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    • 4. 发明专利
    • Object detection device and program
    • 对象检测设备和程序
    • JP2013228995A
    • 2013-11-07
    • JP2012229095
    • 2012-10-16
    • Mega Chips Corp株式会社メガチップス
    • HASEGAWA HIROSHI
    • G06T7/00G06T1/00G08G1/16
    • G06T7/602G06K9/00805G06K9/00825G06K9/3241G06K9/52G06T7/68G06T7/73G06T2207/10016G06T2207/30252H04N7/18
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To detect important information on an object with a small operation amount.SOLUTION: An object detection unit 22A generates an edge image from a color image. The object detection unit 22A evaluates the symmetry of an image contained in the edge image in consideration of the pixel position of a pixel of interest. The object detection unit 22A specifies symmetry center pixels of an object having symmetry. The object detection unit 22A detects an object width for each symmetry center pixel. The object detection unit 22A specifies the width in a vertical direction of the object from the width in the vertical direction of the symmetry center pixels, and specifies the width in a horizontal direction of the object from the object width specified for each symmetry center pixel.
    • 要解决的问题:检测具有小操作量的对象的重要信息。解决方案:对象检测单元22A从彩色图像生成边缘图像。 物体检测单元22A考虑感兴趣像素的像素位置来评估包含在边缘图像中的图像的对称性。 物体检测单元22A指定具有对称性的物体的对称中心像素。 物体检测单元22A检测每个对称中心像素的物体宽度。 物体检测单元22A从对称中心像素的垂直方向的宽度指定物体的垂直方向上的宽度,并且根据针对每个对称中心像素指定的物体宽度来指定物体的水平方向上的宽度。
    • 9. 发明专利
    • Image processing device, image processing method, and program
    • 图像处理设备,图像处理方法和程序
    • JP2013002956A
    • 2013-01-07
    • JP2011134341
    • 2011-06-16
    • Olympus Corpオリンパス株式会社
    • HORI FUMIO
    • G01B11/03G06T1/00
    • G06T7/602G06T7/62G06T17/00G06T17/20G06T19/00G06T19/20G06T2207/10068G06T2207/20101G06T2207/30164
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an image processing device, an image processing method, and a program, which can reduce a process period.SOLUTION: A monitor 22 displays an image of a measuring object and an image of an article that is an article corresponding to the measuring object and has a three-dimensional shape calculated in advance. A CPU 34c performs: specifying a first point on the image of the measuring object and a second point on the image of the article on the basis of an instruction input via a remote controller 23; geometrically calculating a first figure having the first point as reference and a second figure having the second point as reference, and adjusting the attitude or position of at least either one of the image of the measuring object and that of the article on the basis of the result of the geometric calculation; and, after adjusting the attitude or position, calculating a spatial coordinate on the article corresponding to a measurement position specified on the basis of the instruction input via the remote controller 23 and calculating the size of the article on the basis of the calculated spatial coordinate.
    • 要解决的问题:提供可以减少处理周期的图像处理装置,图像处理方法和程序。 解决方案:监视器22显示测量对象的图像和作为与测量对象相对应的物品的物品的图像,并且具有预先计算的三维形状。 CPU34c根据通过遥控器23输入的指示,进行指定测量对象的图像上的第一点和物品的图像上的第二点; 几何计算具有第一点作为参考的第一图形,以及第二图形,其具有第二点作为参考,并且基于测量对象的图像和物品的图像中的至少一个的姿态或位置 几何计算结果; 并且在调整姿态或位置之后,计算与通过遥控器23输入的指示所指定的测量位置对应的物品上的空间坐标,并基于所计算出的空间坐标来计算物品的尺寸。 版权所有(C)2013,JPO&INPIT
    • 10. 发明专利
    • パターン検査装置
    • 图案检查装置
    • JP2017032457A
    • 2017-02-09
    • JP2015154115
    • 2015-08-04
    • 株式会社ニューフレアテクノロジー
    • 額田 秀記
    • G01B11/25G01N21/956G01N21/89H01L21/66G01B11/30
    • G06T7/0008G06T7/001G06T7/602H04N5/2256G06T2207/30148
    • 【課題】駆動時におけるステージのヨーイングに起因する試料の回転ずれを小さくすると共に、回転ずれ量を高速かつ高精度に測定することが可能な検査装置を提供する。 【解決手段】検査装置は、自己の重心から外れた位置で、パターンが形成された被検査試料を載置するZθステージ70(第1のステージ)と、第1のステージの重心位置を挟んだ位置関係になるように第1のステージに配置された2Dスケール80,82と、第1のステージの重心と重なる領域であって第1のステージに載置された被検査試料とは重ならない領域下に配置され、第1のステージを支持すると共に、第1のステージを移動させるxステージ74と、2Dスケール80,82により測定された位置情報を用いて、被検査試料の位置を演算する位置回路とを備える。 【選択図】図2
    • 甲以及减少由于在驱动时的阶段的横摆样品的旋转位移,提供了一种能够以高速和高精度地测量旋转位移量的检测装置。 的检查装置是从它的重力中心,和用于放置样品Zθ级70偏离的位置被检查在其上形成的图案(第一阶段),在第一级的重心 布置在第一阶段,以使位置关系不重叠样本二维尺度80,82被检查放置在第一阶段重叠的区域与第一级区域的重心 下面布置,以支持第一阶段,用于移动所述第一阶段中,使用由所述2D刻度80和82,用于计算测试样品的位置的位置测量的位置信息的X台74 和的电路。 .The