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1. 发明专利

JP2016521034A マルチゲート共振チャネルトランジスタ有权
标题翻译：多栅极谐振沟道晶体管
公开(公告)号：JP2016521034A
公开(公告)日：2016-07-14
申请号：JP2016505446
申请日：2013-03-28
申请人：インテル・コーポレーション
发明人：マニパトラニ、サシカンス , キム、ラソン , バスカラン、ラジャスリー , ケー．ドカニア、ラジーヴ , ケー．ドカニア、ラジーヴ , エー．ヤング、イアン , エー．ヤング、イアン
IPC分类号： H03B5/02 , B81B3/00 , H01L29/786
CPC分类号： H03B5/30 , H01L29/66795 , H01L29/7831 , H01L2924/13067 , H01L2924/13084
摘要：一実施形態は、基板上に形成される増幅器と、(a)複数のフィンを含む複数のトランジスタであり、複数のフィンのそれぞれは、共通のソースコンタクトおよびドレインコンタクトに連結されるソースノードとドレインノードとの間にチャネルを有する、複数のトランジスタと、(b)複数のフィンのそれぞれに連結され、かつソースコンタクトとドレインコンタクトとの間に配置される共通の第1のトライゲートおよび第2のトライゲートと、を含む、基板上に形成されるマルチゲート共振チャネルアレイと、を備える発振器を含み、第1のトライゲートおよび第2のトライゲートのうちの1つが周期的に活性化されて、複数のフィン上に複数の周期的な下向きの力を生成するとき、複数のフィンは、第1の振動数で機械的に共振する。複数の他の実施形態は、ソースノードとドレインノードとの間のチャネル、およびフィン上のトライゲートを有する非平面型トランジスタを含み、第1のトライゲートが周期的に活性化されて、フィン上に複数の周期的な下向きの力を生成するとき、フィンは機械的に共振する。複数の他の実施形態が本明細書において記載される。
摘要翻译：一个实施例中，形成在衬底上的放大器，多个晶体管包括多个翅片（a）中，各所述多个散热片，所述源节点和所述漏极中的一个连接到公共源极和漏极触点中的所述节点和多个晶体管，（b）中被连接到每个所述多个翅片，并且所述源极和漏极触点与公共第一三栅极和第二配置之间之间的信道包括三栅极，并且包括形成在基板上的多栅极谐振器通道阵列，其包括第一三栅极和第二三栅极之一，但振荡器被周期性地激活，上的多个散热片，多个翅片产生多个周期性的向下的力时，机械谐振在第一频率。多个其它实施例中，源节点和漏极节点之间的信道，并且包括具有在鳍三栅的非平面晶体管，所述第一三栅极被周期性地激活，在鳍在散热片上产生的多个周期性的向下的力时被机械共振。本文中描述了多个其它实施例。

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