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1. 发明专利

JP2018060896A 基板液処理装置、基板液処理方法および記憶媒体审中-公开
公开(公告)号：JP2018060896A
公开(公告)日：2018-04-12
申请号：JP2016196663
申请日：2016-10-04
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：佐藤秀明
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/306
CPC分类号： H01L21/31111 , G05D7/0623 , H01L21/67086
摘要：【課題】同じ基板の液処理中にエッチング選択比を変更する。【解決手段】基板処理装置は、液処理部(39)に設けられた処理槽(34)内にリン酸水溶液を貯留し、貯留したリン酸水溶液中に基板を浸漬することにより当該基板を処理する。処理槽内のリン酸水溶液中に基板が浸漬されている第1の期間に、リン酸水溶液排出部(43)により液処理部(39)から第1の排出流量でリン酸水溶液が排出されるとともに、リン酸水溶液供給部(40)により液処理部にリン酸水溶液が供給される。別の第2の期間に、リン酸水溶液排出部により液処理部から第1の排出流量と異なる第2の排出流量でリン酸水溶液が排出されるとともに、リン酸水溶液供給部液処理部にリン酸水溶液が供給される。【選択図】図2

2. 发明专利

JP2018503504A 少なくとも２つの共役する化学反応を介した製品を連続生産する方法审中-公开
公开(公告)号：JP2018503504A
公开(公告)日：2018-02-08
申请号：JP2017527268
申请日：2015-11-17
申请人：コベストロ、ドイチュラント、アクチエンゲゼルシャフト , COVESTRO DEUTSCHLAND AG
发明人：ベルント、ペンネマン , エルビン、ディーテリヒ , ハインツ−ジョゼフ、ハーマッハー
IPC分类号： B01J19/00 , C07C201/08 , C07C205/06
CPC分类号： G05D7/0623 , B01J19/0006 , B01J2219/00191 , C07C201/08 , C07C205/06 , F16K31/02 , G05B11/42
摘要：少なくとも2つの連結した化学反応(C1、C2)の方法によって製品(A1)を連続生産する方法であって、少なくとも2つの入力物質(E1、E2)を第一化学反応(C1)に供給し、第一化学反応(C1)によって入力物質(E1、E2)から複数の中間物質(Z1、Z2)を生産し、少なくとも1つの中間物質(Z2)を第二化学反応(C2)に供給し、少なくとも1つの供給した中間物質(Z2)を第二化学反応(C2)によって、具体的には第二化学反応(C2)において少なくとも1つの追加物質(W1、W2)を用いてさらに加工し、複数の産生物質(A1、A2)を生成し、即ち、化学製品(A1)および少なくとも1つの追加産生物質(A2)を生成し、反応(C1、C2)の1つに供給した供給物質(E1、E2、Z1、W1、W2、A2)の流量(Fi)をそれぞれの作動要素(VE1、VE2、VW1、VW2、VZ2、VA1)によって設定し、各供給物質に別々の作動要素が割り当てられ、制御装置(RE2、Ri)によって規定された制御変数(SE2,R、Si,R)を少なくとも1つの作動要素に適用し、化学製品(A1)の生産率を変更するために、過渡段階(II、III)の間、それぞれの制御装置(RE2、Ri)によって規定された操作変数(SE2,R、Si,R)の代わりに、一時的制御変数(SE2,temp、Si,temp)を少なくとも1つのこれら作動要素(VE2、Vi)にそれぞれ適用し、一時的制御変数(SE2,temp、Si,temp)(複数可)を既定値(NV)に依存する少なくとも1つの制御装置(SE)によって作成する方法。

3. 发明专利

JP5856654B2 正確な少量の液体試薬を分注するための制御装置有权
标题翻译：用于分配精确少量液体试剂的控制装置
公开(公告)号：JP5856654B2
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：JP2014126881
申请日：2014-06-20
申请人：シーイーエム・コーポレーション
发明人：デーヴィッド・エル・ハーマン , ジョセフ・ジェイ・ランバート
IPC分类号： B01J4/02 , G01N1/00 , G01F11/28
CPC分类号： B01J19/126 , B01J19/0046 , B01J4/008 , B01J4/02 , C07K1/045 , F04F5/24 , G01F11/28 , G05D7/0623 , G05D7/0647 , Y10T137/0379

