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    • 8. 发明专利
    • パターン形成方法、及びパターン形成装置
    • 图案形成方法和图案形成装置
    • JP2016029484A
    • 2016-03-03
    • JP2015181662
    • 2015-09-15
    • 株式会社ニコン
    • 堀 正和奈良 圭横田 宗泰
    • G03F7/24H01L51/50H05B33/10G02F1/13B65H20/02B65H23/32G03F7/20
    • G03F7/70791B65H23/1882B65H23/24B65H2404/1314B65H2406/111B65H2511/12B65H2511/512B65H2553/42B65H2601/254B65H2801/15B65H2801/61
    • 【課題】高精度の処理が可能なパターン形成方法を提供する。 【解決手段】可撓性を有する長尺のシート基板を長尺方向に搬送し、シート基板の被処理面に電子デバイス用のパターンを形成する。シート基板の長尺方向に距離Lだけ離れた2ヶ所の位置の各々を案内部材によって支持しつつ、シート基板の2ヶ所の位置の間が長尺方向と直交する短尺方向に所定の度合いで収縮するように、シート基板の距離Lの部分に長尺方向の張力を付与する段階と、2ヶ所の位置の間で、シート基板の被処理面の裏側の面の一部分を、摩擦が殆ど無い状態、又は接触領域が充分に小さい状態で、基板支持部材によって平面状又は曲面状に支持する段階と、所定の度合いで収縮した状態で基板支持部材によって支持されるシート基板の一部分に対応して被処理面に設定される領域内で電子デバイス用のパターンを形成する段階と、を含む。 【選択図】図2
    • 要解决的问题:提供可以进行高精度处理的图案形成方法。解决方案:在具有柔性的长片材基板的待处理表面上形成电子器件的图案,而片状基板 沿长度方向传送。 图案形成方法包括以下步骤:当沿纵向方向分开距离L的片状基片上的两个位置中的每一个由引导构件支撑时,纵向上的张力被施加到对应于 片材基板的距离L使得两个位置之间的片材基板在与纵向正交的宽度方向上缩小到预定的程度; 基板支撑部件以基本上没有摩擦的方式在两个位置之间以平面或弯曲的状态将待处理的表面的背面的一部分表面的一部分基本上没有摩擦地或以足够的接触面积 ; 以及将处于收缩状态的由基板支承部件支撑的片状基板的一部分对应的片材基板的被处理面设置的区域形成为电子设备的图案的步骤。 选择图:图2
    • 9. 发明专利
    • ロール・トゥ・ロール加熱炉
    • 滚筒加热炉
    • JP2015230104A
    • 2015-12-21
    • JP2014114792
    • 2014-06-03
    • 日本碍子株式会社
    • 小牧 毅史
    • F27D1/00F27D17/00B65H23/32F27B9/02
    • 【課題】加熱ゾーンでフィルムをジグザグに配置するロール・トゥ・ロール加熱炉において、炉内温度を均一にすると共にフィルムのテンションを管理できるようにする。 【解決手段】スラローム式のロール・トゥ・ロール加熱炉10は、加熱ゾーン16の上流側に巻出装置12、下流側に巻取装置48を備え、巻出装置12から巻き出されたフィルムFを加熱ゾーン16で加熱したあと巻取装置48で巻き取るものである。加熱ゾーン16には、1番目からn番目(nは2以上の整数)の独立した加熱室20 1 〜20 n が下から上へ並べられている。各加熱室20 1 〜20 n は断熱材で囲まれており、k番目(kは1から(n−1)までの整数)の加熱室20 k と(k+1)番目の加熱室20 k+1 との間の室外位置には、k番目の加熱室20 k を通過したフィルムFを方向転換させて(k+1)番目の加熱室20 k+1 へ導く方向転換ローラ26 k が設けられている。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:为了使得在加热区域以锯齿形式布置膜的辊对卷加热炉内的温度保持均匀,并且同时能够管理膜张力 解决方案:回旋式卷对卷加热炉10具有在加热区16的上游侧的进料装置12和位于下游侧的卷取装置48,其操作方式如下: 从送出装置12送出的薄膜F在加热区域16中被加热,之后薄膜F被卷取装置48吸收。加热区域16从第一个加热到第n- 独立的加热室20-20(n大于2的整数)从下侧到上侧。 每个加热室20-20由绝热材料包围。 在加热室20up至第k(k为1至(n-1)的整数)和第(k + 1)加热室20之间的室外室位置安装有用于改变方向转换辊26的方向转换辊26 胶片F通过第k个加热室20并引导到第(k + 1)个加热室20。