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    • 2. 发明专利
    • Impedance measuring method
    • 阻抗测量方法
    • JP2010008363A
    • 2010-01-14
    • JP2008170941
    • 2008-06-30
    • Tdk CorpTdk株式会社
    • TOGASHI MASAAKI
    • G01R27/02G01R35/00
    • G01R1/045G01R35/007
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an impedance measuring method that reduces the contact resistance with an electronic component to be measured, prevents the occurrence of measuring variations resulting from the contact resistance, and accurately measures impedance. SOLUTION: The impedance measuring method uses an impedance measuring instrument, a coaxial connector 10 electrically connected to the impedance measuring instrument, and a measurement board 20 storable in the coaxial connector 10. The measurement board 20 has an insulating substrate IS1, and first and second conductors 21 and 22 formed on the first main surface IS1a of the insulating substrate IS1. The measurement board 20 mounted with the electronic component 40 to be measured is stored in the coaxial connector 10 connected to the impedance measuring instrument so that the first conductor 21 is electrically connected to a central conductor 11 and the second conductor 22 is electrically connected to an external conductor 12, and the impedance of the electronic component 40 to be measured is measured by the impedance measuring instrument. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
    • 要解决的问题:为了提供一种阻抗测量方法,其减少与要测量的电子部件的接触电阻,防止由接触电阻引起的测量变化的发生,并且精确地测量阻抗。 阻抗测量方法使用阻抗测量仪器,与阻抗测量仪器电连接的同轴连接器10以及可存储在同轴连接器10中的测量板20.测量板20具有绝缘衬底IS1和 形成在绝缘基板IS1的第一主表面IS1a上的第一和第二导体21和22。 安装有要测量的电子部件40的测量板20存储在与阻抗测量仪连接的同轴连接器10中,使得第一导体21电连接到中心导体11,并且第二导体22电连接到 外部导体12,并且通过阻抗测量仪器测量待测量的电子部件40的阻抗。 版权所有(C)2010,JPO&INPIT
    • 4. 发明专利
    • パターン品質管理チャート、パターン品質管理方法およびパターン形成方法
    • 模式质量管理图,模式质量管理方法和模式形成方法
    • JP2015065278A
    • 2015-04-09
    • JP2013198071
    • 2013-09-25
    • 富士フイルム株式会社
    • 龍田 岳一
    • H01L21/28H05K3/10H01L21/288
    • G01R35/007B05D1/26B41J11/0015G01R31/2894H05K3/125
    • 【課題】パターン形成条件の適/不適を容易に判定することができるパターン品質管理チャートを提供する。 【解決手段】チャート用基材Sの表面上に複数の単位領域グループG11〜Gijが形成され、各単位領域グループは、それぞれパターン形成のための機能性の液に対して所定の親和性を有する第1の領域からなり且つ周囲を所定の親和性よりも低い親和性を有する第2の領域により囲まれた3つの単位領域を含み、それぞれの単位領域は、単位領域内に所定量の機能性の液を所定の供給条件で供給したときに、機能性の液が周囲にあふれることなく且つ単位領域内がすべて機能性の液で満たされる形状および大きさを有する適合タイプの単位領域R0と、機能性の液の一部が周囲にあふれる非適合タイプの単位領域R1と、単位領域内の一部が機能性の液で満たされない形状および大きさを有する非適合タイプの単位領域R2のいずれかに分類される。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种容易确定图形形成的适当/不正确条件的图案质量管理图。解决方案:在图案质量管理图中,多个单位区域组G11-Gij形成在 每个单位区域组包括三个单位区域,分别包括与功能性液体具有特异性亲和力以形成图案并由比特定亲和力低的亲和力的第二区域包围的第一区域。 每个单位区域被分成具有形状和尺寸的一致性单位区域R0,使得单位区域填充有功能液体而不溢出,其中一部分功能液体流过周边部分的不一致型单元区域R1 以及当在指定条件下将特定量的功能液体供给到单位区域时,具有形状和尺寸使得单位区域的一部分未被功能液体填充的不一致型单位区域R2。
    • 5. 发明专利
    • 半導体装置
    • JPWO2012023211A1
    • 2013-10-28
    • JP2012529470
    • 2010-08-20
    • 富士通株式会社
    • 輝昭 矢越輝昭 矢越
    • G01R31/28
    • G01R35/007G01R31/31709G06F17/00
    • 試験回路の素子ごとに発生するバラツキを補償し、どの半導体装置でも同等な試験を実施出来る、試験装置を内蔵した半導体装置を提供する。予めキャリブレーションされた、半導体装置の出力回路のドライバからの01交番のデータ信号を、同じ半導体装置の入力回路に入力する。該入力回路への入力を分岐して、入力信号の電圧振幅を計測する。これをドライバの出力振幅と比較し、誤差を補正値としてメモリに格納する。また、所定の位相とジッタ量を持ったクロックを使って、位相とジッタ量を計測する。これを所定の位相、ジッタ量と比較し、誤差を補正値としてメモリに格納する。試験においては、他ICからの入力信号の振幅とジッタ量を計測し、メモリに格納された補正値で補正して、振幅とジッタ量が規格を満たすか判断する。
    • 10. 发明专利
    • Method for measuring characteristics of high-frequency circuit, pattern for calibration, and fixture for calibration
    • 用于测量高频电路特性的方法,用于校准的图案和校准用的标准
    • JP2005331298A
    • 2005-12-02
    • JP2004148309
    • 2004-05-18
    • Mitsubishi Electric Corp三菱電機株式会社
    • HOSHI HIROYUKIKURUSU HITOSHI
    • G01R23/04G01R27/04G01R27/32G01R31/28G01R35/00H01L23/544H01L23/64H01L49/00H05K1/02
    • G01R35/007G01R31/2822H01L2924/0002H01L2924/00
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for measuring the characteristics of high-frequency circuits in such a way that RF signals may not be affected by measured values. SOLUTION: Prior to the measurement of the characteristics of high-frequency circuits with probe heads 30 and 32 for RF measurement, the probe heads 30 and 32 for RF measurement are calibrated through the use of an extended line 14 for signals arranged on a dielectric substrate 12 and having one characteristic impedance; a first GND pad 16 having one end arranged in the vicinity of a first end part 14a of the line 14 for signals at a prescribed interval; a second GND pad 24 having one end arranged in the vicinity of a second end part of the line for signals at a prescribed interval; and a calibration pattern 10 provided with a through hole electrode 18, a via hole 20, and a back metal layer 22 as conductors for connecting the first GND pad 16 to the second GND pad 24. COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI
    • 要解决的问题:提供一种用于测量高频电路的特性的方法,使得RF信号可能不受测量值的影响。

      解决方案:在测量具有用于RF测量的探针头30和32的高频电路的特性之前,用于RF测量的探针头30和32通过使用延伸线14来校准,所述探针头30和32布置在 电介质基板12,具有一个特征阻抗; 第一GND焊盘16,其一端布置在线路14的第一端部14a附近,用于以规定间隔的信号; 第二GND焊盘24,其一端以规定的间隔布置在用于信号的线的第二端部附近; 以及设置有用于将第一GND焊盘16连接到第二GND焊盘24的导体的通孔电极18,通孔20和背面金属层22的校准图案10。(C)2006, JPO&NCIPI