4. 发明专利

JP2015007628A 正確な少量の液体試薬を分注するための制御装置有权
标题翻译：用于分配具有精确小量的液体试剂的控制装置
公开(公告)号：JP2015007628A
公开(公告)日：2015-01-15
申请号：JP2014126881
申请日：2014-06-20
申请人：シーイーエム・コーポレーション , Cem Corp
发明人： DAVID L HERMAN , LAMBERT JOSEPH J
IPC分类号： G01F11/28 , B01J4/02 , G01N1/00
CPC分类号： C07K1/045 , B01J4/008 , B01J4/02 , B01J19/0046 , B01J19/126 , B01J2219/00725 , B01J2219/1206 , C07K1/042 , F04F5/24 , G01F11/28 , G05D7/0623 , G05D7/0641 , G05D7/0647 , Y10T137/0379
摘要：【課題】パラメータの合理的な範囲内で液体を処理し、所望の場所へそれらの液体を正確に分注することが可能な、自動化された小さい体積の分注システムを提供する。【解決手段】2つの圧力センサ10,11のうちの一方が、流体通路12の規定体積部分14の一部分において圧力を測定し、ガス圧力センサのうちの他方が、流体通路の規定体積部分のうちの異なる部分においてガス圧力を測定するように配置され、少なくとも1つの弁27、30、31が、流体通路の規定体積部分の中へ、または、流体通路の規定体積部分から流体を移動させるために、通路と連通しており、プロセッサ17が、(i)測定される圧力に基づいて液体の体積を計算するステップ、および、(ii)測定される圧力が流体の所望の体積が流体通路の中にあることを示すまで流体通路の規定体積部分の中へ液体を計量するステップ、からなる群から選択されるステップを実施する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种体积小的自动分配系统，其能够在参数的合理范围内处理液体，并将液体精确地分配到期望的位置。解决方案：布置两个压力传感器10和11中的一个测量流体通道12的规定体积部分14的一部分的压力，另一气体压力传感器被设置成测量流体通道的规定体积部分的不同部分处的气体压力，并且至少一个阀27,30和31与通道连通，使得流体移动到流体通道的规定体积部分中或从流体通道的规定体积部分移动。处理器17执行从基于测量的压力计算液体体积的步骤（i）和在流体通道的规定体积部分中称量液体的步骤（ii）的步骤中选择的步骤，直到测量的压力表示所需体积的流体在流体通道中。

5. 发明专利

JPWO2012153455A1 流量モニタ付圧力式流量制御装置と、その実ガスモニタ流量初期値のメモリ方法及び実ガスモニタ流量の出力確認方法有权
公开(公告)号：JPWO2012153455A1
公开(公告)日：2014-07-31
申请号：JP2013513905
申请日：2012-04-05
申请人：株式会社フジキン
发明人：薫平田 , 薫平田 , 勝幸杉田 , 勝幸杉田 , 土肥　亮介 , 亮介土肥 , 功ニ西野 , 功ニ西野 , 池田　信一 , 信一池田
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0623 , F16K37/0083 , G01F1/36 , G01F1/363 , G01F1/50 , G01F1/6842 , G01F1/6965 , G01F5/00 , G01F15/005 , G01F25/0007 , G05D7/0617 , G05D7/0635 , Y10T137/0368 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要：流体の入口側通路(8)と、入口側通路(8)の下流側に接続した圧力式流量制御部(1a)を構成するコントロール弁(3)と、コントロール弁(3)の下流側に接続した熱式流量センサ(2)と、熱式流量センサ(2)の下流側に連通する流体通路(10)に介設したオリフィス(6)と、コントロール弁(3)とオリフィス(6)の間の流体通路(10)の近傍に設けた温度センサ(4)と、コントロール弁(3)とオリフィス(6)の間の流体通路(10)に設けた圧力センサ(5)と、オリフィス(6)に連通する出口側通路(9)と、圧力センサ(5)からの圧力信号及び温度センサ(4)からの温度信号が入力され、オリフィス(6)を流通する流体の流量値Qを演算すると共に演算した流量値と設定流量値との差が減少する方向にコントロール弁(3)を開閉作動させる制御信号Pdを弁駆動部(3a)へ出力する圧力式流量演算制御部(7a)及び熱式流量センサ(2)からの流量信号(2c)が入力され当該流量信号(2c)からオリフィス(6)を流通する流体流量を演算表示する流量センサ制御部(7b)とからなる制御部(7)と、から構成した流量モニタ付圧力式流量制御装置。

