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    • 6. 发明专利
    • Drive unit and planar motor using same, and exposure apparatus using planar motor
    • 使用相同的驱动单元和平面电机,以及使用平面电机的曝光装置
    • JP2009060773A
    • 2009-03-19
    • JP2007228543
    • 2007-09-04
    • Canon Incキヤノン株式会社
    • ITO ATSUSHI
    • H02K41/02H01L21/027H02K41/03
    • H02K41/031H02K1/182H02K3/24H02K9/19H02K55/00H02K2201/18H02K2213/09Y02E40/62
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a drive unit which keeps a coil in a cooled state at a low temperature by suppressing intrusion of heat into the coil and absorbs thermal shrinkage at the time of cooling the coil and thermal expansion at the time of returning the coil into normal temperature and can obtain an appropriate supportive rigidity against the reaction force generated in the coil. SOLUTION: The drive unit includes a movable member and a stator. The stator includes a coil, a coil holding member for holding the coil, a cooling means for cooling the coil, a supporting member for supporting the coil holding member movably in a first direction and in a second direction, a restricting member which restricts the movement of the coil holding member in the first direction and allowing it to move in the second direction, and a pressing means for pressing the coil holding member against the restricting member. Besides, a second restricting member for restricting the movement of the coil holding member in the second direction and allowing it to move in the first direction and a second pressing means for pressing the coil holding member against the second restricting member may be additionally included. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT
    • 要解决的问题:提供一种驱动单元,其通过抑制线圈中的热量入侵并吸收线圈冷却时的热收缩和在此时的热膨胀时将线圈保持在低温的冷却状态 将线圈返回正常温度,并可以抵抗线圈中产生的反作用力获得适当的支撑刚度。 驱动单元包括可动构件和定子。 定子包括线圈,用于保持线圈的线圈保持构件,用于冷却线圈的冷却装置,用于沿第一方向和第二方向可动地支撑线圈保持构件的支撑构件,限制构件,其限制运动 的线圈保持构件沿第一方向移动并允许其沿第二方向移动;以及按压装置,用于将线圈保持构件压靠在限制构件上。 此外,还可以包括用于限制线圈保持构件沿第二方向移动并允许其沿第一方向移动的第二限制构件和用于将线圈保持构件压靠在第二限制构件上的第二按压装置。 版权所有(C)2009,JPO&INPIT
    • 9. 发明专利
    • 超電導回転機
    • 超级旋转机
    • JP2016039704A
    • 2016-03-22
    • JP2014161735
    • 2014-08-07
    • 川崎重工業株式会社
    • 伊藤 隆文岩崎 勇人津村 洋祐佐藤 寿恭
    • F16C32/04B63H21/17H02K55/00
    • B63H21/17F16C32/04H02K55/00
    • 【課題】摺動部を有して熱収縮を吸収できるにも拘わらず、断熱性を向上でき、かつ、摺動部の耐摩耗性も向上できる超電導回転機を提供すること。 【解決手段】回転軸1の軸方向の中心位置よりも軸方向の一方側にある摺動面を供給軸2の被摺動面で軸方向に摺動可能に支持する。回転軸1の軸方向の中心位置よりも軸方向の他方側に位置する部分を出力軸3に固定する。上記摺動面を硬質被膜51の表面に位置させ、硬質被膜51を、GFRPからなる基材50の一部を覆うように位置させる。また、上記被摺動面を硬質被膜56の表面に位置させ、硬質被膜56を、GFRPからなる基材55の一部を覆うように位置させる。 【選択図】図2
    • 要解决的问题:提供一种能够提高绝热性的超导旋转机械,尽管通过包括滑动部件可以吸收热收缩,并且还能够改善滑动部件的耐磨性。解决方案:滑动面 比轴旋转轴1的中心位置更靠近轴向的一侧被供给轴2的滑动面支承,从而能够沿轴向滑动。 在轴向方向上比轴旋转轴1的中心位置更靠近另一侧的部分固定在输出轴3上。滑动面位于硬质涂层51的表面上, 定位硬涂层51以覆盖由GFRP形成的基板50的一部分。 滑动面位于硬涂层56的表面上,硬涂层56定位成覆盖由GFRP形成的基板55的一部分。图2