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    • C25D21/12C25D17/00C25D17/005C25D17/06C25D21/18C25D5/08
    • 기판 도금장치에 있어서, 상기 기판 도금장치의 각 장치를 제어하는 제어부; 도금액이 수용되는 도금조; 상기 도금조의 상부 측에서 워크를 지지하여 상기 도금조의 길이방향을 따라 이송하는 클립; 상기 도금조의 내부에서 상기 워크의 양측면에 도금액을 분사하는 도금액 토출구; 상기 도금조 하부에 길이방향을 따라 설치되며, 상기 워크의 하면에 근접하게 배치되어 도금액의 회수를 수행하는 석션 흡입구; 상기 도금조의 내벽과 도금액 토출구 사이의 공간의 하부면에 형성된 도금액 딥공급부; 및 상기 도금조의 도금액의 수위를 측정하는 도금액 수위감지기: 를 포함하며, 상기 제어부는 도금액 수위감지기로부터 상기 도금조 내에 도금액의 수위가 제1 수위 미만으로 떨어지게 되면, 상기 도금액 토출구와 연결된 토출용 펌프의 가동을 중지하고, 상기 도금액 딥공급부와 연결된 딥펌프를 가동시켜서 도금액 용액이 도금액 딥공급부를 통해 하부에서 상부 측으로 공급하여 도금조의 수위를 높이도록 제어를 하고, 도금액 수위감지기로부터 상기 도금조 내에 도금액의 수위가 제2 수위 이상 높아진 것을 감지하면, 상기 딥펌프의 가동을 중지하고, 상기 토출용 펌프 및 석션용 펌프를 가동시키도록 제어하는 것을 특징으로 한다.