6. 实用新型

JP3214981U ガスタービンシステム内のシャットダウンパージ流を改善するシステムおよび方法有权
公开(公告)号：JP3214981U
公开(公告)日：2018-02-22
申请号：JP2017003803
申请日：2017-08-21
申请人：ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
发明人：デイヴィッド・オーガスト・シュナイダー , ルイス・バークレー・デイヴィス,ジュニア , ランディ・スコット・ロッソン , マイケル・ジョセフ・アレキサンダー
IPC分类号： F02C9/00 , F02C7/00 , F01K23/10 , F01D21/00 , F02C9/18
CPC分类号： F02C9/52 , F01D21/00 , F01D21/003 , F01D25/10 , F01D25/30 , F01K13/003 , F01K23/10 , F01K23/101 , F02C6/18 , F02C9/00 , F02C9/26 , F05D2220/32 , F05D2220/72 , F05D2270/303 , F05D2270/304 , F05D2270/306 , F05D2270/54 , F22B35/00 , G05B19/41835 , G05B2219/34315 , G05D7/0623 , Y02E20/16
摘要：【課題】ガスタービンシステム内のシャットダウンパージ流を改善するシステムを提供する。【解決手段】システム10は、命令を記憶するメモリ38と、この命令を実行するプロセッサ42とを備えた発電システムのコントローラ36を備える。命令は、コントローラに、ガスタービン12の減速中に入口抽気熱流をガスタービンに供給するように発電システムを制御させる。命令は、コントローラに、第1の温度、ガスタービンの回転速度、および入口抽気熱流量も受信させる。さらに、命令は、コントローラに、第1の温度、回転速度、および入口抽気熱流量に少なくとも基づいて排気流量を計算させる。さらに、命令は、コントローラにガスタービンのコーストダウン中にパージ体積を実現するのに十分なガスタービンの通常運転速度の一部でガスタービンから燃料源を切り離すように発電システムを制御させる。【選択図】図1

7. 发明专利

JP2016521814A フィードフォワード弁試験補償用ためのシステム审中-公开
标题翻译：系统的前馈阀试验补偿
公开(公告)号：JP2016521814A
公开(公告)日：2016-07-25
申请号：JP2016515333
申请日：2014-04-15
申请人：ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
发明人：サルツマン，ジョセフ・クレイ
IPC分类号： F01D17/10 , F01D17/00 , F01D17/08 , F16K51/00
CPC分类号： G05D7/0623 , F01D17/18 , F01D21/003 , F05D2220/31 , Y10T137/7761
摘要：システム(10)は、コントローラ(18)を含み、コントローラ(18)は、コントローラのメモリに記憶されたプログラムを実行して、総流量要求値(30)を含む第1の出力(68)を生成し、コントローラに通信可能に結合された複数の弁(26,27,28,29)に送信するように構成されるプロセッサ(24)を含む。複数の弁(26,27,28,29)のそれぞれは、総流量要求値(30)のそれぞれの部分を受信するように構成される。プロセッサ(24)は、複数の弁の第1の弁(27)の切離しを示す入力を受信し、第1の出力(68)及び第1の弁(27)の第1の運転特性に少なくとも部分的に基づいて第2の出力(69)を生成するように構成される。第2の出力(69)は、総流量要求値(30)を維持するため複数の弁の第2の弁(26,28,29)の第2の運転特性を変えるように構成される。【選択図】図3
摘要翻译：系统（10）包括控制器（18），产生一个控制器（18）执行存储在所述控制器中，包括总流量要求值（30）（68）的第一输出的存储器中的程序并且，配置的处理器（24）传送到多个阀，其通信地耦合到所述控制器（26，27，28，29）。每个所述多个阀（26，27，28，29），被配置以接收总流量要求值（30）的相应部分。处理器（24）接收输入，指示所述多个阀（27）的第一阀的断开，至少部分该第一输出（68）和所述第一阀的第一操作特性（27）被配置成基于在方式的第二输出（69）。第二输出（69）被配置为改变所述多个阀的第二阀的所述第二操作特性保持总流量要求值（30）（26，28，29）。点域

