に続く、前記値調整ボタンによる値増加操作及び値減少操作の少なくとも一方に応じて、前記出力信号の前記第2の物理量の変更を制御する制御手段とを備える。

6. 发明专利

JP2017116276A 圧力センサ审中-公开
公开(公告)号：JP2017116276A
公开(公告)日：2017-06-29
申请号：JP2015248582
申请日：2015-12-21
申请人：アズビル株式会社 , Azbil Corp
发明人： TOCHIGI ISHIN , ISHIHARA TAKUYA
IPC分类号： G01L27/02 , G01L9/00 , G01L9/12
CPC分类号： G01L9/00 , G01L9/12 , G01L27/02
摘要：【課題】堆積が発生したことによる圧力センサのセンサ出力の較正が、より容易に実施できるようにする。【解決手段】共振点測定部122が、圧力センサを用いた一定圧力の測定を、電源周波数を変化させて得られる結果よりダイアフラム112の共振点を求め、特性算出部123が、共振点を測定した時点におけるダイアフラム112の弾性率を、測定された共振点より算出し、補正部124が、特性算出部123が求めた弾性率によりセンサチップ101のセンサ感度を補正した補正センサ感度を算出する。【選択図】図1

7. 发明专利

JP2013040913A Cold-cathode type ionization vacuum gauge with calibration function 审中-公开
标题翻译：具有校准功能的冷阴极型离子真空计
公开(公告)号：JP2013040913A
公开(公告)日：2013-02-28
申请号：JP2011205266
申请日：2011-08-12
申请人： Toyo Denshi Kenkyusho:Kk , 株式会社東洋電子研究所
发明人： IIJIMA YOSHIO
IPC分类号： G01L27/02 , G01L21/34
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for calibrating a measurement error caused by change of situation of a sensor, particularly a method for easy calibration of a cold-cathode type ionization vacuum gauge at a production field.SOLUTION: When displays of a measuring instrument with correct display and a measuring instrument with error are displayed in an E2 PROM data reference system, and both sensors are in the same atmosphere, error calibration is easily performed. Also, calibration of a cold-cathode type ionization vacuum gauge is easily performed in a spot system.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于校准由传感器的情况变化引起的测量误差的方法，特别是用于在生产现场容易地校准冷阴极型电离真空计的方法。
解决方案：在E2 PROM数据参考系统中显示显示正确显示的测量仪器和带有误差的测量仪器时，两个传感器处于相同的大气环境中，容易进行误差校准。此外，在点系统中容易地执行冷阴极型电离真空计的校准。版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

8. 发明专利

JP2007532824A Apparatus for carrying out the injection method and a method of a reaction agent into the exhaust passage of an internal combustion engine 有权
公开(公告)号：JP2007532824A
公开(公告)日：2007-11-15
申请号：JP2007507794
申请日：2005-04-01
申请人：ロベルト・ボッシュ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツングRobert Bosch Gmbh
发明人：ゲールラッハ，ミハエル
IPC分类号： F01N3/36 , B01D53/86 , B01D53/90 , B01D53/94 , F01N3/08 , F01N3/20 , G01L27/02
CPC分类号： F01N3/208 , B01D53/90 , B01D53/9431 , B01D53/9495 , F01N9/00 , F01N2560/08 , F01N2610/02 , F01N2900/1808 , Y02T10/24 , Y02T10/47
摘要：【課題】少なくとも１つの所定の圧力の保持が保証される、内燃機関の排気通路内への反応剤の注入方法および方法を実行するための装置を提供する【解決手段】圧力センサ（２０、２２）が設けられている、内燃機関（１０）の排気通路内への反応剤の注入方法において、圧力センサの診断が行われ、定常圧力状態が期待される少なくとも１つの第１の時間区間（ｔ８、ｔ１０）内において、圧力信号（２１、２３）が少なくとも近似的に定常圧力（１００、１０７）に対応しているかどうかが検査され、圧力変化が発生する少なくとも１つの第２の時間区間（ｔ９、ｔ１１）内において、圧力信号が所定の検査圧力（１０４、１０８）に少なくとも近似的に対応しているかおよび／または定常圧力に対する所定の変化を少なくとも近似的に有しているかが検査され、この条件の少なくとも１つが満たされていないとき、エラー信号（７２）が提供される。
【選択図】図１

9. 发明专利

JP2020148473A 複数のチャンバ圧力センサを校正する方法及び基板処理システム审中-公开
公开(公告)号：JP2020148473A
公开(公告)日：2020-09-17
申请号：JP2019043495
申请日：2019-03-11
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：松田梨沙子 , 網倉紀彦 , 三浦和幸 , 庄司慶太
IPC分类号： G01L27/02
摘要：【課題】複数のチャンバそれぞれのための複数のチャンバ圧力センサの機差を低減することが可能な方法を提供する。【解決手段】例示的実施形態に係る基板処理システムでは、複数のガス供給部の各々が、その第1のガス流路を介して複数のチャンバのうち対応のチャンバ内にガスを供給するように構成されている。複数のチャンバ圧力センサの各々が、対応のチャンバ内の圧力を測定するように構成されている。第2のガス流路が、複数のガス供給部の各々の第1のガス流路に接続されている。基準圧力センサが、第2のガス流路内の圧力を測定するように構成されている。例示的実施形態に係る方法では、複数のチャンバ圧力センサの各々は、対応のチャンバ、対応のガス供給部の第1のガス流路、及び第2のガス流路内の圧力が維持された状態におけるその圧力測定値及び基準圧力センサの圧力測定値を用いて、校正される。【選択図】図1

10. 发明专利

JP2020094952A センサ試験装置审中-公开
公开(公告)号：JP2020094952A
公开(公告)日：2020-06-18
申请号：JP2018234114
申请日：2018-12-14
申请人：株式会社アドバンテスト
发明人：菅和成 , 高野大介 , 花村聡 , 千葉道郎 , 西崎久夫 , 早川敦
IPC分类号： G01R33/12 , G01L27/02 , G01R31/26
摘要：【課題】センサを効率的に試験することが可能なセンサ試験装置を提供する。【解決手段】圧力センサ90を試験するセンサ試験装置30は、センサ90が電気的に接続されるソケット445と、センサ90に圧力を印加する圧力チャンバ43と、熱ストレスをセンサ90に印加するヒートシンク443,462と、を含む印加装置42を備えた印加ユニット40と、ソケット445を介してセンサ90を試験する試験ユニット35と、印加ユニット40に対してセンサ90を搬入出する搬送ロボット33と、を備えている。【選択図】図5

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