8. 发明专利

JP2015155845A 差圧式流量計およびそれを備えた流量コントローラ审中-公开
标题翻译：差压式流量计和流速控制器，包括其中
公开(公告)号：JP2015155845A
公开(公告)日：2015-08-27
申请号：JP2014030843
申请日：2014-02-20
申请人：サーパス工業株式会社
发明人：五十嵐裕規
IPC分类号： G01F1/00 , G01F1/42
CPC分类号： G01F1/42 , G01F1/36 , G01F5/005 , G01F1/46 , G01F1/48 , G05D7/0623 , Y10T137/7722 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要：【課題】流体の温度変化によって圧力センサの検出値に計測誤差が生じることを抑制した差圧式流量計を提供する。【解決手段】主流路13と、主流路13に設けられたオリフィスと、オリフィスの上流側の流体の圧力を検出する第1圧力センサ7と、オリフィスの下流側の流体の圧力を検出する第2圧力センサ8と、オリフィスの上流側の流体を第1圧力センサ7に導く第1圧力導入流路14と、オリフィスの下流側の流体を第2圧力センサ8に導く第2圧力導入流路15とを備え、第1圧力導入流路14および第2圧力導入流路15は、流路長Lと流路径D3とがそれぞれ一致しており、流路径D3に対する流路長Lの倍率が、20倍以上かつ30倍以下である差圧式流量計20を提供する。【選択図】図4

9. 发明专利

JP2014528606A プロセスチャンバに結合された流量コントローラをモニタする方法有权
标题翻译：监测耦合到所述处理室的流量控制装置的方法
公开(公告)号：JP2014528606A
公开(公告)日：2014-10-27
申请号：JP2014533371
申请日：2012-09-28
申请人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated , アプライドマテリアルズインコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated
发明人：バラレイブエヌ．モハメド， , バラレイブエヌ．モハメド， , ジョンダブリュ．レイン， , ジョンダブリュ．レイン， , マリウスグレーゴール， , マリウスグレーゴール， , ダンジョセフヒーリー， , ダンジョセフヒーリー，
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0623 , G01F25/0053 , Y10T137/0324
摘要：流量コントローラのインシトゥ較正のための方法および装置が本明細書で提供される。いくつかの実施形態では、ガスを流す方法は、標準ガスを使用することによって決定された計算された第1の関係に基づいて流量の第1の値で第1のガスを供給するように構成された流量コントローラを用意することと、第1のガスの流量と設定点との間の実際の第1の関係を、流量コントローラの設定点の対応する複数の値で決定された第1のガスの流量の複数の値から決定することであり、流量の複数の値の各々が、設定点の複数の値の対応する値で第1のガスを流量コントローラを通して流すことから決定される、実際の第1の関係を決定することと、実際の第1の関係に基づいて流量の第1の値で第1のガスを流すこととを含む。
摘要翻译：本文提供了用于在流量控制器的现场校准方法和装置。在一些实施方案中，流动的气体的方法被配置为通过使用标准的气体以在此基础上，确定计算出的第一关系的流量的第一值以提供第一气体以及提供一个流量控制器为第一气体流动和所述第一气体的设定点之间的实际第一关系，由相应的多个设定点流量控制器的值的确定流以确定多个该多个流量值中的从使第一气体通过流量控制器与多个设定点值的相应值确定的值的，实际它包括确定的第一关系，并基于与所述流率的第一值的实际第一关系中流动的第一气体。

10. 发明专利

JP5605969B2 And the flow rate monitor with a pressure type flow rate control apparatus, abnormality detection method as well as methods of treatment at the monitor flow rate abnormality of the fluid supply system using the same 有权
公开(公告)号：JP5605969B2
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：JP2013513904
申请日：2012-04-05
申请人：株式会社フジキン
发明人：薫平田 , 勝幸杉田 , 亮介土肥 , 功ニ西野 , 信一池田
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0623 , F16K37/0083 , G01F1/36 , G01F1/363 , G01F1/50 , G01F1/6842 , G01F1/6965 , G01F5/00 , G01F15/005 , G01F25/0007 , G05D7/0617 , G05D7/0635 , Y10T137/0368 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要： A pressure type flow control system with flow monitoring includes an inlet side passage, a control valve comprising a pressure-type flow control unit connected downstream of the inlet side passage, a thermal-type flow sensor connected downstream of the control valve, an orifice installed on a fluid passage connected downstream of the thermal-type flow sensor, a temperature sensor provided near the fluid passage between the control valve and orifice, a pressure sensor provided for the fluid passage between the control valve and orifice, an outlet side passage connected to the orifice, and a control unit comprising a pressure-type flow rate arithmetic and control unit to which a pressure signal from the pressure sensor and a temperature signal from the temperature sensor are input, and which computes a flow rate value of fluid flowing through the orifice, and outputs a control signal to a valve drive unit of the control valve.

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